EBARA ESA25 troubleshooting

EBARA ESA25

BASIC TROUBLE
Abnormal Symptom	Check Item	Corrective Action
Open the fuse	Incorrect wiring	Check wiring.
	Short circuit	Replace or overhaul pump.
	Input wrong voltage	Check power supply voltage.
Power LED does not come on.	No power supply to pump.	Check power supply.
	Incorrect wiring	Check wiring.
	Input wrong voltage	Check power supply voltage.
Nothing appears on LCD	Open the fuse	Check FUSE and wiring
	Disconnection of the LCD’s connector	Connect LCD’s connector
	Instrument failure	Replace instruments.
MP does not start when applying START button.	“Remote" mode has been selected.	Set switch to “Local" mode.
	Start-up conditions are not satisfied. (“Startfail" is displayed.)	Satisfy all start-up conditions.
	Instrument failure	Replace instrument.
MP does not start when entering external “MP start" signal input.	“Local" mode has been selected.	Set switch to “Remote".
	Start-up conditions are not satisfied. (“Startfail" is displayed.)	Satisfy all start-up conditions.
	Instrument failure	Replace instrument.
Reverse rotation	Incorrect wiring	Check wiring.
Abnormal noise	Adjustment feet are not applied.	Use the adjustment feet.
Excessive vibration	Some object is making contact with the outer cover.	Remove the object.
	The fastening screws of the outer corer have worked themselves loose.	Tighten the fastening screws.
	Parts of the pump are damaged.	Replace or overhaul pump.
Vacuum pressure increase.	Accumulation of by-products in pipes.	Clean piping.
	N2 pressure setting is high.	Set pressure for correct value.
	Leak from vacuum piping.	Check piping.
	Accumulation of by-products in pumps.	Replace or overhaul pump.
MEMORY ERROR is displayed on LCD changing the dip switch setting	None	Need “Countermeasure against electric Noise" to pump.
WATCH DOG TIMER ERROR is displayed on LCD.	None	Need “Countermeasure against electric Noise" to pump.

ALARM
Display	Symptom	Check Item	Corrective Action
ALARM: MP CASING TEMP HIGH	Pump casing temp. rises.	Insufficient ventilation	Ventilate sufficiently
		Pump back press. rises.	Check exhaust pipe & silencer.
		Increase of the gas load.	Reduce the inflow gas amount.
		Cooling water flow is reduced.	Cool pump thoroughly and reset.
		Accumulation of by-products	Replace or overhaul pump.
ALARM: MP MOTOR TEMP H.HIGH	Main Pump (MP) motor coil temp. rises.	Cooling water flow is reduced.	Cool pump thoroughly and reset.
ALARM: MP MOTOR TEMP H.HIGH	Main Pump (MP) motor coil temp. rises.	Motor failure	Replace or overhaul pump.
ALARM: MP NO CURRENT	No current.	Open phase	Check wiring.
ALARM: MP NO CURRENT	No current.	Incorrect wiring	Check wiring.
ALARM: BACK PRESS HIGH	Exhaust pressure rises.	Exhaust valve is closed.	Check exhaust pipe.
ALARM: BACK PRESS HIGH	Exhaust pressure rises.	Instrument failure	Replace instrument.
ALARM: EMERGENCY OFF	Input the emergency stop switch.	Stop by Emergency Stop switch.	Check that pump can be operated and turn the button head to release lock.
ALARM: IO COMM.ERROR	Communication is not established.	Connection error of the instrumented units	Check the connection of the instrumented unit.
ALARM: IO COMM.ERROR	Communication is not established.	Instrument failure	Replace instrument.
ALARM: STARTFAIL ALARM/WARN EXIST	Start fault	Starting during WARNING/ALARM status	Make sure that all starting conditions are met.
ALARM: STARTFAIL ALARM/WARN EXIST	Start fault	Instrument failure	Replace instrument.
ALARM: EXT. INTERLOCK	Interlocked	External interlock is effective.	Check the external interlock signal.

