傑笙真空科技

EDWARDS IXH IXL PXH

Warning Message Action Message Possible Cause Action
Alarm 1.01 Stop Activated – The emergency stop has been activated.
– There is a fault with the EMS circuit or the EMS link plug has not been fitted or has come disconnected.		 If the EMS button has been used on the pump, refer to Section 4.6 to re-set it. Otherwise check and reset the EMS circuit and re-start the pump.
Note: The alarm message will remain on the display until you restart the pumping system.
Alarm 1.01 Sys Config Fault The pump system type has not been set properly. Contact Edwards for a service engineer to configure the pump system type correctly or replace the pump controller electronics.
Alarm 39.12 Exh Press High Exhaust Blocked Service Pump The Exhaust pressure has reached maximum allowed. Refer to Section 4.5 to determine the exhaust pressure that triggered the alarm. See Warning 39.11 for causes and actions.
Alarm 54.12 MB Temp High See manual The booster temperature has reached the maximum allowed so the booster has stopped. Refer to Section 4.5 to determine the temperature that triggered the alarm. See Warning 54.11 for causes and actions.
Alarm 57.12
DP E/C Temp High		 The dry pump end cover temperature has reached the maximum allowed so the system has stopped. See Warning 57.11 for causes and actions.
Alarm 62.12
MB E/C Temp High		 The booster end cover temperature has reached the maximum allowed so the booster has stopped. Refer to Section 4.5 to determine the temperature that triggered the alarm. See Warning 62.11 for causes and actions.
Alarm 63.12
DP Temp High		 The dry pump internal temperature has reached the maximum allowed so the system has stopped. See Warning 63.11 for causes and actions.
Alarm 70.12
DP Temp 2 High		 The dry pump temperature has reached the maximum allowed so the system has stopped. Refer to Section 4.5 to determine the temperature that triggered the alarm. See Warning 70.11 for causes and actions.
Alarm 84.12
Exh Temp High		 The exhaust pipe temperature has reached the maximum allowed so the system has stopped. See Warning 84.11 for causes and actions.
Alarm 174.10
Booster Stopped		 xxxx yyyy Booster speed too low – rotor is probably locked. Contact Edwards
Alarm 176.01
MB INV xxxx yyyy		 aaaaaaaaaaaaaaaa
See manual		 Booster Inverter has raised an alarm and stopped the system. Refer to A2.3 for more information.
Alarm 176.01
MB Not Running		 See manual Booster Inverter will not start up when requested. Check inverter fault history.
Alarm 176.13
No MB Inv Comms		 The pump controller cannot communicate with the booster inverter during start-up checks. Check the wiring between the pump controller and the booster inverter.
Alarm 184.10
Dry Pump Stopped		 The dry pump speed is very low. The rotor might be locked. Cycle the power to the pump and attempt to re-start. If this fails, contact Edwards.
Alarm 186.01
DP INV xxxx yyyy		 xxxx yyyy
aaaaaaaaaaaaaaaa		 Dry Pump Inverter has raised an alarm and stopped the system. Refer to A2.3 for more information.
Alarm 186.01
DP Not Running		 See manual Dry Pump Inverter will not start up when requested. Check inverter fault history.
Alarm 186.13
No DP Inv Comms		 The pump controller cannot communicate with the dry pump inverter during startup checks. Check the wiring between the pump controller and the dry pump inverter.
Alarm 196.01
DP INV xxxx yyyy		 Diag aaaa bbbb
//zzzzzzzzzzzzzz		 DP 2nd Dry Pump Inverter has raised an alarm and stopped the system. Refer to A2.3 for more information.
Alarm 196.13
No DP Inv Comms		 See manual The pump controller cannot communicate with the dry pump 2nd inverter. Check the wiring between the pump controller and the dry pump 2nd inverter.
Alarm 314.12
Speed Too Low		 Do Not Restart /
Contact Service		 The pump rotational speed is at least 30% less than demand for more than 3 minutes. Perform mechanical check of rotation and bearings before attempting to restart.
