EDWARDS iXH系列
| Warning Message on PDT | Action Message on PDT | Possible Cause | Action |
|---|---|---|---|
| Warning 1.01 Power interrupt | Check pwr supply 檢查電源 Kiểm tra nguồn đ iện | There has been a brownout of the electrical supply to the pump lasting more than 1 second. 持續 1 秒以上的泵電源供電已經停止。 Đ ã c ó một nguồn cung cấp đ iện cho m á y bơm k é o d à i hơn 1 gi â y. | Check the electrical supply 檢查電源 Kiểm tra nguồn đ iện |
| Warning 31.13 Gas missing | See manual 參見手冊 Xem thủ c ô ng | The gas module is not communicating with the pump controller. 氣體模塊不與泵控制器通信。 M ô – đ un kh í kh ô ng giao ti ế p với bộ đ i ề u khiển m á y bơm. | Contact Edwards. 聯繫愛德華茲。 Li ê n hệ với Edwards. |
| Warning 31.01 SYS CONFIG FAULT | See manual 參見手冊 Xem thủ công | The wrong type of gas module has been fitted. 安裝了錯誤類型的氣體模塊。 Loại m ô – đ un kh í sai đ ã đ ược lắp đ ặt. | Contact Edwards. 聯繫愛德華茲。 Liên hệ với Edwards. |
| Warning 35.10 N2 Purge Low | Check N2 supply 檢查 N2 供應 Kiểm tra nguồn cung cấp N2 | The Nitrogen supply flow rate is too low 氮氣供應流量太低 Tốc độ dòng cung cấp Nitơ quá thấp the supply might not be connected or switched on 電源可能未連接或打開 nguồn cung cấp có thể không được k ế t nối hoặc bật the supply line or filter may be blocked 供應管線或過濾器可能被堵塞 đường cung cấp hoặc bộ lọc có thể bị chặn | Check the Nitrogen supply is connected and switched on and that pipelines and filters are not blocked. 檢查氮氣供應是否連接並打開，管路和過濾器是否堵塞。 Kiểm tra nguồn cung cấp Nitơ được k ế t nối và bật và các đường ống và bộ lọc không bị chặn. |
| Warning 35.11 N2 Purge High | Check Gas Module 檢查氣體模塊 Kiểm tra mô-đun khí | The Nitrogen supply flow rate is too high 氮氣供應流量過高 Tốc độ dòng cung cấp Nit ơ quá cao the gas module and PDT settings do not match (for iXH Single Mode or Single Mode+) 氣體模塊和 PDT 設置不匹配（對於 iXH 單模或單模 + ） cài đặt mô-đun khí và PDT không khớp (đối với ch ế độ đ ơ n iXH hoặc Ch ế độ đ ơ n +) the gas module may be faulty 氣體模塊可能有故障 mô-đun khí có thể bị lỗi | Check the gas module and PDT settings, refer to Section 5.6. 檢查氣體模塊和 PDT 設置，參見第 5.6 節。 Kiểm tra cài đặt mô-đun khí và PDT, tham khảo Mục 5.6. Contact Edwards. 聯繫愛德華茲。 Liên hệ với Edwards. |
| Warning 35.13 Sensor missing | – | The transducer is disconnected or has failed. 傳感器斷開連接或發生故障。 Bộ chuyển đ ổi bị ngắt k ế t nối hoặc kh ô ng th à nh c ô ng. | Contact Edwards. 聯繫愛德華茲。 Liên hệ với Edwards. |
| Warning 39.11 Exh Press High | Exhaust Blocked Service Pump 排氣阻塞的服務泵 Exhaust BlockedService Pump | The pressure in the exhaust pipeline is too high. 排氣管道中的壓力太高。 Á p lực trong đ ư ờng ống xả qu á cao. A valve in the pipeline may be shut. 管道中的閥門可能會關閉。 Một van trong đ ư ờng ống có thể bị đóng. There may be process debris or condensation in the exhaust pipeline. 排氣管道中可能存在過程碎屑或凝結物。 