WARNING
Display	Symptom	Check Item	Corrective Action
WARN: WATER FLOW LOW	Water flow is reduced.	Coupler is disconnected.	Connect coupler.
		Pressure is not sufficient.	Apply sufficient pressure.
		Root valve is closed.	Open valve.
		Water pipe is clogged.	Clean or replace piping.
		Tube fittings are loosened.	Re-tighten.
		Instrument failure	Replace instrument.
		Outlet & inlet pipes are reverse. (flow value 0 L/min)	Connect pipes correctly.
WARN: PUMP N2 FLOW LOW	Pump N₂ flow is reduced.	N₂ port is not connected.	Connect N₂ pipe fitting.
		Primary pressure is insufficient.	Apply sufficient pressure.
		Regulator setting value LOW.	Increase pressure setting.
		N₂ pipe is clogged.	Replace N₂ piping.
		Leaks on N₂ pipe.	Check the fittings.
		Instrument failure	Replace instrument.
WARN: MP CASING TEMP HIGH	Casing temperature rises.	Duct ventilation insufficient	Ventilate sufficiently
		Pump back pressure rises.	Check exhaust pipe
		Increase of the gas load.	Reduce the inflow gas amount.
		Accumulation of by-product	Replace or overhaul pump.
		Cooling water flow is reduced.	Increase cooling water flow.
WARN: MP OIL LEVEL LOW	Oil level is low.	Check oil level. (See Fig.8. 1 & 2)	Charge lubrication oil.
WARN: BACK PRESS HIGH	Exhaust pressure rises.	Exhaust valve is closed.	Check exhaust pipe.
WARN: BACK PRESS HIGH	Exhaust pressure rises.	Instrument failure	Replace instrument.
WARN: BACK PRES WIRE BROKE	Wire of back pressure sensor is broken.	Instrument failure	Replace instrument.
WARN: MP CURRENT HIGH	MP motor current rises.	Back press. rises.	Check exhaust pipe.
		Increase of the gas load.	Reduce the gas flow rate.
		Rotor makes contact. (Accumulation of by-products) (Substance plunge)	Replace or overhaul pump.
		Open phase	Check wiring.
WARN: ## COMM.ERROR	Communication is not established.	Connection error of the instrumented units	Check the connection of the instrumented unit.
WARN: ## COMM.ERROR	Communication is not established.	Instrument failure	Replace instrument.
WARN: PUMP BOX TEMP HIGH	Temp. rises in pump cover.	Duct ventilation not sufficient	Ventilate sufficiently.
WARN: PUMP BOX TEMP HIGH	Temp. rises in pump cover.	Cooling water flow is reduced.	Increase cooling water flow.
WARN: PUMP N2 VALVE ERROR	N2 valve open.	Setting is N2 0 mode.	Close N2 valve. (at the side of pump)

基本故障
異常症狀	檢查項目	糾正措施
熔斷器斷開	接線錯誤	檢查接線。
	短路	更換或大修泵。
	輸入電壓錯誤	檢查電源電壓。
電源LED未亮	泵無電源供應	檢查電源。
	接線錯誤	檢查接線。
	輸入電壓錯誤	檢查電源電壓。
LCD無顯示	熔斷器斷開	檢查熔斷器和接線
	LCD連接器斷開	連接LCD連接器
	儀器故障	更換儀器。
按下START按鈕時MP未啟動	已選擇“遠程”模式	將開關設置為“本地”模式。
	啟動條件未滿足（顯示“Startfail”）	滿足所有啟動條件。
	儀器故障	更換儀器。
輸入外部“MP啟動”信號時MP未啟動	已選擇“本地”模式	將開關設置為“遠程”。
	啟動條件未滿足（顯示“Startfail”）	滿足所有啟動條件。
	儀器故障	更換儀器。
反向旋轉	接線錯誤	檢查接線。
異常噪音	未使用調節腳	使用調節腳。
過度振動	外蓋與某物體接觸	移除該物體。
	外蓋固定螺絲鬆動	擰緊固定螺絲。
	泵部件損壞	更換或大修泵。
真空壓力增加	管道內副產品積聚	清理管道。
	氮氣壓力設置過高	將壓力設置為正確值。
	真空管道洩漏	檢查管道。
	泵內副產品積聚	更換或大修泵。
LCD上顯示記憶體錯誤更改DIP開關設置	無	需要對泵進行“電噪聲對策”。
LCD上顯示看門狗定時器錯誤	無	需要對泵進行“電噪聲對策”。

