EBARA A25S
| Basic Trouble | ||
|---|---|---|
| Abnormal symptom | Check Item | Corrective Action |
| Circuit breaker is activated. (Leakage detector is on.) | Incorrect wiring | Check wiring |
| Ground fault | Replace or overhaul pump | |
| Short circuit | Replace or overhaul pump | |
| Power LED does not come on. | No power supply to pump | Check power supply |
| Connector is not connected | Connect power connector | |
| ELB is not mode ON | Switch ELB ON | |
| Nothing appears on LCD. Display is abnormal. | ELB is not mode ON | Switch ELB ON |
| Instruments are in failure | Replace instruments | |
| MP does not start when pressing START button. | Mode is set in “Remote" | Set switch to “Local" mode |
| Start-up conditions are not satisfied (“STARTFAIL" is displayed) | Satisfy all start-up conditions | |
| Instruments are in failure | Replace instruments | |
| MP does not start when applying START signal. | Mode is set in “Local" | Set switch to “Remote" mode |
| Mode is set in “Alternate" (Pump jogs) | Apply “Alternate" start signal | |
| Instruments are in failure | Replace instruments | |
| BP does not start. | Leakage on vacuum piping | Check piping |
| MP insufficient vacuum | Replace or overhaul | |
| BP start signal is not applied | Apply BP start signal | |
| Instrument failure | Replace instruments | |
| Abnormal noise. Excessive vibration. | Adjuster foot is not lowered | Properly set all adjuster feet |
| Cover is in contact with other items | Remove objects from cover | |
| Cover screws loose | Tighten mounting screws | |
| Pump part is damaged | Replace or overhaul pump | |
| Vacuum pressure increase. | Byproducts settled in piping | Clean up piping |
| N₂ pressure setting is high | Set pressure for correct value | |
| Leakage from vacuum piping | Check piping | |
| Byproducts settled in pump | Replace or overhaul pump | |
| ALARM | |||
|---|---|---|---|
| Display | Symptom | Check Item | Corrective Action |
| ALARM: WATER FLOW LOW ##.# | Water flow decreases. | Coupler is disconnected | Connect coupler |
| Pressure is not sufficient | Apply sufficient pressure | ||
| Source valve is closed | Open valve | ||
| Water pipe is clogged | Clean or replace piping | ||
| Water piping leaks | Check the fittings | ||
| Instruments are in failure | Replace instruments | ||