Có thể có các mảnh vụn hoặc quá trình ng ư ng tụ trong ống xả. You may have too many pumping systems connected to the exhaust pipeline. 您可能有太多抽氣系統連接到排氣管道。 Bạn có thể có quá nhi ề u hệ thống b ơ m k ế t nối với đ ư ờng ống xả. | Refer to Section 4.5 to determine the exhaust pressure that triggered the warning. 請參閱第 4.5 節，確定觸發警告的排氣壓力。 Tham khảo Mục 4.5 đ ể x á c đ ịnh á p suất kh í thải đ ã k í ch hoạt cảnh b á o. Check that all valves in the exhaust line are open and consider whether process debris or condensation are likely. 檢查排氣管路中的所有閥門是否打開，並考慮是否有過程碎屑或冷凝物。 Kiểm tra xem tất cả các van trong đường ống xả có đang mở hay không và xem xét liệu các mảnh vụn hoặc quá trình ngưng tụ có thể xảy ra hay không. |
| Warning 39.13 Sensor missing | – | The exhaust pressure transducer is not fitted, or is disconnected or has failed. 排氣壓力傳感器未安裝，或已斷開連接或發生故障。 Bộ chuyển đ ổi á p suất kh í thải kh ô ng đ ược lắp hoặc bị ngắt k ế t nối hoặc bị hỏng. | Contact Edwards. 聯繫愛德華茲。 Liên hệ với Edwards. |
| Warning 51.13 Sup Missing | See manual 參見手冊 Xem thủ công | There is a communication problem within the pump controller. Refer to Section A2.4.1 for more information. 泵控制器內部存在通信問題。 有關更多信息，請參閱第 A2.4.1 節。 C ó một vấn đ ề giao ti ế p trong bộ đ i ề u khiển m á y bơm. Tham khảo Mục A2.4.1 đ ể bi ế t th ê m th ô ng tin. | Cycle the power to the pump. If the warning persists, contact Edwards to replace the pump controller. 循環泵的電源。 如果警告仍然存在，請聯繫 Edwards 以更換泵控制器。 Chu kỳ c ô ng suất cho m á y bơm. N ế u cảnh b á o vẫn c ò n, h ã y li ê n hệ với Edwards đ ể thay th ế bộ đ i ề u khiển m á y bơm. |
| Warning 54.11 MB Temp High | See manual 參見手冊 Xem thủ công | The temperature of the booster pump is too high. 增壓泵的溫度過高。 Nhiệt đ ộ của bơm t ă ng á p qu á cao. | Check that cooling water is connected, switched on and is to specification given in Section 2.6. 檢查冷卻水是否已連接，打開並符合第 2.6 節中的規定。 Kiểm tra xem nước l à m m á t c ó đ ược k ế t nối hay kh ô ng, đ ược bật v à đ ược chỉ đ ịnh trong Phần 2.6. |
| Warning 54.13 Sensor missing | – | The booster temperature sensor may have become disconnected or failed. 升壓器溫度傳感器可能已經斷開或失效。 Cảm bi ế n nhiệt đ ộ t ă ng cường c ó thể đ ã bị ngắt k ế t nối hoặc kh ô ng th à nh c ô ng. | Check that the sensor is fitted and is correctly connected. 檢查傳感器是否安裝並正確連接。 Kiểm tra xem cảm bi ế n đ ã đ ược lắp v à đ ược k ế t nối đ ú ng c á ch chưa. |
| Warning 55.13 Sensor missing | – | The dry pump temperature sensor may have become disconnected or failed. 乾泵溫度傳感器可能已經斷開或失效。 Cảm bi ế n nhiệt đ ộ m á y bơm kh ô c ó thể đ ã bị ngắt k ế t nối hoặc kh ô ng th à nh c ô ng. | Check that the sensor is fitted and is correctly connected. 檢查傳感器是否安裝並正確連接。 Kiểm tra xem cảm bi ế n đ ã đ ược lắp v à đ ược k ế t nối đ ú ng c á ch chưa. |