Warning 1.01 Power interrupt Check pwr supply There has been a brownout of the electrical supply to the pump lasting more than 1 second. Check the electrical supply.
Warning 31.13 Gas missing See manual The gas module is not communicating with the pump controller. Contact Edwards.
Warning 31.01 SYS CONFIG FAULT The wrong type of gas module has been fitted. Contact Edwards.
Warning 35.10 N2 Purge Low Check N2 supply The Nitrogen supply flow rate is too low – the supply might not be connected or switched on – the supply line or filter may be blocked Check the Nitrogen supply is connected and switched on and that pipelines and filters are not blocked.
Warning 35.11 N2 Purge High Check Gas Module The Nitrogen supply flow rate is too high – the gas module and PDT settings do not match (for iXH Single Mode or Single Mode+) – the gas module may be faulty Check the gas module and PDT settings, refer to Section 5.6.
Warning 35.13 Sensor missing The transducer is disconnected or has failed. Contact Edwards.
Warning 39.11 Exh Press High Exhaust Blocked Service Pump The pressure in the exhaust pipeline is too high. – A valve in the pipeline may be shut. – There may be process debris or condensation in the exhaust pipeline. – You may have too many pumping systems connected to the exhaust pipeline. Refer to Section 4.5 to determine the exhaust pressure that triggered the warning. Check that all valves in the exhaust line are open and consider whether process debris or condensation are likely.
Warning 39.13 Sensor missing The exhaust pressure transducer is not fitted, or is disconnected or has failed. Contact Edwards.
Warning 51.13 Sup missing See manual There is a communication problem within the pump controller. Refer to Section A2.4.1 for more information. Cycle the power to the pump. If the warning persists, contact Edwards to replace the pump controller.
Warning 54.11 MB Temp High See manual The temperature of the booster pump is too high. Check that cooling water is connected, switched on and is to specification given in Section 2.6.
Warning 54.13 Sensor missing The booster temperature sensor may have become disconnected or failed. Check that the sensor is fitted and is correctly connected.
Warning 55.13 Sensor missing The dry pump temperature sensor may have become disconnected or failed. Check that the sensor is fitted and is correctly connected.
Warning 57.11 DP E/C Temp High See manual The dry pump end cover temperature is too high. Check that cooling water is connected, switched on and is to specification given in Section 2.6.
Warning 57.13 Sensor missing The dry pump end cover temperature sensor may have become disconnected or failed. Check that the sensor is fitted and is correctly connected.
Warning 62.11 MB E/C Temp High See manual The temperature of the booster end cover is too high. Check that cooling water is connected, switched on and is to specification given in Section 2.6.
Warning 62.13 Sensor missing The booster end cover temperature sensor may have become disconnected or failed. Check that the sensor is fitted and is correctly connected.
Warning 63.11 DP Temp High See manual The internal temperature of the pump is too high. Check that cooling water is connected, switched on and is to specification given in Section 2.6.
Warning 63.13 Sensor missing See manual The dry pump temperature sensor may have become disconnected or failed. Contact Edwards.
Warning 70.11 DP Temp 2 High The temperature of the dry pump is too high. Check that cooling water is connected, switched on and is to specification given in Section 2.6.
Warning 70.13 Sensor missing The dry pump temperature sensor may have become disconnected or failed. Check that the sensor is fitted and is correctly connected.
Warning 71.13 AC Sup Missing See manual The pump controller cannot communicate with the accessory module. Check that the accessory module is correctly connected to the pump and then cycle the power to the pump. If this warning persists, contact Edwards.
Warning 84.11 Exh Temp High See manual The exhaust pipe temperature is too high. Contact Edwards.
Warning 84.13 Sensor missing The exhaust pipe temperature sensor may have become disconnected or failed. Contact Edwards.
Warning 152.01 Valve Not Shut Check Gate Valve The foreline gate valve has failed to close. Check the wiring and air supply to the Gate valve. Note: This warning will only clear when the valve has successfully been opened and closed.
Warning 153.01 Valve Not Open The foreline gate valve has failed to open. Check the wiring and air supply to the Gate valve. Note: This warning will only clear when the valve has successfully been opened and closed.