| Inlet/Outlet is reverse (Flow rate 0L/min) | Connect correctly | ||
| ALARM: SEAL N2 FLOW LOW | Shaft seal. N₂ flow decreases. | N₂ port is not connected | Connect N₂ pipe fitting |
| Primary pressure is insufficient | Apply sufficient pressure | ||
| ALARM: DIL. N2 FLOW LOW ##.# [w/ dilution mode] | Dilution N₂ flow decreases. *1 [w/ dilution mode] | Regulator setting low | Increase pressure setting |
| N₂ piping is clogged | Replace N₂ piping | ||
| N₂ piping leaks | Check the fittings | ||
| Instruments are in failure | Replace instruments | ||
| ALARM: DIL. N2. VALVE OPEN [w/o dilution mode] | Dilution N₂ valve open. *2 [w/o dilution mode] | Selector valve is closed *1 | Open the valve |
| Selector valve is open *2 | Set to zero dilution mode | ||
| Close the valve | |||
| Set to “standard mode" | |||
| ALARM: BP MOTOR CURRENT HIGH###.### | BP motor current rises. | Exhaust pressure rises | Check exhaust piping |
| Rotor is in contact (Byproducts) (Substance plunge) | Replace or overhaul pump | ||
| (Cooling water decrease) | Increase water slowly | ||
| (Gear or bearing damage) | Replace or overhaul pump | ||
| Instruments are in failure | Replace instruments | ||
| ALARM: MP MOTOR CURRENT HIGH###.## | MP motor current rises. | Power supply failure | Check power supply |
| ALARM: CASING TEMP HIGH ##.## | Casing temperature rises. | Exhaust pressure rise | Check exhaust piping |
| Duct ventilation is insufficient | Ventilate sufficiently | ||
| Byproduct is clogged | Replace or overhaul pump | ||
| Cooling water decrease | Increase water slowly | ||
| ALARM: BP-GEAR OIL LEVEL LOW | BP gear side oil level low | Decrease of oil | Fill the lubricating oil |
| Insufficient sealing N₂ | Check sealing N₂ ALARM | ||
| ALARM: BP-MOTOR OIL LEVEL LOW | BP motor side oil level low | Pump is inclined | Level the pump with adjuster feet |
| Instruments are in failure | Replace instruments | ||
| ALARM: MP-GEAR OIL LEVEL LOW | MP gear side oil level low | ||
| ALARM: MP-MOTOR OIL LEVEL LOW | MP motor side oil level low | ||
| ALARM: OIL LEVEL LOW | Oil level low in oil pan. [A07V only] | ||
| ALARM: DRV BRG TEMP HIGH | Driving shaft brg temp. rises. [A07V] | Cooling water decrease | Increase water slowly |
| Decrease of grease | Change the grease | ||
| ALARM: DRVN BRG TEMP HIGH | Driven shaft brg temp. rises. [A07V] | Bearing is damaged | Replace or overhaul pump |