| Warning 57.11 DP E/C Temp High | See manual 參見手冊 Xem thủ công | The temperature of the dry pump end cover is too high. 乾泵端蓋的溫度過高。 Nhiệt đ ộ của nắp đ ầu bơm kh ô qu á cao. | Check that cooling water is connected, switched on and is to specification given in Section 2.6. 檢查冷卻水是否已連接，打開並符合第 2.6 節中的規定。 Kiểm tra xem nước l à m m á t c ó đ ược k ế t nối hay kh ô ng, đ ược bật v à đ ược chỉ đ ịnh trong Phần 2.6. |
| Warning 57.13 Sensor missing | – | The dry pump end cover temperature sensor may have become disconnected or failed. 乾泵端蓋溫度傳感器可能已斷開連接或發生故障。 Cảm bi ế n nhiệt đ ộ bao gồm đ ầu bơm kh ô c ó thể đ ã bị ngắt k ế t nối hoặc kh ô ng th à nh c ô ng. | Check that the sensor is fitted and is correctly connected. 檢查傳感器是否安裝並正確連接。 Kiểm tra xem cảm bi ế n đ ã đ ược lắp v à đ ược k ế t nối đ ú ng c á ch chưa. |
| Warning 62.11 MB E/C Temp High | See manual 參見手冊 Xem thủ công | The temperature of the booster end cover is too high. 增壓器端蓋的溫度過高。 Nhiệt đ ộ của nắp đ ầu cuối t ă ng c ư ờng qu á cao. | Check that cooling water is connected, switched on and is to specification given in Section 2.6. 檢查冷卻水是否已連接，打開並符合第 2.6 節中的規定。 Kiểm tra xem nước l à m m á t c ó đ ược k ế t nối hay kh ô ng, đ ược bật v à đ ược chỉ đ ịnh trong Phần 2.6. |
| Warning 62.13 Sensor missing | – | The booster end cover temperature sensor may have become disconnected or failed. 增壓器端蓋溫度傳感器可能已經斷開或失效。 Bộ cảm bi ế n nhiệt đ ộ bao gồm đ ầu cuối t ă ng cường c ó thể đ ã bị ngắt k ế t nối hoặc kh ô ng th à nh c ô ng. | Check that the sensor is fitted and is correctly connected. 檢查傳感器是否安裝並正確連接。 Kiểm tra xem cảm bi ế n đ ã đ ược lắp v à đ ược k ế t nối đ ú ng c á ch chưa. |
| Warning 63.11 DP Temp High | See manual 參見手冊 Xem thủ công | The internal temperature of the pump is too high. 泵的內部溫度過高。 Nhiệt đ ộ b ê n trong của m á y bơm qu á cao. | Check that cooling water is connected, switched on and is to specification given in Section 2.6. 檢查冷卻水是否已連接，打開並符合第 2.6 節中的規定。 Kiểm tra xem nước l à m m á t c ó đ ược k ế t nối hay kh ô ng, đ ược bật v à đ ược chỉ đ ịnh trong Phần 2.6. |
| Warning 63.13 Sensor missing | – | The dry pump temperature sensor may have become disconnected or failed. 乾泵溫度傳感器可能已經斷開或失效。 Cảm bi ế n nhiệt đ ộ m á y bơm kh ô c ó thể đ ã bị ngắt k ế t nối hoặc kh ô ng th à nh c ô ng. | Contact Edwards. 聯繫愛德華茲。 Liên hệ với Edwards. |
| Warning 70.11 DP Temp 2 High | See manual 參見手冊 Xem thủ công | The temperature of the pump is too high. 泵的溫度太高。 Nhiệt đ ộ của m á y bơm qu á cao. | Check that cooling water is connected, switched on and is to specification given in Section 2.6. 檢查冷卻水是否已連接，打開並符合第 2.6 節中的規定。 Kiểm tra xem nước l à m m á t c ó đ ược k ế t nối hay kh ô ng, đ ược bật v à đ ược chỉ đ ịnh trong Phần 2.6. |