警報
顯示	症狀	檢查項目	糾正措施
警報：MP外殼溫度高	泵外殼溫度上升	通風不足	充分通風
		泵背壓上升	檢查排氣管和消音器。
		氣體負載增加	減少流入氣體量。
		冷卻水流量減少	徹底冷卻泵並重置。
		副產品積聚	更換或大修泵。
警報：MP電機溫度極高	主泵（MP）電機線圈溫度上升	冷卻水流量減少	徹底冷卻泵並重置。
警報：MP電機溫度極高	主泵（MP）電機線圈溫度上升	電機故障	更換或大修泵。
警報：MP無電流	無電流	開路相	檢查接線。
警報：MP無電流	無電流	接線錯誤	檢查接線。
警報：背壓高	排氣壓力上升	排氣閥關閉	檢查排氣管。
警報：背壓高	排氣壓力上升	儀器故障	更換儀器。
警報：緊急停止	輸入緊急停止開關	緊急停止開關停止	檢查泵是否可操作並轉動按鈕頭以釋放鎖定。
警報：IO通信錯誤	通信未建立	儀器單元連接錯誤	檢查儀器單元的連接。
警報：IO通信錯誤	通信未建立	儀器故障	更換儀器。
警報：啟動失敗警報/警告存在	啟動故障	在警告/警報狀態下啟動	確保滿足所有啟動條件。
警報：啟動失敗警報/警告存在	啟動故障	儀器故障	更換儀器。
警報：外部互鎖	互鎖	外部互鎖有效	檢查外部互鎖信號。

警告
顯示	症狀	檢查項目	糾正措施
警告：水流量低	水流量減少	耦合器斷開	連接耦合器。
		壓力不足	施加足夠壓力。
		根閥關閉	打開閥門。
		水管堵塞	清理或更換管道。
		管配件鬆動	重新擰緊。
		儀器故障	更換儀器。
		出口與入口管道相反（流量值0升/分鐘）	正確連接管道。
警告：泵氮氣流量低	泵氮氣流量減少	氮氣端口未連接	連接氮氣管配件。
		初級壓力不足	施加足夠壓力。
		調節器設置值低	增加壓力設置。
		氮氣管道堵塞	更換氮氣管道。
		氮氣管道洩漏	檢查配件。
		儀器故障	更換儀器。
警告：MP外殼溫度高	外殼溫度上升	管道通風不足	充分通風
		泵背壓上升	檢查排氣管
		氣體負載增加	減少流入氣體量。
		副產品積聚	更換或大修泵。
		冷卻水流量減少	增加冷卻水流量。
警告：MP油位低	油位低	檢查油位。（見圖8.1和2）	添加潤滑油。
警告：背壓高	排氣壓力上升	排氣閥關閉	檢查排氣管。
警告：背壓高	排氣壓力上升	儀器故障	更換儀器。
警告：背壓感測器線路斷開	背壓感測器線路斷開	儀器故障	更換儀器。
警告：MP電流高	MP電機電流上升	背壓上升	檢查排氣管。
		氣體負載增加	減少氣體流率。
		轉子接觸（副產品積聚）（物質堵塞）	更換或大修泵。
		開路相	檢查接線。
警告：通信錯誤	通信未建立	儀器單元連接錯誤	檢查儀器單元的連接。
警告：通信錯誤	通信未建立	儀器故障	更換儀器。
警告：泵箱溫度高	泵蓋內溫度上升	管道通風不足	充分通風。
警告：泵箱溫度高	泵蓋內溫度上升	冷卻水流量減少	增加冷卻水流量。
警告：泵氮氣閥錯誤	氮氣閥開啟	設置為氮氣0模式	關閉氮氣閥。（在泵側）