| ALARM: PUMP BOX TEMP HIGH | Temperature in pump cover rises. | Duct ventilation not sufficient | Ventilate sufficiently |
| Cooling water decrease | Increase water | ||
| TRIP | |||
| Display | Symptom | Check Item | Corrective Action |
| TRIP: CASING TEMP H.HIGH | Pump casing temp. rises. | Exhaust pressure rise | Check exhaust piping |
| Cooling water decrease | Increase water slowly | ||
| Byproduct clog | Replace or overhaul pump | ||
| Duct ventilation insufficient | Ventilate sufficiently | ||
| TRIP: BP MOTOR TEMP HIGH | BP motor temp. rises. | Cooling water decrease | Increase water slowly |
| TRIP: MP MOTOR TEMP HIGH | MP motor temp. rises. | Motor is in failure | Replace or overhaul pump |
| TRIP: BP MOTOR OVERLOAD | BP current rises. (thermal relay trip) | Exhaust pressure rise | Check exhaust piping |
| Byproduct clog | Replace or overhaul pump | ||
| Object ingestion | Replace or overhaul pump | ||
| TRIP: MP MOTOR OVERLOAD | MP current rises. (thermal relay trip) | Instruments are in failure | Replace instruments |
| Power supply failure | Check power supply | ||
| TRIP: PHASE ERROR | Negative phase Open phase | Incorrect wiring | Wire R/S/T/E correctly |
| Instruments are in failure | Replace instruments | ||
| Incorrect wiring | Check power supply | ||
| TRIP: BP MOTOR NO CURRENT | BP motor current value is 0. | Instruments are in failure | Replace instruments |
| TRIP: MP MOTOR NO CURRENT | MP motor current value is 0. | ||
| TRIP: STARTFAIL ALARM/TRIP EXIST | Start fault | Starting in ALARM / TRIP condition | Satisfy all starting conditions |
| Instruments are in failure | Replace instruments | ||
| TRIP: WATER LEAKAGE | Water leakage | Tube fitting loose | Tighten fittings |
| Instruments are in failure | Replace instruments | ||
| TRIP: BACK PRESS. HIGH | Exhaust pressure rises. (0.1 MPa) | Exhaust valve is closed | Check exhaust piping |
| TRIP: EMG. STOP SWITCH | Emergency stop switch | Stop by emergency stop button | Check that pump can be operated and turn the button head to reset |
| 基本故障 | ||
|---|---|---|
| 異常症狀 | 檢查項目 | 糾正措施 |
| 斷路器被啟動（漏電檢測器開啟） | 接線錯誤 | 檢查接線 |
| 接地故障 | 更換或大修泵 | |
| 短路 | 更換或大修泵 | |
| 電源LED未亮 | 泵無電源供應 | 檢查電源 |
| 連接器未連接 | 連接電源連接器 | |
| ELB未處於開啟模式 | 將ELB切換到開啟 | |
| LCD無顯示，顯示異常 | ELB未處於開啟模式 | 將ELB切換到開啟 |
| 儀器故障 | 更換儀器 | |