| Warning 70.13 Sensor missing | – | The dry pump temperature sensor may have become disconnected or failed. 乾泵溫度傳感器可能已經斷開或失效。 Cảm bi ế n nhiệt đ ộ m á y bơm kh ô c ó thể đ ã bị ngắt k ế t nối hoặc kh ô ng th à nh c ô ng. | Check that the sensor is fitted and is correctly connected. 檢查傳感器是否安裝並正確連接。 Kiểm tra xem cảm bi ế n đ ã đ ược lắp v à đ ược k ế t nối đ ú ng c á ch chưa. |
| Warning 71.13 AC Sup Missing | See manual 參見手冊 Xem thủ công | The pump controller cannot communicate with the accessory module 泵控制器無法與附件模塊通信 Bộ đ i ề u khiển m á y bơm kh ô ng thể giao ti ế p với m ô – đ un phụ kiện | Check that the accessory module is correctly connected to the pump and then cycle the power to the pump. If this warning persists, contact Edwards. 檢查附件模塊是否正確連接到泵，然後將電源切換到泵。 如果此警告持續存在，請聯繫 Edwards 。 Kiểm tra xem m ô – đ un phụ kiện c ó đ ược k ế t nối ch í nh x á c với m á y bơm kh ô ng v à sau đ ó xoay v ò ng nguồn cho m á y bơm. N ế u cảnh b á o n à y vẫn ti ế p diễn, h ã y li ê n hệ với Edwards. |
| Warning 84.11 Exh Temp High | See manual 參見手冊 Xem thủ công | The exhaust pipe temperature is too high 排氣管溫度過高 Nhiệt đ ộ ống xả qu á cao | Contact Edwards 聯繫愛德華茲。 Liên hệ với Edwards. |
| Warning 84.13 Sensor missing | – | The exhaust pipe temperature sensor may have become disconnected or failed. 排氣管溫度傳感器可能已經斷開或失效。 Cảm bi ế n nhiệt đ ộ ống xả c ó thể đ ã bị ngắt k ế t nối hoặc kh ô ng th à nh c ô ng. | Contact Edwards 聯繫愛德華茲。 Liên hệ với Edwards. |
| Warning 152.01 Valve Not Shut | Check Gate Valve 檢查閘閥 Kiểm tra Van cổng | The foreline gate valve has failed to close 前級閘門閥未關閉 Van cổng ph í a trước đ ã kh ô ng đ ó ng đ ược | Check the wiring and air supply to the Gate valve. Note: This warning will only clear when the valve has successfully been opened and closed. 檢查閘閥的接線和空氣供應。 注意：只有當閥門成功打開和關閉時，此警告才會清除。 Kiểm tra hệ thống d â y đ iện v à cung cấp kh í cho van Cổng. Lưu ý : Cảnh b á o n à y sẽ chỉ r õ r à ng khi van đ ã đ ược mở v à đ ó ng th à nh c ô ng. |
| Warning 153.01 Valve Not Open | Check Gate Valve 檢查閘閥 Kiểm tra Van cổng | The foreline gate valve has failed to open 前級閘門閥未打開 Van cổng ph í a trước đ ã kh ô ng mở đ ược | Check the wiring and air supply to the Gate valve. Note: This warning will only clear when the valve has successfully been closed and opened. 檢查閘閥的接線和空氣供應。 注意：只有在閥門關閉並打開後才能清除此警告。 Kiểm tra hệ thống d â y đ iện v à cung cấp kh í cho van Cổng. Lưu ý : Cảnh b á o n à y sẽ chỉ r õ r à ng khi van đ ã đ ược đ ó ng v à mở th à nh c ô ng. |
| Warning 176.01 MB INV xxxx yyyy | xxxx yyyy aaaaaaaaaaaaaaaa | Booster Inverter has raised a warning code. Booster Inverter 已經提出警告代碼。 Booster Inverter đ ã đ ưa ra một m ã cảnh b á o. | Refer to A2.3 for more information. 有關更多信息，請參閱 A2.3 。 Tham khảo A2.3 đ ể bi ế t th ê m th ô ng tin. |
| Warning 176.13 No MB Inv Comms | See manual 參見手冊 Xem thủ công | The pump controller cannot communicate with the booster inverter. 泵控制器無法與升壓變頻器通信。 Bộ đ i ề u khiển m á y bơm kh ô ng thể k ế t nối với bộ t ă ng á p. | Check the wiring between the pump controller and the booster inverter. 檢查泵控制器和升壓逆變器之間的接線。 Kiểm tra d â y nối giữa bộ đ i ề u khiển m á y bơm v à bộ t ă ng á p. |
