EBARA ESR20N troubleshooting

EBARA ESR20N

BASIC TROUBLE
Abnormal Symptom	Check Item	Corrective Action
Earth Leakage Breaker is activated. (Leakage detector is on.)	Incorrect wiring	Check wiring.
	Short circuit	Replace or overhaul pump.
Power LED does not come on.	No power supply to pump.	Check power supply.
	Connector is not connected.	Connect power connector.
	ELB is not ON.	Place ELB to ON.
Nothing appears on LCD	ELB is not ON.	Place ELB to ON.
	Disconnection of the LCD’s connector	Connect LCD’s connector
	Instrument failure	Replace instruments.
MP does not start when applying START button.	“Remote" mode has been selected.	Set switch to “Local" mode.
	Start-up conditions are not satisfied. (“Startfail" is displayed.)	Satisfy all start-up conditions.
	Instrument failure	Replace instrument.
MP does not start when entering external “MP start" signal input.	“Local" mode has been selected.	Set switch to “Remote".
	Start-up conditions are not satisfied. (“Startfail" is displayed.)	Satisfy all start-up conditions.
	Instrument failure	Replace instrument.
BP does not start.	BP start signal is not entered in REMOTE mode.	Enter the start signal.
BP does not start.	Instrument failure	Replace instruments.
Abnormal noise	Adjustment feet are not applied.	Use the adjustment feet.
Excessive vibration	Some object is making contact with the outer cover.	Remove the object.
	The fastening screws of the outer cover have worked themselves loose.	Tighten the fastening screws.
	Parts of the pump are damaged.	Replace or overhaul pump.
Vacuum pressure increase.	Accumulation of by-products in pipes.	Clean piping.
	N2 pressure setting is high.	Set pressure for correct value.
	Leak from vacuum piping.	Check piping.
	Accumulation of by-products in pumps.	Replace or overhaul pump.
MEMORY ERROR is displayed on LCD after activating ELB or changing the dip switch setting	None	Need “Countermeasure against electric Noise" to pump.

ALARM
Display	Symptom	Check Item	Corrective Action
ALARM: WATER FLOW LOW	Water flow is reduced.	Coupler is disconnected.	Connect coupler.
		Pressure is not sufficient.	Apply sufficient pressure.
		Root valve is closed.	Open valve.
		Water pipe is clogged.	Clean or replace piping.
		Tube fittings are loosened.	Re-tighten.
		Instrument failure	Replace instrument.
		Outlet & inlet pipes are reverse. (flow value 0 L/min)	Connect pipes correctly.
ALARM: CASING TEMP H.HIGH	Pump casing temp. rises.	Insufficient ventilation	Ventilate sufficiently
		Pump back press. rises.	Check exhaust pipe & silencer.
		Increase of the gas load.	Reduce the inflow gas amount.
		Cooling water flow is reduced.	Cool pump thoroughly and reset.
		Accumulation of by-products	Replace or overhaul pump.
ALARM: BP MOTOR TEMP H.HIGH	Booster Pump (BP) motor coil temp. rises.	Cooling water flow is reduced.	Cool pump thoroughly and reset.
ALARM: MP MOTOR TEMP H.HIGH	Main Pump (MP) motor coil temp. rises.	Motor failure	Replace or overhaul pump.
ALARM: BP MOTOR OVERLOAD	BP motor current rises. (thermal relay trip)	Pump back press. rises.	Check exhaust pipe & silencer.
ALARM: BP MOTOR OVERLOAD	BP motor current rises. (thermal relay trip)	Increase of the gas load.	Reduce the inflow gas amount.
ALARM: MP MOTOR OVERLOAD	MP motor current rises. (thermal relay trip)	Rotor makes contact. (Accumulation of by-products) (Substance plunge)	Replace or overhaul pump.
		Open phase	Loss of the phase in power source
		Instrument failure	Replace instrument.
ALARM: BP MOTOR STEP OUT	Booster Pump (BP) motor step out	Pump back press. rises.	Check exhaust pipe.