| 按下START按鈕時MP未啟動 | 模式設置為“遠程” | 將開關設置為“本地”模式 |
| 啟動條件未滿足（顯示“STARTFAIL”） | 滿足所有啟動條件 | |
| 儀器故障 | 更換儀器 | |
| 施加START信號時MP未啟動 | 模式設置為“本地” | 將開關設置為“遠程”模式 |
| 模式設置為“交替”（泵點動） | 施加“交替”啟動信號 | |
| 儀器故障 | 更換儀器 | |
| BP未啟動 | 真空管道洩漏 | 檢查管道 |
| MP真空不足 | 更換或大修 | |
| 未施加BP啟動信號 | 施加BP啟動信號 | |
| 儀器故障 | 更換儀器 | |
| 異常噪音。過度振動 | 調節腳未放下 | 正確設置所有調節腳 |
| 蓋子與其他物體接觸 | 移除蓋子上的物體 | |
| 蓋子螺絲鬆動 | 擰緊安裝螺絲 | |
| 泵部件損壞 | 更換或大修泵 | |
| 真空壓力增加 | 管道內沉積副產品 | 清理管道 |
| 氮氣壓力設置過高 | 將壓力設置為正確值 | |
| 真空管道洩漏 | 檢查管道 | |
| 泵內沉積副產品 | 更換或大修泵 | |
| 警報 | |||
|---|---|---|---|
| 顯示 | 症狀 | 檢查項目 | 糾正措施 |
| 警報：水流量低##.# | 水流量減少 | 耦合器斷開 | 連接耦合器 |
| 壓力不足 | 施加足夠壓力 | ||
| 源閥關閉 | 打開閥門 | ||
| 水管堵塞 | 清理或更換管道 | ||
| 水管洩漏 | 檢查配件 | ||
| 儀器故障 | 更換儀器 | ||
| 進/出口反向（流量0L/min） | 正確連接 | ||
| 警報：密封氮氣流量低 | 軸封。氮氣流量減少 | 氮氣端口未連接 | 連接氮氣管道配件 |
| 初級壓力不足 | 施加足夠壓力 | ||
| 警報：稀釋氮氣流量低##.# [帶稀釋模式] | 稀釋氮氣流量減少。*1 [帶稀釋模式] | 調節器設置低 | 增加壓力設置 |
| 氮氣管道堵塞 | 更換氮氣管道 | ||
| 氮氣管道洩漏 | 檢查配件 | ||
| 儀器故障 | 更換儀器 | ||
| 警報：稀釋氮氣閥門開啟 [無稀釋模式] | 稀釋氮氣閥門開啟。*2 [無稀釋模式] | 選擇閥關閉*1 | 打開閥門 |
| 選擇閥開啟*2 | 設置為零稀釋模式 | ||
| 關閉閥門 | |||
| 設置為“標準模式” | |||
| 警報：BP電機電流高###.### | BP電機電流上升 | 排氣壓力上升 | 檢查排氣管道 |
| 轉子接觸（副產品）（物質堵塞） | 更換或大修泵 | ||
| 冷卻水減少 | 緩慢增加水量 | ||
| 齒輪或軸承損壞 | 更換或大修泵 | ||
| 儀器故障 | 更換儀器 | ||
| 警報：MP電機電流高###.## | MP電機電流上升 | 電源故障 | 檢查電源 |
| 警報：外殼溫度高##.## | 外殼溫度上升 | 排氣壓力上升 | 檢查排氣管道 |
| 管道通風不足 | 充分通風 | ||
| 副產品堵塞 | 更換或大修泵 | ||
| 冷卻水減少 | 緩慢增加水量 | ||
| 警報：BP齒輪油位低 | BP齒輪側油位低 | 油量減少 | 填充潤滑油 |
| 密封氮氣不足 | 檢查密封氮氣警報 | ||
| 警報：BP電機油位低 | BP電機側油位低 | 泵傾斜 | 用調節腳平整泵 |
| 儀器故障 | 更換儀器 | ||
| 警報：MP齒輪油位低 | MP齒輪側油位低 | ||
| 警報：MP電機油位低 | MP電機側油位低 | ||
| 警報：油位低 | 油盤油位低。[僅A07V] | ||
| 警報：驅動軸承溫度高 | 驅動軸承溫度上升。[A07V] | 冷卻水減少 | 緩慢增加水量 |
| 潤滑脂減少 | 更換潤滑脂 | ||
| 警報：從動軸承溫度高 | 從動軸承溫度上升。[A07V] | 軸承損壞 | 更換或大修泵 |
| 警報：泵箱溫度高 | 泵蓋內溫度上升 | 管道通風不足 | 充分通風 |
| 冷卻水減少 | 增加水量 | ||
| 跳閘 | |||
| 顯示 | 症狀 | 檢查項目 | 糾正措施 |
| 跳閘：外殼溫度極高 | 泵外殼溫度上升 | 排氣壓力上升 | 檢查排氣管道 |
| 冷卻水減少 | 緩慢增加水量 | ||
| 副產品堵塞 | 更換或大修泵 | ||
| 管道通風不足 | 充分通風 | ||
| 跳閘：BP電機溫度高 | BP電機溫度上升 | 冷卻水減少 | 緩慢增加水量 |
| 跳閘：MP電機溫度高 | MP電機溫度上升 | 電機故障 | 更換或大修泵 |
| 跳閘：BP電機過載 | BP電流上升（熱繼電器跳閘） | 排氣壓力上升 | 檢查排氣管道 |
| 副產品堵塞 | 更換或大修泵 | ||
| 物體吸入 | 更換或大修泵 | ||
| 跳閘：MP電機過載 | MP電流上升（熱繼電器跳閘） | 儀器故障 | 更換儀器 |
| 電源故障 | 檢查電源 | ||
| 跳閘：相位錯誤 | 負相 開路相 | 接線錯誤 | 正確接線R/S/T/E |
| 儀器故障 | 更換儀器 | ||
| 接線錯誤 | 檢查電源 | ||
| 跳閘：BP電機無電流 | BP電機電流值為0 | 儀器故障 | 更換儀器 |
| 跳閘：MP電機無電流 | MP電機電流值為0 | ||
| 跳閘：啟動失敗警報/跳閘存在 | 啟動故障 | 在警報/跳閘條件下啟動 | 滿足所有啟動條件 |
| 儀器故障 | 更換儀器 | ||
| 跳閘：水洩漏 | 水洩漏 | 管配件鬆動 | 擰緊配件 |