| Warning 186.01 DP INV xxxx yyyy | xxxx yyyy aaaaaaaaaaaaaaaa | Dry pump Inverter has raised a warning code. 乾泵變頻器發出警告代碼。 M á y bơm kh ô Inverter đ ã đ ưa ra một m ã cảnh b á o. | Refer to A2.3 for more information. 有關更多信息，請參閱 A2.3 。 Tham khảo A2.3 đ ể bi ế t th ê m th ô ng tin. |
| Warning 186.13 No DP Inv Comms | See manual 參見手冊 Xem thủ công | The pump controller cannot communicate with the dry pump inverter. 泵控制器不能與乾泵變頻器通信。 Bộ đ i ề u khiển m á y bơm kh ô ng thể giao ti ế p với bi ế n tần m á y bơm kh ô . | Check the wiring between the pump controller and the dry pump inverter. 檢查泵控制器和乾泵變頻器之間的接線。 Kiểm tra hệ thống d â y đ iện giữa bộ đ i ề u khiển m á y bơm v à bi ế n tần m á y bơm kh ô . |
| Warning 196.01 DP Inv xxxx yyyy | Diag aaaa bbbb /zzzzzzzzzzzzzzz | DP 2nd Inverter has raised warning code. DP 2nd 變頻器發出警告代碼。 DP 2nd Inverter đ ã t ă ng m ã cảnh b á o. | Refer to A2.3 for more information. 有關更多信息，請參閱 A2.3 。 Tham khảo A2.3 đ ể bi ế t th ê m th ô ng tin. |
| Warning 196.01 DP Not Running | See manual 參見手冊 Xem thủ công | DP 2nd Inverter will not start up when requested. DP 2nd 逆變器在請求時不會啟動。 Bi ế n tần DP 2 sẽ kh ô ng khởi đ ộng khi đ ược y ê u cầu. | Check Inverter Fault History. 檢查逆變器故障歷史記錄。 Kiểm tra lịch sử lỗi bi ế n tần. |
| Warning 196.13 No DP Inv Comms | See manual 參見手冊 Xem thủ công | The pump controller cannot communicate with the dry pump 2nd inverter. 泵控制器不能與乾泵第二台變頻器通信。 Bộ đ i ề u khiển m á y bơm kh ô ng thể giao ti ế p với m á y bi ế n tần thứ 2 của m á y bơm kh ô . | Check the wiring between the pump controller and the dry pump inverter. 檢查泵控制器和乾泵變頻器之間的接線。 Kiểm tra hệ thống d â y đ iện giữa bộ đ i ề u khiển m á y bơm v à bi ế n tần m á y bơm kh ô . |
| Warning 314.11 Speed Too Low | Stop Pump/Contact Service 停止泵 / 聯繫服務 Dừng bơm / Dịch vụ li ê n lạc | The pump rotational speed is at least 30% less than demand for more than 2 minutes. 泵的轉速至少比需求時間少 2 分鐘以上 30 ％。 Tốc đ ộ quay của m á y bơm í t hơn 30% so với nhu cầu trong hơn 2 ph ú t. | Stop the pump and perform mechanical check of rotation and beearings. 停止泵並執行旋轉和軸承的機械檢查。 Ngừng bơm v à thực hiện kiểm tra cơ học của v ò ng quay v à v ò ng bi. |
| Alarm 1.01 Stop Activated | The emergency stop has been activated. There is a fault with the EMS circuit or the EMS link plug has not been fitted or has come disconnected. 緊急停止已被激活。 EMS 電路出現故障或 EMS 連接插頭未安裝或斷開。 Dừng khẩn cấp đ ã đ ược k í ch hoạt. Đ ã xảy ra lỗi với mạch EMS hoặc ph í ch cắm li ê n k ế t EMS chưa đ ược lắp hoặc đ ã bị ngắt k ế t nối. | If the EMS button has been used on the pump, refer to Section 4.6 to re-set it. Otherwise check and reset the EMS circuit and re-start the pump. Note: The alarm message will remain on the display until you restart the pumping system. 