Warning 176.01 MB INV xxxx yyyy xxxx yyyy aaaaaaaaaaaa Booster Inverter has raised a warning code. Refer to A2.3 for more information.
Warning 176.13 No MB Inv Comms See manual The pump controller cannot communicate with the booster inverter. Check the wiring between the pump controller and the booster inverter.
Warning 186.01 DP INV xxxx yyyy xxxx yyyy aaaaaaaaaaaa Dry pump Inverter has raised a warning code. Refer to A2.3 for more information.
Warning 186.13 No DP Inv Comms See manual The pump controller cannot communicate with the dry pump inverter. Check the wiring between the pump controller and the dry pump inverter.
Warning 196.01 DP INV xxxx yyyy Diag aaaa bbbb /zzzzzzzzzzzzz DP 2nd Inverter has raised warning code. Refer to A2.3 for more information.
Warning 196.01 DP Not Running See manual DP 2nd Inverter will not start up when requested. Check Inverter Fault History.
Warning 196.13 No DP Inv Comms See manual The pump controller cannot communicate with the dry pump 2nd inverter. Check the wiring between the pump controller and the dry pump inverter.
Warning 314.11 Speed Too Low Stop Pump/Contact Service The pump rotational speed is at least 30% less than demand for more than 2 minutes. Stop the pump and perform mechanical check of rotation and bearings.
警告訊息 處理訊息 可能原因 處理方式
警報 1.01 停止已啟動 – 緊急停止已被啟動。
– EMS 電路故障，或 EMS 連接插頭未安裝或已脫落。		 如果已使用泵上的 EMS 按鈕，請參閱 4.6 節 進行重設。否則，請檢查並重設 EMS 電路並重新啟動泵。
注意： 警報訊息將一直顯示在顯示器上，直到您重新啟動泵送系統。
警報 1.01 系統設定錯誤 泵系統類型設定不正確。 請聯繫 Edwards 的服務工程師，以正確設定泵系統類型或更換泵控制器電子設備。
警報 39.12 排氣壓力過高 排氣受阻，請維修泵 排氣壓力已達到允許的最大值。 請參閱 4.5 節 以確定觸發警報的排氣壓力。有關原因和處理方式，請參閱警告 39.11。
警報 54.12 MB 溫度過高 請參閱手冊 增壓器溫度已達到允許的最大值，因此增壓器已停止。 請參閱 4.5 節 以確定觸發警報的溫度。有關原因和處理方式，請參閱警告 54.11。
警報 57.12