SỰ CỐ CƠ BẢN
Triệu chứng bất thường	Mục kiểm tra	Hành động khắc phục
Cầu chì bị ngắt	Lỗi đấu dây	Kiểm tra đấu dây.
	Ngắn mạch	Thay thế hoặc đại tu máy bơm.
	Điện áp đầu vào sai	Kiểm tra điện áp nguồn.
Đèn LED nguồn không sáng	Không có nguồn điện cung cấp cho máy bơm	Kiểm tra nguồn điện.
	Lỗi đấu dây	Kiểm tra đấu dây.
	Điện áp đầu vào sai	Kiểm tra điện áp nguồn.
Không có gì hiển thị trên LCD	Cầu chì bị ngắt	Kiểm tra cầu chì và đấu dây
	Đầu nối LCD bị ngắt	Kết nối đầu nối LCD
	Lỗi thiết bị	Thay thế thiết bị.
MP không khởi động khi nhấn nút START	Chế độ “Từ xa” đã được chọn	Đặt công tắc sang chế độ “Cục bộ”.
	Điều kiện khởi động không được đáp ứng (Hiển thị “Startfail”)	Đáp ứng tất cả các điều kiện khởi động.
	Lỗi thiết bị	Thay thế thiết bị.
MP không khởi động khi nhập tín hiệu “MP khởi động” bên ngoài	Chế độ “Cục bộ” đã được chọn	Đặt công tắc sang “Từ xa”.
	Điều kiện khởi động không được đáp ứng (Hiển thị “Startfail”)	Đáp ứng tất cả các điều kiện khởi động.
	Lỗi thiết bị	Thay thế thiết bị.
Xoay ngược	Lỗi đấu dây	Kiểm tra đấu dây.
Tiếng ồn bất thường	Chân điều chỉnh chưa được sử dụng	Sử dụng chân điều chỉnh.
Rung động quá mức	Một số vật thể tiếp xúc với vỏ ngoài	Loại bỏ vật thể.
	Các vít cố định của vỏ ngoài bị lỏng	Siết chặt các vít cố định.
	Các bộ phận của máy bơm bị hư hỏng	Thay thế hoặc đại tu máy bơm.
Áp suất chân không tăng	Tích tụ sản phẩm phụ trong đường ống	Làm sạch đường ống.
	Cài đặt áp suất nitơ cao	Đặt áp suất về giá trị đúng.
	Rò rỉ từ đường ống chân không	Kiểm tra đường ống.
	Tích tụ sản phẩm phụ trong máy bơm	Thay thế hoặc đại tu máy bơm.
Hiển thị LỖI BỘ NHỚ trên LCD khi thay đổi cài đặt công tắc DIP	Không có	Cần “Biện pháp chống nhiễu điện” cho máy bơm.
Hiển thị LỖI BỘ ĐỊNH THỜI WATCHDOG trên LCD	Không có	Cần “Biện pháp chống nhiễu điện” cho máy bơm.

BÁO ĐỘNG
Hiển thị	Triệu chứng	Mục kiểm tra	Hành động khắc phục
BÁO ĐỘNG: NHIỆT ĐỘ VỎ MP CAO	Nhiệt độ vỏ máy bơm tăng	Thông gió không đủ	Thông gió đầy đủ
		Áp suất phía sau máy bơm tăng	Kiểm tra đường ống xả và bộ giảm thanh.
		Tăng tải khí	Giảm lượng khí vào.
		Lưu lượng nước làm mát giảm	Làm mát máy bơm kỹ lưỡng và đặt lại.
		Tích tụ sản phẩm phụ	Thay thế hoặc đại tu máy bơm.
BÁO ĐỘNG: NHIỆT ĐỘ ĐỘNG CƠ MP CỰC CAO	Nhiệt độ cuộn dây động cơ máy bơm chính (MP) tăng	Lưu lượng nước làm mát giảm	Làm mát máy bơm kỹ lưỡng và đặt lại.
BÁO ĐỘNG: NHIỆT ĐỘ ĐỘNG CƠ MP CỰC CAO	Nhiệt độ cuộn dây động cơ máy bơm chính (MP) tăng	Lỗi động cơ	Thay thế hoặc đại tu máy bơm.
BÁO ĐỘNG: MP KHÔNG CÓ DÒNG ĐIỆN	Không có dòng điện	Pha hở	Kiểm tra đấu dây.
BÁO ĐỘNG: MP KHÔNG CÓ DÒNG ĐIỆN	Không có dòng điện	Lỗi đấu dây	Kiểm tra đấu dây.
BÁO ĐỘNG: ÁP SUẤT XẢ CAO	Áp suất xả tăng	Van xả đóng	Kiểm tra đường ống xả.
BÁO ĐỘNG: ÁP SUẤT XẢ CAO	Áp suất xả tăng	Lỗi thiết bị	Thay thế thiết bị.
BÁO ĐỘNG: TẮT KHẨN CẤP	Nhấn công tắc dừng khẩn cấp	Dừng bởi công tắc dừng khẩn cấp	Kiểm tra máy bơm có thể hoạt động và xoay đầu nút để mở khóa.
BÁO ĐỘNG: LỖI GIAO TIẾP IO	Kết nối giao tiếp không được thiết lập	Lỗi kết nối của các đơn vị thiết bị	Kiểm tra kết nối của đơn vị thiết bị.
BÁO ĐỘNG: LỖI GIAO TIẾP IO	Kết nối giao tiếp không được thiết lập	Lỗi thiết bị	Thay thế thiết bị.
BÁO ĐỘNG: KHỞI ĐỘNG THẤT BẠI/CÓ CẢNH BÁO	Lỗi khởi động	Khởi động trong trạng thái CẢNH BÁO/BÁO ĐỘNG	Đảm bảo đáp ứng tất cả các điều kiện khởi động.
BÁO ĐỘNG: KHỞI ĐỘNG THẤT BẠI/CÓ CẢNH BÁO	Lỗi khởi động	Lỗi thiết bị	Thay thế thiết bị.
BÁO ĐỘNG: KHÓA LIÊN ĐỘNG NGOẠI	Khóa liên động	Khóa liên động bên ngoài có hiệu lực	Kiểm tra tín hiệu khóa liên động bên ngoài.