如果在泵上使用了 EMS 按鈕，請參閱第 4.6 節重新設置。 否則檢查並重置 EMS 電路並重新啟動泵。 注意：警報信息將保留在顯示屏上，直到您重新啟動泵送系統。 N ế u n ú t EMS đ ã đ ược sử dụng tr ê n m á y bơm, h ã y tham khảo Mục 4.6 đ ể thi ế t lập lại n ó . N ế u kh ô ng, h ã y kiểm tra v à thi ế t lập lại mạch EMS v à khởi đ ộng lại m á y bơm. Lưu ý : Th ô ng b á o cảnh b á o sẽ vẫn hiển thị tr ê n m à n h ì nh cho đ ế n khi bạn khởi đ ộng lại hệ thống bơm. | |
| Alarm 1.01 Sys Config Fault | The pump system type has not been set properly. 泵系統類型未正確設置。 Loại hệ thống bơm chưa đ ược đ ặt đ ú ng c á ch. | Contact Edwards for a service engineer to configure the pump system type correctly or replace the pump controller electronics. 聯繫 Edwards ，由服務工程師正確配置泵系統類型或更換泵控制器電子部件。 Li ê n hệ với Edwards đ ể một kỹ sư dịch vụ đ ịnh cấu h ì nh đ ú ng loại hệ thống m á y bơm hoặc thay th ế c á c thi ế t bị đ iện tử của bộ đ i ề u khiển m á y bơm. | |
| Alarm 39.12 Exh Press High | Exhaust Blocked Service Pump 排氣阻塞的服務泵 | The Exhaust pressure has reached maximum allowed. 排氣壓力已達到允許的最大值。 Á p suất xả đ ã đ ạt mức tối đ a cho ph é p. | Refer to Section 4.5 to determine the exhaust pressure that triggered the alarm. See Warning 39.11 for causes and actions. 參考 4.5 節確定觸發報警的排氣壓力。 有關原因和操作，請參閱警告 39.11 。 Tham khảo Mục 4.5 đ ể x á c đ ịnh á p suất kh í thải đ ã k í ch hoạt b á o đ ộng. Xem Cảnh b á o 39.11 đ ể bi ế t nguy ê n nh â n v à h à nh đ ộng. |
| Alarm 54.12 MB Temp High | See manual 參見手冊 Xem thủ công | The booster temperature has reached the maximum allowed so the booster has stopped. 增壓器溫度已達到允許的最大值，因此增壓器已停止。 Nhiệt đ ộ t ă ng cường đ ã đ ạt đ ế n mức tối đ a cho ph é p đ ể t ă ng cường đ ã dừng lại. | Refer to Section 4.5 to determine the temperature that triggered the alarm. See Warning 54.11 for causes and actions. 請參閱第 4.5 節以確定觸發警報的溫度。 有關原因和操作，請參閱警告 54.11 。 Tham khảo Mục 4.5 đ ể x á c đ ịnh nhiệt đ ộ đ ã k í ch hoạt b á o thức. Xem Cảnh b á o 54.11 đ ể bi ế t nguy ê n nh â n v à h à nh đ ộng. |
| Alarm 57.12 DP E/C Temp High | See manual 參見手冊 Xem thủ công | The dry pump end cover temperature has reached the maximum allowed so the system has stopped. 乾泵端蓋溫度已達到允許的最大值，系統已停止。 Nhiệt đ ộ bao gồm đ ầu bơm kh ô đ ã đ ạt mức tối đ a cho ph é p đ ể hệ thống đ ã dừng lại. | See Warning 57.11 for causes and actions. 有關原因和操作，請參閱警告 57.11 。 Xem Cảnh b á o 57.11 đ ể bi ế t nguy ê n nh â n v à h à nh đ ộng. |
| Alarm 62.12 MB E/C Temp High | See manual 參見手冊 Xem thủ công | The booster end cover temperature has reached the maximum allowed so the booster has stopped. 增壓器端蓋溫度已達到允許的最大值，因此增壓器已停止。 Nhiệt đ ộ đ ầu cuối của bộ t ă ng cường đ ã đ ạt đ ế n mức tối đ a cho ph é p đ ể bộ t ă ng cường đ ã dừng lại. | Refer to Section 4.5 to determine the temperature that triggered the alarm. See Warning 62.11 for causes and actions. 請參閱第 4.5 節以確定觸發警報的溫度。 有關原因和操作，請參閱警告 62.11 。 Tham khảo Mục 4.5 đ ể x á c đ ịnh nhiệt đ ộ đ ã k í ch hoạt b á o thức. Xem Cảnh b á o 62.11 đ ể bi ế t nguy ê n nh â n v à h à nh đ ộng. |