乾泵 E/C 溫度過高		 乾泵端蓋溫度已達到允許的最大值，因此系統已停止。 有關原因和處理方式，請參閱警告 57.11。
警報 62.12
機械增壓泵 E/C 溫度過高		 增壓器端蓋溫度已達到允許的最大值，因此增壓器已停止。 請參閱 4.5 節 以確定觸發警報的溫度。有關原因和處理方式，請參閱警告 62.11。
警報 63.12
乾泵溫度過高		 乾泵內部溫度已達到允許的最大值，因此系統已停止。 有關原因和處理方式，請參閱警告 63.11。
警報 70.12
乾泵溫度 2 過高		 乾泵溫度已達到允許的最大值，因此系統已停止。 請參閱 4.5 節 以確定觸發警報的溫度。有關原因和處理方式，請參閱警告 70.11。
警報 84.12
排氣溫度過高		 排氣管溫度已達到允許的最大值，因此系統已停止。 有關原因和處理方式，請參閱警告 84.11。
警報 174.10
增壓器已停止		 xxxx yyyy 增壓器速度過低 – 轉子可能被鎖定。 聯繫 Edwards
警報 176.01
機械增壓泵變頻器 xxxx yyyy		 aaaaaaaaaaaaaaaa
請參閱手冊		 增壓器變頻器發出警報並已停止系統。 更多資訊請參閱 A2.3。
警報 176.01
機械增壓泵未運行		 請參閱手冊 增壓器變頻器在請求時無法啟動。 檢查變頻器故障歷史記錄。
警報 176.13
無機械增壓泵變頻器通訊		 在啟動檢查期間，泵控制器無法與增壓器變頻器通訊。 檢查泵控制器和增壓器變頻器之間的接線。
警報 184.10
乾泵已停止		 乾泵速度非常低。轉子可能被鎖定。 重啟泵的電源並嘗試重新啟動。如果失敗，請聯繫 Edwards。
警報 186.01
乾泵變頻器 xxxx yyyy		 xxxx yyyy
aaaaaaaaaaaaaaaa		 乾泵變頻器發出警報並已停止系統。 更多資訊請參閱 A2.3。
警報 186.01
乾泵未運行		 請參閱手冊 乾泵變頻器在請求時無法啟動。 檢查變頻器故障歷史記錄。
警報 186.13
無乾泵變頻器通訊		 在啟動檢查期間，泵控制器無法與乾泵變頻器通訊。 檢查泵控制器和乾泵變頻器之間的接線。
警報 196.01
乾泵變頻器 xxxx yyyy		 Diag aaaa bbbb
//zzzzzzzzzzzzzz		 第二乾泵變頻器發出警報並已停止系統。 更多資訊請參閱 A2.3。
警報 196.13
無乾泵變頻器通訊		 請參閱手冊 泵控制器無法與第二乾泵變頻器通訊。 檢查泵控制器和第二乾泵變頻器之間的接線。
警報 314.12
速度過低		 請勿重啟 /
聯繫客服		 泵的轉速比需求值低至少 30% 超過 3 分鐘。 在嘗試重新啟動前，請對旋轉和軸承進行機械檢查。
警告 1.01 電源中斷 檢查電源 供應給泵浦的電源發生超過 1 秒的瞬時電壓驟降。 檢查電源供應。
警告 31.13 氣體遺失 請參閱手冊 氣體模組未與泵浦控制器通訊。 請聯繫 Edwards。
警告 31.01 系統組態故障 安裝了錯誤類型的氣體模組。 請聯繫 Edwards。
警告 35.10 N2 吹掃低 檢查 N2 供應 氮氣供應流量過低 – 供應可能未連接或開啟 – 供應管線或過濾器可能堵塞 檢查氮氣供應是否已連接並開啟，以及管線和過濾器是否未堵塞。
警告 35.11 N2 吹掃高 檢查氣體模組 氮氣供應流量過高 – 氣體模組和 PDT 設定不匹配（針對 iXH 單一模式或單一模式+） – 氣體模組可能故障 檢查氣體模組和 PDT 設定，請參閱第 5.6 節。
警告 35.13 感測器遺失 傳感器已斷開或已損壞。 請聯繫 Edwards。
警告 39.11 排氣壓力高 排氣堵塞維護泵浦 排氣管路中的壓力過高。- 管路中的閥門可能已關閉。- 排氣管路中可能存在製程碎屑或冷凝水。- 排氣管路可能連接了過多的泵浦系統。 請參閱第 4.5 節以確定觸發警告的排氣壓力。檢查排氣管路中的所有閥門是否都已打開，並考慮是否可能存在製程碎屑或冷凝水。
警告 39.13 感測器遺失 排氣壓力傳感器未安裝、已斷開或已損壞。 請聯繫 Edwards。