ALARM: BP MOTOR STEP OUT	Booster Pump (BP) motor step out	Increase of the gas load.	Reduce the inflow gas amount.
ALARM: MP MOTOR STEP OUT	Main Pump (MP) motor step out	Rotor makes contact. (Accumulation of by-products) (Substance plunge)	Replace or overhaul pump.
ALARM: MP MOTOR STEP OUT	Can not restart	Instrument failure	Replace instrument.

WARNING
Display	Symptom	Check Item	Corrective Action
WARN: WATER FLOW LOW ##.#	Water flow is reduced.	Coupler is disconnected.	Connect coupler.
		Pressure is not sufficient.	Apply sufficient pressure.
		Root valve is closed.	Open valve.
		Water pipe is clogged.	Clean or replace piping.
		Tube fittings are loosened.	Re-tighten.
		Instrument failure	Replace instrument.
		Outlet & inlet pipes are reverse. (flow value 0 L/min)	Connect pipes correctly.
WARN: PUMP N2 FLOW LOW	Pump N2 flow is reduced.	N2 port is not connected.	Connect N2 pipe fitting.
		Primary pressure is insufficient.	Apply sufficient pressure.
		Regulator setting value LOW.	Increase pressure setting.
		N2 pipe is clogged.	Replace N2 piping.
		Leaks on N2 pipe.	Check the fittings.
		Instrument failure	Replace instrument.
WARN: CASING TEMP HIGH	Casing temperature rises.	Duct ventilation insufficient	Ventilate sufficiently.
		Pump back pressure rises.	Check exhaust pipe
		Increase of the gas load.	Reduce the inflow gas amount.
		Accumulation of by-product	Replace or overhaul pump.
		Cooling water flow is reduced.	Increase cooling water flow.
WARN: BP MOTOR TEMP HIGH	Booster Pump (BP) motor coil temp. rises.	Cooling water flow is reduced.	Cool pump thoroughly and reset.
WARN: MP MOTOR TEMP HIGH	Main Pump (MP) motor coil temp. rises.	Cooling water flow is reduced.	Cool pump thoroughly and reset.
WARN: BP DRIVER TEMP HIGH #####	Booster Pump (BP) driver temp. rises.	Duct ventilation insufficient	Ventilate sufficiently.
WARN: MP DRIVER TEMP HIGH #####	Main Pump (MP) driver temp. rises.	Cooling water flow is reduced.	Increase cooling water flow.
WARN: ## COMM.ERROR	Communication is not established.	Connection error of the instrumented units	Check the connection of the instrumented units
WARN: ## COMM.ERROR	Communication is not established.	Instrument failure	Replace instrument.
ALARM: PUMP BOX TEMP HIGH	Temp. rises in pump cover.	Duct ventilation not sufficient	Ventilate sufficiently.
ALARM: PUMP BOX TEMP HIGH	Temp. rises in pump cover.	Cooling water flow is reduced.	Increase cooling water flow.
WARN: OIL LEVEL LOW	Oil level is low.	Check oil level. (See Fig.8.1)	Charge lubrication oil.