| Alarm 63.12 DP Temp High | See manual 參見手冊 Xem thủ công | The dry pump internal temperature has reached the maximum allowed so the system has stopped. 乾泵內部溫度已達到允許的最大值，系統已停止。 Nhiệt đ ộ b ê n trong m á y bơm kh ô đ ã đ ạt mức tối đ a cho ph é p đ ể hệ thống đ ã dừng lại. | See Warning 63.11 for causes and actions. 有關原因和操作，請參閱警告 63.11 。 Xem Cảnh b á o 63.11 đ ể bi ế t nguy ê n nh â n v à h à nh đ ộng. |
| Alarm 70.12 DP Temp 2 High | See manual 參見手冊 Xem thủ công | The dry pump temperature has reached the maximum allowed so the system has stopped. 乾泵溫度已達到允許的最大值，因此系統已停止。 Nhiệt đ ộ bơm kh ô đ ã đ ạt mức tối đ a cho ph é p đ ể hệ thống đ ã dừng lại. | Refer to Section 4.5 to determine the temperature that triggered the alarm. See Warning 70.11 for causes and actions. 請參閱第 4.5 節以確定觸發警報的溫度。 有關原因和操作，請參閱警告 70.11 。 Tham khảo Mục 4.5 đ ể x á c đ ịnh nhiệt đ ộ đ ã k í ch hoạt b á o thức. Xem Cảnh b á o 70.11 đ ể bi ế t nguy ê n nh â n v à h à nh đ ộng. |
| Alarm 84.12 Exh Temp High | See manual 參見手冊 Xem thủ công | The exhaust pipe temperature has reached the maximum allowed so the system has stopped. 排氣管溫度已達到允許的最大值，系統已停止。 Nhiệt đ ộ ống xả đ ã đ ạt mức tối đ a cho ph é p đ ể hệ thống dừng lại. | See Warning 84.11 for causes and actions. 有關原因和操作，請參閱警告 84.11 。 Xem Cảnh b á o 84.11 đ ể bi ế t nguy ê n nh â n v à h à nh đ ộng. |
| Alarm 174.10 Booster Stopped | See manual 參見手冊 Xem thủ công | Booster speed too low – rotor is probably locked. 增壓器速度太低 – 轉子可能鎖定。 Tốc đ ộ t ă ng qu á thấp – rotor c ó thể bị kh ó a. | Contact Edwards |
| Alarm 176.01MB INV xxxx yyyy | xxxx yyyy aaaaaaaaaaaaaaaa | Booster Inverter has raised an alarm and stopped the system. 增壓逆變器發出警報並停止系統。 Booster Inverter đ ã b á o đ ộng v à dừng hệ thống. | Refer to A2.3 for more information. 有關更多信息，請參閱 A2.3 。 Tham khảo A2.3 đ ể bi ế t th ê m th ô ng tin. |
| Alarm 176.01 MB Not Running | See manual 參見手冊 Xem thủ công | Booster Inverter will not start up when requested. 請求時，升壓變頻器不會啟動。 Booster Inverter sẽ kh ô ng khởi đ ộng khi đ ược y ê u cầu. | Check inverter fault history. 檢查變頻器故障記錄。 Kiểm tra lịch sử lỗi bi ế n tần. |
| Alarm 176.13 No MB Inv Comms | See manual 參見手冊 Xem thủ công | The pump controller cannot communicate with the booster inverter during start-up checks. 啟動檢查期間，泵控制器無法與升壓變頻器通信。 Bộ đ i ề u khiển m á y bơm kh ô ng thể k ế t nối với bộ t ă ng á p trong khi kiểm tra khởi đ ộng. | Check the wiring between the pump controller and the booster inverter. 檢查泵控制器和升壓逆變器之間的接線。 Kiểm tra d â y nối giữa bộ đ i ề u khiển m á y bơm v à bộ t ă ng á p. |