警告 51.13 Sup 遺失 請參閱手冊 泵浦控制器內部存在通訊問題。請參閱第 A2.4.1 節以獲取更多資訊。 重新啟動泵浦電源。如果警告持續存在，請聯繫 Edwards 更換泵浦控制器。
警告 54.11 MB 溫度高 請參閱手冊 增壓泵浦的溫度過高。 檢查冷卻水是否已連接、開啟並符合第 2.6 節中規定的規格。
警告 54.13 感測器遺失 增壓泵浦溫度感測器可能已斷開或損壞。 檢查感測器是否已安裝並正確連接。
警告 55.13 感測器遺失 乾泵浦溫度感測器可能已斷開或損壞。 檢查感測器是否已安裝並正確連接。
警告 57.11 DP E/C 溫度高 請參閱手冊 乾泵浦端蓋溫度過高。 檢查冷卻水是否已連接、開啟並符合第 2.6 節中規定的規格。
警告 57.13 感測器遺失 乾泵浦端蓋溫度感測器可能已斷開或損壞。 檢查感測器是否已安裝並正確連接。
警告 62.11 MB E/C 溫度高 請參閱手冊 增壓泵浦端蓋的溫度過高。 檢查冷卻水是否已連接、開啟並符合第 2.6 節中規定的規格。
警告 62.13 感測器遺失 增壓泵浦端蓋溫度感測器可能已斷開或損壞。 檢查感測器是否已安裝並正確連接。
警告 63.11 DP 溫度高 請參閱手冊 泵浦內部溫度過高。 檢查冷卻水是否已連接、開啟並符合第 2.6 節中規定的規格。
警告 63.13 感測器遺失 請參閱手冊 乾泵浦溫度感測器可能已斷開或損壞。 請聯繫 Edwards。
警告 70.11 DP 溫度 2 高 乾泵浦的溫度過高。 檢查冷卻水是否已連接、開啟並符合第 2.6 節中規定的規格。
警告 70.13 感測器遺失 乾泵浦溫度感測器可能已斷開或損壞。 檢查感測器是否已安裝並正確連接。
警告 71.13 交流供應遺失 請參閱手冊 泵浦控制器無法與附件模組通訊。 檢查附件模組是否已正確連接到泵浦，然後重新啟動泵浦電源。如果此警告持續存在，請聯繫 Edwards。
警告 84.11 排氣溫度高 請參閱手冊 排氣管路溫度過高。 請聯繫 Edwards。
警告 84.13 感測器遺失 排氣管路溫度感測器可能已斷開或損壞。 請聯繫 Edwards。
警告 152.01 閥門未關閉 檢查閘閥 前級閘閥未能關閉。 檢查閘閥的接線和氣源。注意：此警告只有在閥門成功打開和關閉後才會清除。
警告 153.01 閥門未開啟 前級閘閥未能打開。 檢查閘閥的接線和氣源。注意：此警告只有在閥門成功打開和關閉後才會清除。
警告 176.01 MB INV xxxx yyyy xxxx yyyy aaaaaaaaaaaa 增壓變頻器發出警告代碼。 請參閱A2.3 節以獲取更多資訊。
警告 176.13 無 MB INV 通訊 請參閱手冊 泵浦控制器無法與增壓變頻器通訊。 檢查泵浦控制器和增壓變頻器之間的接線。
警告 186.01 DP INV xxxx yyyy xxxx yyyy aaaaaaaaaaaa 乾泵浦變頻器發出警告代碼。 請參閱A2.3 節以獲取更多資訊。
警告 186.13 無 DP INV 通訊 請參閱手冊 泵浦控制器無法與乾泵浦變頻器通訊。 檢查泵浦控制器和乾泵浦變頻器之間的接線。
警告 196.01 DP INV xxxx yyyy Diag aaaa bbbb /zzzzzzzzzzzzz 乾泵浦第二個變頻器發出警告代碼。 請參閱A2.3 節以獲取更多資訊。
警告 196.01 DP 未運轉 請參閱手冊 請求時乾泵浦第二個變頻器無法啟動。 檢查變頻器故障歷史記錄。
警告 196.13 無 DP INV 通訊 請參閱手冊 泵浦控制器無法與乾泵浦第二個變頻器通訊。 檢查泵浦控制器和乾泵浦變頻器之間的接線。
警告 314.11 速度過低 停止泵浦/聯繫服務 泵浦轉速低於需求至少 30% 超過 2 分鐘。 停止泵浦並進行旋轉和軸承的機械檢查。
Thông báo cảnh báo Thông báo hành động Nguyên nhân có thể Hành động
Báo động 1.01 Dừng được kích hoạt – Nút dừng khẩn cấp đã được kích hoạt.