| 儀器故障 | 更換儀器 | ||
| 跳閘：背壓高 | 排氣壓力上升（0.1 MPa） | 排氣閥關閉 | 檢查排氣管道 |
| 跳閘：緊急停止開關 | 緊急停止開關 | 通過緊急停止按鈕停止 | 檢查泵是否可運行並轉動按鈕頭重置 |
| Sự cố cơ bản | ||
|---|---|---|
| Triệu chứng bất thường | Mục kiểm tra | Hành động khắc phục |
| Cầu dao được kích hoạt. (Bộ phát hiện rò rỉ đang bật) | Lỗi đấu dây | Kiểm tra đấu dây |
| Lỗi nối đất | Thay thế hoặc đại tu máy bơm | |
| Ngắn mạch | Thay thế hoặc đại tu máy bơm | |
| Đèn LED nguồn không sáng | Không có nguồn điện cung cấp cho máy bơm | Kiểm tra nguồn điện |
| Đầu nối chưa được kết nối | Kết nối đầu nối nguồn | |
| ELB không ở chế độ BẬT | Bật ELB | |
| Không có gì hiển thị trên LCD. Màn hình bất thường | ELB không ở chế độ BẬT | Bật ELB |
| Thiết bị bị lỗi | Thay thế thiết bị | |
| MP không khởi động khi nhấn nút START | Chế độ được đặt ở “Từ xa” | Đặt công tắc sang chế độ “Cục bộ” |
| Điều kiện khởi động không được đáp ứng (hiển thị “STARTFAIL”) | Đáp ứng tất cả các điều kiện khởi động | |
| Thiết bị bị lỗi | Thay thế thiết bị | |
| MP không khởi động khi áp dụng tín hiệu START | Chế độ được đặt ở “Cục bộ” | Đặt công tắc sang chế độ “Từ xa” |
| Chế độ được đặt ở “Luân phiên” (Máy bơm chạy không liên tục) | Áp dụng tín hiệu khởi động “Luân phiên” | |
| Thiết bị bị lỗi | Thay thế thiết bị | |
| BP không khởi động | Rò rỉ trên đường ống chân không | Kiểm tra đường ống |
| Chân không MP không đủ | Thay thế hoặc đại tu | |
| Tín hiệu khởi động BP không được áp dụng | Áp dụng tín hiệu khởi động BP | |
| Lỗi thiết bị | Thay thế thiết bị | |
| Tiếng ồn bất thường. Rung động quá mức | Chân điều chỉnh chưa được hạ xuống | Cài đặt đúng tất cả các chân điều chỉnh |
| Nắp tiếp xúc với các vật thể khác | Loại bỏ các vật thể khỏi nắp | |
| Vít nắp lỏng lẻo | Siết chặt các vít lắp đặt | |
| Bộ phận máy bơm bị hư hỏng | Thay thế hoặc đại tu máy bơm | |
| Áp suất chân không tăng | Sản phẩm phụ lắng đọng trong đường ống | Làm sạch đường ống |
| Cài đặt áp suất nitơ cao | Cài đặt áp suất đúng giá trị | |
| Rò rỉ từ đường ống chân không | Kiểm tra đường ống | |
| Sản phẩm phụ lắng đọng trong máy bơm | Thay thế hoặc đại tu máy bơm | |
| BÁO ĐỘNG | |||
|---|---|---|---|
| Hiển thị | Triệu chứng | Mục kiểm tra | Hành động khắc phục |
| BÁO ĐỘNG: LƯU LƯỢNG NƯỚC THẤP ##.# | Lưu lượng nước giảm | Khớp nối bị ngắt | Kết nối khớp nối |
| Áp suất không đủ | Áp dụng áp suất đủ | ||