WARN: PUMP N2 VALVE ERROR	N2 valve open.	Setting is N2 0 mode	Close N2 valve. (at the side of pump)

基本故障
異常症狀	檢查項目	糾正措施
漏電斷路器被啟動（漏電檢測器亮起）	接線錯誤	檢查接線。
漏電斷路器被啟動（漏電檢測器亮起）	短路	更換或大修泵。
電源LED未亮	泵無電源供應	檢查電源。
	連接器未連接	連接電源連接器。
	ELB未開啟	將ELB設置為開啟。
LCD無顯示	ELB未開啟	將ELB設置為開啟。
	LCD連接器斷開	連接LCD連接器
	儀器故障	更換儀器。
按下START按鈕時MP未啟動	已選擇“遠程”模式	將開關設置為“本地”模式。
	啟動條件未滿足（顯示“Startfail”）	滿足所有啟動條件。
	儀器故障	更換儀器。
輸入外部“MP啟動”信號時MP未啟動	已選擇“本地”模式	將開關設置為“遠程”。
	啟動條件未滿足（顯示“Startfail”）	滿足所有啟動條件。
	儀器故障	更換儀器。
BP未啟動	遠程模式下未輸入BP啟動信號	輸入啟動信號。
BP未啟動	儀器故障	更換儀器。
異常噪音	未使用調節腳	使用調節腳。
過度振動	外蓋與某物體接觸	移除該物體。
	外蓋固定螺絲鬆動	擰緊固定螺絲。
	泵部件損壞	更換或大修泵。
真空壓力增加	管道內副產品積聚	清理管道。
	氮氣壓力設置過高	將壓力設置為正確值。
	真空管道洩漏	檢查管道。
	泵內副產品積聚	更換或大修泵。
LCD上顯示記憶體錯誤在啟動ELB或更改DIP開關設置後	無	需要對泵進行“電噪聲對策”。

警報
顯示	症狀	檢查項目	糾正措施
警報：水流量低	水流量減少	耦合器斷開	連接耦合器。
		壓力不足	施加足夠壓力。
		根閥關閉	打開閥門。
		水管堵塞	清理或更換管道。
		管配件鬆動	重新擰緊。
		儀器故障	更換儀器。
		出口與入口管道相反（流量值0升/分鐘）	正確連接管道。
警報：外殼溫度極高	泵外殼溫度上升	通風不足	充分通風
		泵背壓上升	檢查排氣管和消音器。
		氣體負載增加	減少流入氣體量。
		冷卻水流量減少	徹底冷卻泵並重置。
		副產品積聚	更換或大修泵。
警報：BP電機溫度極高	增壓泵（BP）電機線圈溫度上升	冷卻水流量減少	徹底冷卻泵並重置。
警報：MP電機溫度極高	主泵（MP）電機線圈溫度上升	電機故障	更換或大修泵。
警報：BP電機過載	BP電機電流上升（熱繼電器跳閘）	泵背壓上升	檢查排氣管和消音器。
警報：BP電機過載	BP電機電流上升（熱繼電器跳閘）	氣體負載增加	減少流入氣體量。
警報：MP電機過載	MP電機電流上升（熱繼電器跳閘）	轉子接觸（副產品積聚）（物質堵塞）	更換或大修泵。
		開路相	電源相損失
		儀器故障	更換儀器。
警報：BP電機失步	增壓泵（BP）電機失步	泵背壓上升	檢查排氣管。
警報：BP電機失步	增壓泵（BP）電機失步	氣體負載增加	減少流入氣體量。
警報：MP電機失步	主泵（MP）電機失步	轉子接觸（副產品積聚）（物質堵塞）	更換或大修泵。
警報：MP電機失步	無法重新啟動	儀器故障	更換儀器。

警告
顯示	症狀	檢查項目	糾正措施
警告：水流量低 ##.#	水流量減少	耦合器斷開	連接耦合器。
		壓力不足	施加足夠壓力。
		根閥關閉	打開閥門。
		水管堵塞	清理或更換管道。
		管配件鬆動	重新擰緊。
		儀器故障	更換儀器。
		出口與入口管道相反（流量值0升/分鐘）	正確連接管道。
警告：泵氮氣流量低	泵氮氣流量減少	氮氣端口未連接	連接氮氣管配件。
		初級壓力不足	施加足夠壓力。
		調節器設置值低	增加壓力設置。
		氮氣管道堵塞	更換氮氣管道。
		氮氣管道洩漏	檢查配件。
		儀器故障	更換儀器。
警告：外殼溫度高	外殼溫度上升	管道通風不足	充分通風。
		泵背壓上升	檢查排氣管
		氣體負載增加	減少流入氣體量。
		副產品積聚	更換或大修泵。
		冷卻水流量減少	增加冷卻水流量。
警告：BP電機溫度高	增壓泵（BP）電機線圈溫度上升	冷卻水流量減少	徹底冷卻泵並重置。
警告：MP電機溫度高	主泵（MP）電機線圈溫度上升	冷卻水流量減少	徹底冷卻泵並重置。
警告：BP驅動器溫度高 #####	增壓泵（BP）驅動器溫度上升	管道通風不足	充分通風。
警告：MP驅動器溫度高 #####	主泵（MP）驅動器溫度上升	冷卻水流量減少	增加冷卻水流量。
警告：通信錯誤	通信未建立	儀器單元連接錯誤	檢查儀器單元的連接
警告：通信錯誤	通信未建立	儀器故障	更換儀器。
警報：泵箱溫度高	泵蓋內溫度上升	管道通風不足	充分通風。