– Có lỗi trong mạch EMS hoặc phích cắm liên kết EMS chưa được lắp hoặc bị ngắt kết nối.		 Nếu nút EMS trên bơm đã được sử dụng, tham khảo Phần 4.6 để đặt lại. Nếu không, kiểm tra và đặt lại mạch EMS và khởi động lại bơm.
Lưu ý: Thông báo báo động sẽ vẫn hiển thị trên màn hình cho đến khi bạn khởi động lại hệ thống bơm.
Báo động 1.01 Lỗi cấu hình hệ thống Loại hệ thống bơm chưa được cài đặt đúng. Liên hệ với Edwards để kỹ sư dịch vụ cấu hình đúng loại hệ thống bơm hoặc thay thế thiết bị điện tử điều khiển bơm.
Báo động 39.12 Áp suất xả cao Xả bị tắc, bảo trì bơm Áp suất xả đã đạt đến mức tối đa cho phép. Tham khảo Phần 4.5 để xác định áp suất xả gây ra báo động. Xem Cảnh báo 39.11 để biết nguyên nhân và hành động.
Báo động 54.12 Nhiệt độ MB cao Xem hướng dẫn Nhiệt độ của bộ tăng áp đã đạt đến mức tối đa cho phép nên bộ tăng áp đã dừng. Tham khảo Phần 4.5 để xác định nhiệt độ gây ra báo động. Xem Cảnh báo 54.11 để biết nguyên nhân và hành động.
Báo động 57.12
Nhiệt độ nắp cuối bơm khô cao		 Nhiệt độ nắp cuối bơm khô đã đạt đến mức tối đa cho phép nên hệ thống đã dừng. Xem Cảnh báo 57.11 để biết nguyên nhân và hành động.
Báo động 62.12
Nhiệt độ nắp cuối bơm tăng áp cao		 Nhiệt độ nắp cuối của bộ tăng áp đã đạt đến mức tối đa cho phép nên bộ tăng áp đã dừng. Tham khảo Phần 4.5 để xác định nhiệt độ gây ra báo động. Xem Cảnh báo 62.11 để biết nguyên nhân và hành động.
Báo động 63.12
Nhiệt độ bơm khô cao		 Nhiệt độ bên trong bơm khô đã đạt đến mức tối đa cho phép nên hệ thống đã dừng. Xem Cảnh báo 63.11 để biết nguyên nhân và hành động.
Báo động 70.12
Nhiệt độ bơm khô 2 cao		 Nhiệt độ bơm khô đã đạt đến mức tối đa cho phép nên hệ thống đã dừng. Tham khảo Phần 4.5 để xác định nhiệt độ gây ra báo động. Xem Cảnh báo 70.11 để biết nguyên nhân và hành động.
Báo động 84.12
Nhiệt độ xả cao		 Nhiệt độ ống xả đã đạt đến mức tối đa cho phép nên hệ thống đã dừng. Xem Cảnh báo 84.11 để biết nguyên nhân và hành động.
Báo động 174.10
Bộ tăng áp dừng		 xxxx yyyy Tốc độ bộ tăng áp quá thấp – rôto có thể bị khóa. Liên hệ với Edwards
Báo động 176.01
Biến tần MB xxxx yyyy		 aaaaaaaaaaaaaaaa
Xem hướng dẫn		 Biến tần bộ tăng áp đã phát báo động và dừng hệ thống. Tham khảo A2.3 để biết thêm thông tin.
Báo động 176.01
MB không chạy		 Xem hướng dẫn Biến tần bộ tăng áp không khởi động khi được yêu cầu. Kiểm tra lịch sử lỗi biến tần.
Báo động 176.13
Không có liên lạc với biến tần MB		 Bộ điều khiển bơm không thể liên lạc với biến tần bộ tăng áp trong quá trình kiểm tra khởi động. Kiểm tra dây nối giữa bộ điều khiển bơm và biến tần bộ tăng áp.
Báo động 184.10
Bơm khô dừng		 Tốc độ bơm khô rất thấp. Rôto có thể bị khóa. Ngắt nguồn điện của bơm và cố gắng khởi động lại. Nếu thất bại, liên hệ với Edwards.