| Van nguồn bị đóng | Mở van | ||
| Ống nước bị tắc | Làm sạch hoặc thay thế đường ống | ||
| Đường ống nước rò rỉ | Kiểm tra các khớp nối | ||
| Thiết bị bị lỗi | Thay thế thiết bị | ||
| Đầu vào/đầu ra bị đảo ngược (Lưu lượng 0L/phút) | Kết nối chính xác | ||
| BÁO ĐỘNG: LƯU LƯỢNG NITƠ KÍN THẤP | Phớt trục. Lưu lượng nitơ giảm | Cổng nitơ chưa được kết nối | Kết nối phụ kiện ống nitơ |
| Áp suất sơ cấp không đủ | Áp dụng áp suất đủ | ||
| BÁO ĐỘNG: LƯU LƯỢNG NITƠ PHA LOÃNG THẤP ##.# [với chế độ pha loãng] | Lưu lượng nitơ pha loãng giảm. *1 [với chế độ pha loãng] | Cài đặt bộ điều chỉnh thấp | Tăng cài đặt áp suất |
| Đường ống nitơ bị tắc | Thay thế đường ống nitơ | ||
| Đường ống nitơ rò rỉ | Kiểm tra các khớp nối | ||
| Thiết bị bị lỗi | Thay thế thiết bị | ||
| BÁO ĐỘNG: VAN NITƠ PHA LOÃNG MỞ [không có chế độ pha loãng] | Van nitơ pha loãng mở. *2 [không có chế độ pha loãng] | Van chọn bị đóng *1 | Mở van |
| Van chọn đang mở *2 | Đặt ở chế độ pha loãng bằng 0 | ||
| Đóng van | |||
| Đặt ở “chế độ tiêu chuẩn” | |||
| BÁO ĐỘNG: DÒNG ĐIỆN ĐỘNG CƠ BP CAO###.### | Dòng điện động cơ BP tăng | Áp suất xả tăng | Kiểm tra đường ống xả |
| Rôto tiếp xúc (Sản phẩm phụ) (Chất bị tắc) | Thay thế hoặc đại tu máy bơm | ||
| Giảm nước làm mát | Tăng nước từ từ | ||
| Hư hỏng bánh răng hoặc ổ đỡ | Thay thế hoặc đại tu máy bơm | ||
| Thiết bị bị lỗi | Thay thế thiết bị | ||
| BÁO ĐỘNG: DÒNG ĐIỆN ĐỘNG CƠ MP CAO###.## | Dòng điện động cơ MP tăng | Lỗi nguồn điện | Kiểm tra nguồn điện |
| BÁO ĐỘNG: NHIỆT ĐỘ VỎ CAO ##.## | Nhiệt độ vỏ tăng | Áp suất xả tăng | Kiểm tra đường ống xả |
| Thông gió đường ống không đủ | Thông gió đầy đủ | ||
| Sản phẩm phụ bị tắc | Thay thế hoặc đại tu máy bơm | ||
| Giảm nước làm mát | Tăng nước từ từ | ||
| BÁO ĐỘNG: MỨC DẦU BÁNH RĂNG BP THẤP | Mức dầu phía bánh răng BP thấp | Giảm lượng dầu | Đổ đầy dầu bôi trơn |
| Nitơ kín không đủ | Kiểm tra báo động nitơ kín | ||
| BÁO ĐỘNG: MỨC DẦU ĐỘNG CƠ BP THẤP | Mức dầu phía động cơ BP thấp | Máy bơm bị nghiêng | Cân bằng máy bơm bằng chân điều chỉnh |
| Thiết bị bị lỗi | Thay thế thiết bị | ||
| BÁO ĐỘNG: MỨC DẦU BÁNH RĂNG MP THẤP | Mức dầu phía bánh răng MP thấp | ||
| BÁO ĐỘNG: MỨC DẦU ĐỘNG CƠ MP THẤP | Mức dầu phía động cơ MP thấp | ||
| BÁO ĐỘNG: MỨC DẦU THẤP | Mức dầu thấp trong chảo dầu. [Chỉ A07V] | ||