警報：泵箱溫度高	泵蓋內溫度上升	冷卻水流量減少	增加冷卻水流量。
警告：油位低	油位低	檢查油位。（見圖8.1）	添加潤滑油。
警告：泵氮氣閥錯誤	氮氣閥開啟	設置為氮氣0模式	關閉氮氣閥。（在泵側）

SỰ CỐ CƠ BẢN
Triệu chứng bất thường	Mục kiểm tra	Hành động khắc phục
Cầu chì rò điện được kích hoạt (Bộ dò rò đang bật)	Lỗi đấu dây	Kiểm tra đấu dây.
Cầu chì rò điện được kích hoạt (Bộ dò rò đang bật)	Ngắn mạch	Thay thế hoặc đại tu máy bơm.
Đèn LED nguồn không sáng	Không có nguồn điện cung cấp cho máy bơm	Kiểm tra nguồn điện.
	Đầu nối chưa được kết nối	Kết nối đầu nối nguồn.
	ELB chưa bật	Đặt ELB sang trạng thái BẬT.
Không có gì hiển thị trên LCD	ELB chưa bật	Đặt ELB sang trạng thái BẬT.
	Đầu nối LCD bị ngắt	Kết nối đầu nối LCD
	Lỗi thiết bị	Thay thế thiết bị.
MP không khởi động khi nhấn nút START	Chế độ “Từ xa” đã được chọn	Đặt công tắc sang chế độ “Cục bộ”.
	Điều kiện khởi động không được đáp ứng (Hiển thị “Startfail”)	Đáp ứng tất cả các điều kiện khởi động.
	Lỗi thiết bị	Thay thế thiết bị.
MP không khởi động khi nhập tín hiệu “MP khởi động” bên ngoài	Chế độ “Cục bộ” đã được chọn	Đặt công tắc sang “Từ xa”.
	Điều kiện khởi động không được đáp ứng (Hiển thị “Startfail”)	Đáp ứng tất cả các điều kiện khởi động.
	Lỗi thiết bị	Thay thế thiết bị.
BP không khởi động	Tín hiệu khởi động BP không được nhập ở chế độ TỪ XA	Nhập tín hiệu khởi động.
BP không khởi động	Lỗi thiết bị	Thay thế thiết bị.
Tiếng ồn bất thường	Chân điều chỉnh chưa được sử dụng	Sử dụng chân điều chỉnh.
Rung động quá mức	Một số vật thể tiếp xúc với vỏ ngoài	Loại bỏ vật thể.
	Các vít cố định của vỏ ngoài bị lỏng	Siết chặt các vít cố định.
	Các bộ phận của máy bơm bị hư hỏng	Thay thế hoặc đại tu máy bơm.
Áp suất chân không tăng	Tích tụ sản phẩm phụ trong đường ống	Làm sạch đường ống.
	Cài đặt áp suất nitơ cao	Đặt áp suất về giá trị đúng.
	Rò rỉ từ đường ống chân không	Kiểm tra đường ống.
	Tích tụ sản phẩm phụ trong máy bơm	Thay thế hoặc đại tu máy bơm.
Hiển thị LỖI BỘ NHỚ trên LCD sau khi kích hoạt ELB hoặc thay đổi cài đặt công tắc DIP	Không có	Cần “Biện pháp chống nhiễu điện” cho máy bơm.