CẢNH BÁO
Hiển thị	Triệu chứng	Mục kiểm tra	Hành động khắc phục
CẢNH BÁO: LƯU LƯỢNG NƯỚC THẤP	Lưu lượng nước giảm	Khớp nối bị ngắt	Kết nối khớp nối.
		Áp suất không đủ	Áp dụng áp suất đủ.
		Van gốc đóng	Mở van.
		Ống nước bị tắc	Làm sạch hoặc thay thế đường ống.
		Phụ kiện ống bị lỏng	Siết lại.
		Lỗi thiết bị	Thay thế thiết bị.
		Ống đầu ra và đầu vào bị đảo ngược (lưu lượng 0 lít/phút)	Kết nối ống đúng cách.
CẢNH BÁO: LƯU LƯỢNG NITƠ MÁY BƠM THẤP	Lưu lượng nitơ máy bơm giảm	Cổng nitơ chưa được kết nối	Kết nối phụ kiện ống nitơ.
		Áp suất sơ cấp không đủ	Áp dụng áp suất đủ.
		Giá trị cài đặt bộ điều chỉnh thấp	Tăng cài đặt áp suất.
		Ống nitơ bị tắc	Thay thế ống nitơ.
		Rò rỉ trên ống nitơ	Kiểm tra các phụ kiện.
		Lỗi thiết bị	Thay thế thiết bị.
CẢNH BÁO: NHIỆT ĐỘ VỎ MP CAO	Nhiệt độ vỏ tăng	Thông gió ống dẫn không đủ	Thông gió đầy đủ
		Áp suất phía sau máy bơm tăng	Kiểm tra đường ống xả
		Tăng tải khí	Giảm lượng khí vào.
		Tích tụ sản phẩm phụ	Thay thế hoặc đại tu máy bơm.
		Lưu lượng nước làm mát giảm	Tăng lưu lượng nước làm mát.
CẢNH BÁO: MỨC DẦU MP THẤP	Mức dầu thấp	Kiểm tra mức dầu. (Xem Hình 8. 1 & 2)	Thêm dầu bôi trơn.
CẢNH BÁO: ÁP SUẤT XẢ CAO	Áp suất xả tăng	Van xả đóng	Kiểm tra đường ống xả.
CẢNH BÁO: ÁP SUẤT XẢ CAO	Áp suất xả tăng	Lỗi thiết bị	Thay thế thiết bị.
CẢNH BÁO: DÂY CẢM BIẾN ÁP SUẤT XẢ BỊ ĐỨT	Dây cảm biến áp suất xả bị đứt	Lỗi thiết bị	Thay thế thiết bị.
CẢNH BÁO: DÒNG ĐIỆN MP CAO	Dòng điện động cơ MP tăng	Áp suất xả tăng	Kiểm tra đường ống xả.
		Tăng tải khí	Giảm lưu lượng khí.
		Rôto tiếp xúc (Tích tụ sản phẩm phụ) (Chất bị tắc)	Thay thế hoặc đại tu máy bơm.
		Pha hở	Kiểm tra đấu dây.
CẢNH BÁO: LỖI GIAO TIẾP	Kết nối giao tiếp không được thiết lập	Lỗi kết nối của các đơn vị thiết bị	Kiểm tra kết nối của đơn vị thiết bị.
CẢNH BÁO: LỖI GIAO TIẾP	Kết nối giao tiếp không được thiết lập	Lỗi thiết bị	Thay thế thiết bị.
CẢNH BÁO: NHIỆT ĐỘ HỘP MÁY BƠM CAO	Nhiệt độ trong nắp máy bơm tăng	Thông gió ống dẫn không đủ	Thông gió đầy đủ.
CẢNH BÁO: NHIỆT ĐỘ HỘP MÁY BƠM CAO	Nhiệt độ trong nắp máy bơm tăng	Lưu lượng nước làm mát giảm	Tăng lưu lượng nước làm mát.
CẢNH BÁO: LỖI VAN NITƠ MÁY BƠM	Van nitơ mở	Cài đặt ở chế độ nitơ 0	Đóng van nitơ. (ở phía máy bơm)