| Alarm 184.10 Dry Pump Stopped | See manual 參見手冊 Xem thủ công | The dry pump speed is very low. The rotor might be locked. 幹泵速度非常低。 轉子可能被鎖定。 Tốc đ ộ bơm kh ô rất thấp. R ô to c ó thể bị kh ó a. | Cycle the power to the pump and attempt to re-start. If this fails, contact Edwards. 關閉泵的電源並嘗試重新啟動。 如果失敗，請聯繫 Edwards 。 Chu kỳ sức mạnh cho m á y bơm v à cố gắng khởi đ ộng lại. N ế u đ i ề u n à y kh ô ng th à nh c ô ng, h ã y li ê n hệ với Edwards. |
| Alarm 186.01 DP INV xxxx yyyy | xxxx yyyy aaaaaaaaaaaaaaaa | Dry Pump Inverter has raised an alarm and stopped the system. 乾泵逆變器發出警報並停止系統。 Dry Pump Inverter đ ã n â ng b á o đ ộng v à dừng hệ thống. | Refer to A2.3 for more information. 有關更多信息，請參閱 A2.3 。 Tham khảo A2.3 đ ể bi ế t th ê m th ô ng tin. |
| Alarm 186.01 DP Not Running | See manual 參見手冊 Xem thủ công | Dry Pump Inverter will not start up when requested. 請求時，乾泵變頻器不會啟動。 Dry Pump Inverter sẽ kh ô ng khởi đ ộng khi đ ược y ê u cầu. | Check inverter fault history. 檢查變頻器故障記錄。 Kiểm tra lịch sử lỗi bi ế n tần. |
| Alarm 186.13 No DP Inv Comms | See manual 參見手冊 Xem thủ công | The pump controller cannot communicate with the dry pump inverter during startup checks 在啟動檢查期間，泵控制器不能與乾泵變頻器通信 Bộ đ i ề u khiển m á y bơm kh ô ng thể giao ti ế p với bi ế n tần m á y bơm kh ô trong khi kiểm tra khởi đ ộng | Check the wiring between the pump controller and the dry pump inverter 檢查泵控制器和乾泵變頻器之間的接線 Kiểm tra hệ thống d â y đ iện giữa bộ đ i ề u khiển m á y bơm v à bi ế n tần m á y bơm kh ô |
| Alarm 196.01 DP Inv xxxx yyyy | Diag aaaa bbbb /zzzzzzzzzzzzzzz | DP 2nd Dry Pump Inverter has raised an alarm and stopped the system. DP 第二台乾泵變頻器發出報警並停止系統。 DP 2 Dry Pump Inverter đ ã b á o đ ộng v à dừng hệ thống. | Refer to A2.3 for more information. 有關更多信息，請參閱 A2.3 。 Tham khảo A2.3 đ ể bi ế t th ê m th ô ng tin. |
| Alarm 196.13 No DP Inv Comms | See manual 參見手冊 Xem thủ công | The pump controller cannot communicate with the dry pump 2nd inverter. 泵控制器不能與乾泵第二台變頻器通信。 Bộ đ i ề u khiển m á y bơm kh ô ng thể giao ti ế p với m á y bi ế n tần thứ 2 của m á y bơm kh ô . | Check the wiring between the pump controller and the dry pump inverter. 檢查泵控制器和乾泵變頻器之間的接線。 Kiểm tra hệ thống d â y đ iện giữa bộ đ i ề u khiển m á y bơm v à bi ế n tần m á y bơm kh ô . |
| Alarm 314.12 Speed Too Low | Do Not Restart / Contact Service 不要重新啟動 / 聯繫服務 Kh ô ng khởi đ ộng lại / Dịch vụ li ê n hệ | The pump rotational speed is at least 30% less than demand for more than 3 minutes. 泵的轉速比 3 分鐘以上至少減少 30 ％。 Tốc đ ộ quay của m á y bơm í t hơn 30% so với nhu cầu trong hơn 3 ph ú t. | Perform mechanical check of rotation and bearings before attempting to restart. 嘗試重新啟動之前，對旋轉和軸承進行機械檢查。 Thực hiện kiểm tra cơ học của v ò ng quay v à v ò ng bi trước khi cố gắng khởi đ ộng lại. |
傑笙真空科技 