BÁO ĐỘNG
Hiển thị	Triệu chứng	Mục kiểm tra	Hành động khắc phục
BÁO ĐỘNG: LƯU LƯỢNG NƯỚC THẤP	Lưu lượng nước giảm	Khớp nối bị ngắt	Kết nối khớp nối.
		Áp suất không đủ	Áp dụng áp suất đủ.
		Van gốc đóng	Mở van.
		Ống nước bị tắc	Làm sạch hoặc thay thế đường ống.
		Phụ kiện ống bị lỏng	Siết lại.
		Lỗi thiết bị	Thay thế thiết bị.
		Ống đầu ra và đầu vào bị đảo ngược (lưu lượng 0 lít/phút)	Kết nối ống đúng cách.
BÁO ĐỘNG: NHIỆT ĐỘ VỎ CỰC CAO	Nhiệt độ vỏ máy bơm tăng	Thông gió không đủ	Thông gió đầy đủ
		Áp suất phía sau máy bơm tăng	Kiểm tra đường ống xả và bộ giảm thanh.
		Tăng tải khí	Giảm lượng khí vào.
		Lưu lượng nước làm mát giảm	Làm mát máy bơm kỹ lưỡng và đặt lại.
		Tích tụ sản phẩm phụ	Thay thế hoặc đại tu máy bơm.
BÁO ĐỘNG: NHIỆT ĐỘ ĐỘNG CƠ BP CỰC CAO	Nhiệt độ cuộn dây động cơ bơm tăng áp (BP) tăng	Lưu lượng nước làm mát giảm	Làm mát máy bơm kỹ lưỡng và đặt lại.
BÁO ĐỘNG: NHIỆT ĐỘ ĐỘNG CƠ MP CỰC CAO	Nhiệt độ cuộn dây động cơ bơm chính (MP) tăng	Lỗi động cơ	Thay thế hoặc đại tu máy bơm.
BÁO ĐỘNG: QUÁ TẢI ĐỘNG CƠ BP	Dòng điện động cơ BP tăng (rơ-le nhiệt ngắt)	Áp suất phía sau máy bơm tăng	Kiểm tra đường ống xả và bộ giảm thanh.
BÁO ĐỘNG: QUÁ TẢI ĐỘNG CƠ BP	Dòng điện động cơ BP tăng (rơ-le nhiệt ngắt)	Tăng tải khí	Giảm lượng khí vào.
BÁO ĐỘNG: QUÁ TẢI ĐỘNG CƠ MP	Dòng điện động cơ MP tăng (rơ-le nhiệt ngắt)	Rôto tiếp xúc (Tích tụ sản phẩm phụ) (Chất bị tắc)	Thay thế hoặc đại tu máy bơm.
		Pha hở	Mất pha trong nguồn điện
		Lỗi thiết bị	Thay thế thiết bị.
BÁO ĐỘNG: ĐỘNG CƠ BP MẤT BƯỚC	Động cơ bơm tăng áp (BP) mất bước	Áp suất phía sau máy bơm tăng	Kiểm tra đường ống xả.
BÁO ĐỘNG: ĐỘNG CƠ BP MẤT BƯỚC	Động cơ bơm tăng áp (BP) mất bước	Tăng tải khí	Giảm lượng khí vào.
BÁO ĐỘNG: ĐỘNG CƠ MP MẤT BƯỚC	Động cơ bơm chính (MP) mất bước	Rôto tiếp xúc (Tích tụ sản phẩm phụ) (Chất bị tắc)	Thay thế hoặc đại tu máy bơm.
BÁO ĐỘNG: ĐỘNG CƠ MP MẤT BƯỚC	Không thể khởi động lại	Lỗi thiết bị	Thay thế thiết bị.

CẢNH BÁO
Hiển thị	Triệu chứng	Mục kiểm tra	Hành động khắc phục
CẢNH BÁO: LƯU LƯỢNG NƯỚC THẤP ##.#	Lưu lượng nước giảm	Khớp nối bị ngắt	Kết nối khớp nối.