| BÁO ĐỘNG: NHIỆT ĐỘ Ổ ĐỠ TRỤC DẪN ĐỘNG CAO | Nhiệt độ ổ đỡ trục dẫn động tăng. [A07V] | Giảm nước làm mát | Tăng nước từ từ |
| Giảm mỡ bôi trơn | Thay mỡ bôi trơn | ||
| BÁO ĐỘNG: NHIỆT ĐỘ Ổ ĐỠ TRỤC BỊ DẪN ĐỘNG CAO | Nhiệt độ ổ đỡ trục bị dẫn động tăng. [A07V] | Ổ đỡ bị hư hỏng | Thay thế hoặc đại tu máy bơm |
| BÁO ĐỘNG: NHIỆT ĐỘ HỘP MÁY BƠM CAO | Nhiệt độ trong nắp máy bơm tăng | Thông gió đường ống không đủ | Thông gió đầy đủ |
| Giảm nước làm mát | Tăng nước | ||
| NGẮT MẠCH | |||
| Hiển thị | Triệu chứng | Mục kiểm tra | Hành động khắc phục |
| NGẮT MẠCH: NHIỆT ĐỘ VỎ CỰC CAO | Nhiệt độ vỏ máy bơm tăng | Áp suất xả tăng | Kiểm tra đường ống xả |
| Giảm nước làm mát | Tăng nước từ từ | ||
| Sản phẩm phụ bị tắc | Thay thế hoặc đại tu máy bơm | ||
| Thông gió đường ống không đủ | Thông gió đầy đủ | ||
| NGẮT MẠCH: NHIỆT ĐỘ ĐỘNG CƠ BP CAO | Nhiệt độ động cơ BP tăng | Giảm nước làm mát | Tăng nước từ từ |
| NGẮT MẠCH: NHIỆT ĐỘ ĐỘNG CƠ MP CAO | Nhiệt độ động cơ MP tăng | Động cơ bị lỗi | Thay thế hoặc đại tu máy bơm |
| NGẮT MẠCH: QUÁ TẢI ĐỘNG CƠ BP | Dòng điện BP tăng. (rơ-le nhiệt ngắt) | Áp suất xả tăng | Kiểm tra đường ống xả |
| Sản phẩm phụ bị tắc | Thay thế hoặc đại tu máy bơm | ||
| Hút phải vật thể | Thay thế hoặc đại tu máy bơm | ||
| NGẮT MẠCH: QUÁ TẢI ĐỘNG CƠ MP | Dòng điện MP tăng. (rơ-le nhiệt ngắt) | Thiết bị bị lỗi | Thay thế thiết bị |
| Lỗi nguồn điện | Kiểm tra nguồn điện | ||
| NGẮT MẠCH: LỖI PHA | Pha âm Pha hở | Lỗi đấu dây | Đấu dây R/S/T/E chính xác |
| Thiết bị bị lỗi | Thay thế thiết bị | ||
| Lỗi đấu dây | Kiểm tra nguồn điện | ||
| NGẮT MẠCH: ĐỘNG CƠ BP KHÔNG CÓ DÒNG ĐIỆN | Giá trị dòng điện động cơ BP là 0 | Thiết bị bị lỗi | Thay thế thiết bị |
| NGẮT MẠCH: ĐỘNG CƠ MP KHÔNG CÓ DÒNG ĐIỆN | Giá trị dòng điện động cơ MP là 0 | ||
| NGẮT MẠCH: BÁO ĐỘNG KHỞI ĐỘNG THẤT BẠI/NGẮT MẠCH TỒN TẠI | Lỗi khởi động | Khởi động trong điều kiện BÁO ĐỘNG / NGẮT MẠCH | Đáp ứng tất cả các điều kiện khởi động |
| Thiết bị bị lỗi | Thay thế thiết bị | ||
| NGẮT MẠCH: RÒ RỈ NƯỚC | Rò rỉ nước | Khớp nối ống lỏng | Siết chặt các khớp nối |
| Thiết bị bị lỗi | Thay thế thiết bị | ||
| NGẮT MẠCH: ÁP SUẤT NGƯỢC CAO | Áp suất xả tăng. (0.1 MPa) | Van xả bị đóng | Kiểm tra đường ống xả |
| NGẮT MẠCH: CÔNG TẮC DỪNG KHẨN CẤP | Công tắc dừng khẩn cấp | Dừng bằng nút dừng khẩn cấp | Kiểm tra xem máy bơm có thể hoạt động và xoay đầu nút để đặt lại |
傑笙真空科技 