傑笙真空科技

慧翔科技尾氣設備
項目類別	服務內容說明	適用範圍/特點
設備銷售	代理全系列慧翔尾氣處理設備	半導體/面板/太陽能電池製造等
零件供應	原廠認證耗材與替換零件銷售	保證兼容性，延長設備壽命
維修服務	專業檢測與故障排除	快速響應，減少停機損失
保養方案	定期檢查與預防性維護	客製化週期，優化設備效能

Local Scrubber

產品介紹 / EXPERT TEAM

尾氣處理設備用於半導體、面板、太陽能電池行業的有害氣體處理，是一種環保設備。 在生產製造中使用到的化學物質種類繁多，所用到的原物料或副產物含有多種有害性氣體， 在製程後出現殘留成為廢氣，尾氣處理設備(Local Scrubber)設置目的，就是為了處理諸如此類的毒性、腐蝕性、易燃性、溫室氣體等有害性氣體。應用於半導體矽片外延、SiC、MOCVD、晶片製造CVD、Dry ETCH、Furnace等。