		Áp suất không đủ	Áp dụng áp suất đủ.
		Van gốc đóng	Mở van.
		Ống nước bị tắc	Làm sạch hoặc thay thế đường ống.
		Phụ kiện ống bị lỏng	Siết lại.
		Lỗi thiết bị	Thay thế thiết bị.
		Ống đầu ra và đầu vào bị đảo ngược (lưu lượng 0 lít/phút)	Kết nối ống đúng cách.
CẢNH BÁO: LƯU LƯỢNG NITƠ MÁY BƠM THẤP	Lưu lượng nitơ máy bơm giảm	Cổng nitơ chưa được kết nối	Kết nối phụ kiện ống nitơ.
		Áp suất sơ cấp không đủ	Áp dụng áp suất đủ.
		Giá trị cài đặt bộ điều chỉnh thấp	Tăng cài đặt áp suất.
		Ống nitơ bị tắc	Thay thế ống nitơ.
		Rò rỉ trên ống nitơ	Kiểm tra các phụ kiện.
		Lỗi thiết bị	Thay thế thiết bị.
CẢNH BÁO: NHIỆT ĐỘ VỎ CAO	Nhiệt độ vỏ tăng	Thông gió ống dẫn không đủ	Thông gió đầy đủ.
		Áp suất phía sau máy bơm tăng	Kiểm tra đường ống xả
		Tăng tải khí	Giảm lượng khí vào.
		Tích tụ sản phẩm phụ	Thay thế hoặc đại tu máy bơm.
		Lưu lượng nước làm mát giảm	Tăng lưu lượng nước làm mát.
CẢNH BÁO: NHIỆT ĐỘ ĐỘNG CƠ BP CAO	Nhiệt độ cuộn dây động cơ bơm tăng áp (BP) tăng	Lưu lượng nước làm mát giảm	Làm mát máy bơm kỹ lưỡng và đặt lại.
CẢNH BÁO: NHIỆT ĐỘ ĐỘNG CƠ MP CAO	Nhiệt độ cuộn dây động cơ bơm chính (MP) tăng	Lưu lượng nước làm mát giảm	Làm mát máy bơm kỹ lưỡng và đặt lại.
CẢNH BÁO: NHIỆT ĐỘ BỘ ĐIỀU KHIỂN BP CAO #####	Nhiệt độ bộ điều khiển bơm tăng áp (BP) tăng	Thông gió ống dẫn không đủ	Thông gió đầy đủ.
CẢNH BÁO: NHIỆT ĐỘ BỘ ĐIỀU KHIỂN MP CAO #####	Nhiệt độ bộ điều khiển bơm chính (MP) tăng	Lưu lượng nước làm mát giảm	Tăng lưu lượng nước làm mát.
CẢNH BÁO: LỖI GIAO TIẾP	Kết nối giao tiếp không được thiết lập	Lỗi kết nối của các đơn vị thiết bị	Kiểm tra kết nối của các đơn vị thiết bị
CẢNH BÁO: LỖI GIAO TIẾP	Kết nối giao tiếp không được thiết lập	Lỗi thiết bị	Thay thế thiết bị.
BÁO ĐỘNG: NHIỆT ĐỘ HỘP MÁY BƠM CAO	Nhiệt độ trong nắp máy bơm tăng	Thông gió ống dẫn không đủ	Thông gió đầy đủ.
BÁO ĐỘNG: NHIỆT ĐỘ HỘP MÁY BƠM CAO	Nhiệt độ trong nắp máy bơm tăng	Lưu lượng nước làm mát giảm	Tăng lưu lượng nước làm mát.
CẢNH BÁO: MỨC DẦU THẤP	Mức dầu thấp	Kiểm tra mức dầu. (Xem Hình 8.1)	Thêm dầu bôi trơn.
CẢNH BÁO: LỖI VAN NITƠ MÁY BƠM	Van nitơ mở	Cài đặt ở chế độ nitơ 0	Đóng van nitơ. (ở phía máy bơm)