Báo động 186.01
Biến tần DP xxxx yyyy		 xxxx yyyy
aaaaaaaaaaaaaaaa		 Biến tần bơm khô đã phát báo động và dừng hệ thống. Tham khảo A2.3 để biết thêm thông tin.
Báo động 186.01
DP không chạy		 Xem hướng dẫn Biến tần bơm khô không khởi động khi được yêu cầu. Kiểm tra lịch sử lỗi biến tần.
Báo động 186.13
Không có liên lạc với biến tần DP		 Bộ điều khiển bơm không thể liên lạc với biến tần bơm khô trong quá trình kiểm tra khởi động. Kiểm tra dây nối giữa bộ điều khiển bơm và biến tần bơm khô.
Báo động 196.01
Biến tần DP xxxx yyyy		 Diag aaaa bbbb
//zzzzzzzzzzzzzz		 Biến tần bơm khô thứ hai đã phát báo động và dừng hệ thống. Tham khảo A2.3 để biết thêm thông tin.
Báo động 196.13
Không có liên lạc với biến tần DP		 Xem hướng dẫn Bộ điều khiển bơm không thể liên lạc với biến tần bơm khô thứ hai. Kiểm tra dây nối giữa bộ điều khiển bơm và biến tần bơm khô thứ hai.
Báo động 314.12
Tốc độ quá thấp		 Không khởi động lại /
Liên hệ dịch vụ		 Tốc độ quay của bơm thấp hơn ít nhất 30% so với yêu cầu trong hơn 3 phút. Thực hiện kiểm tra cơ khí về vòng quay và ổ đỡ trước khi cố gắng khởi động lại.
Cảnh báo 1.01 Gián đoạn nguồn điện Kiểm tra nguồn điện Nguồn điện cung cấp cho bơm bị gián đoạn kéo dài hơn 1 giây. Kiểm tra nguồn điện.
Cảnh báo 31.13 Mất khí Xem hướng dẫn Mô-đun khí không liên lạc với bộ điều khiển bơm. Liên hệ với Edwards.
Cảnh báo 31.01 LỖI CẤU HÌNH HỆ THỐNG Mô-đun khí sai loại đã được lắp. Liên hệ với Edwards.
Cảnh báo 35.10 N2 xả thấp Kiểm tra nguồn cung cấp N2 Lưu lượng cung cấp Nitơ quá thấp – nguồn cung cấp có thể chưa được kết nối hoặc bật – đường ống hoặc bộ lọc có thể bị tắc. Kiểm tra nguồn cung cấp Nitơ đã được kết nối và bật, đồng thời đảm bảo đường ống và bộ lọc không bị tắc.
Cảnh báo 35.11 N2 xả cao Kiểm tra mô-đun khí Lưu lượng cung cấp Nitơ quá cao – cài đặt mô-đun khí và PDT không khớp (đối với chế độ đơn iXH hoặc chế độ đơn+). Mô-đun khí có thể bị lỗi. Kiểm tra mô-đun khí và cài đặt PDT, tham khảo Phần 5.6.
Cảnh báo 35.13 Thiếu cảm biến Cảm biến bị ngắt kết nối hoặc bị hỏng. Liên hệ với Edwards.
Cảnh báo 39.11 Áp suất xả cao Xả bị tắc, bảo trì bơm Áp suất trong đường ống xả quá cao. – Van trong đường ống có thể bị đóng. – Có thể có mảnh vụn quá trình hoặc hơi nước ngưng tụ trong đường ống xả. – Có thể có quá nhiều hệ thống bơm được kết nối với đường ống xả. Tham khảo Phần 4.5 để xác định áp suất xả gây ra cảnh báo. Kiểm tra xem tất cả các van trong đường ống xả đã mở chưa và xem xét liệu có khả năng có mảnh vụn quá trình hoặc hơi nước ngưng tụ không.
Cảnh báo 39.13 Thiếu cảm biến Cảm biến áp suất xả chưa được lắp, bị ngắt kết nối hoặc bị hỏng. Liên hệ với Edwards.
Cảnh báo 51.13 Thiếu Sup Xem hướng dẫn Có vấn đề giao tiếp trong bộ điều khiển bơm. Tham khảo Phần A2.4.1 để biết thêm thông tin. Ngắt nguồn điện của bơm. Nếu cảnh báo vẫn tiếp diễn, liên hệ với Edwards để thay thế bộ điều khiển bơm.
Cảnh báo 54.11 Nhiệt độ MB cao Xem hướng dẫn Nhiệt độ của bơm tăng áp quá cao. Kiểm tra nước làm mát đã được kết nối, bật và phù hợp với thông số kỹ thuật trong Phần 2.6.
Cảnh báo 54.13 Thiếu cảm biến Cảm biến nhiệt độ bơm tăng áp có thể bị ngắt kết nối hoặc hỏng. Kiểm tra cảm biến đã được lắp và kết nối đúng chưa.
Cảnh báo 55.13 Thiếu cảm biến Cảm biến nhiệt độ bơm khô có thể bị ngắt kết nối hoặc hỏng. Kiểm tra cảm biến đã được lắp và kết nối đúng chưa.
Cảnh báo 57.11 Nhiệt độ nắp cuối DP cao Xem hướng dẫn Nhiệt độ nắp cuối bơm khô quá cao. Kiểm tra nước làm mát đã được kết nối, bật và phù hợp với thông số kỹ thuật trong Phần 2.6.
Cảnh báo 57.13 Thiếu cảm biến Cảm biến nhiệt độ nắp cuối bơm khô có thể bị ngắt kết nối hoặc hỏng. Kiểm tra cảm biến đã được lắp và kết nối đúng chưa.
Cảnh báo 62.11 Nhiệt độ nắp cuối MB cao Xem hướng dẫn Nhiệt độ nắp cuối của bơm tăng áp quá cao. Kiểm tra nước làm mát đã được kết nối, bật và phù hợp với thông số kỹ thuật trong Phần 2.6.
Cảnh báo 62.13 Thiếu cảm biến Cảm biến nhiệt độ nắp cuối bơm tăng áp có thể bị ngắt kết nối hoặc hỏng. Kiểm tra cảm biến đã được lắp và kết nối đúng chưa.
Cảnh báo 63.11 Nhiệt độ DP cao Xem hướng dẫn Nhiệt độ bên trong bơm quá cao. Kiểm tra nước làm mát đã được kết nối, bật và phù hợp với thông số kỹ thuật trong Phần 2.6.
Cảnh báo 63.13 Thiếu cảm biến Xem hướng dẫn Cảm biến nhiệt độ bơm khô có thể bị ngắt kết nối hoặc hỏng. Liên hệ với Edwards.
Cảnh báo 70.11 Nhiệt độ DP 2 cao Nhiệt độ của bơm khô quá cao. Kiểm tra nước làm mát đã được kết nối, bật và phù hợp với thông số kỹ thuật trong Phần 2.6.
Cảnh báo 70.13 Thiếu cảm biến Cảm biến nhiệt độ bơm khô có thể bị ngắt kết nối hoặc hỏng. Kiểm tra cảm biến đã được lắp và kết nối đúng chưa.
Cảnh báo 71.13 Thiếu nguồn AC Xem hướng dẫn Bộ điều khiển bơm không thể liên lạc với mô-đun phụ kiện. Kiểm tra mô-đun phụ kiện đã được kết nối đúng với bơm chưa, sau đó ngắt nguồn điện của bơm. Nếu cảnh báo vẫn tiếp diễn, liên hệ với Edwards.
Cảnh báo 84.11 Nhiệt độ xả cao Xem hướng dẫn Nhiệt độ ống xả quá cao. Liên hệ với Edwards.
Cảnh báo 84.13 Thiếu cảm biến Cảm biến nhiệt độ ống xả có thể bị ngắt kết nối hoặc hỏng. Liên hệ với Edwards.
Cảnh báo 152.01 Van không đóng Kiểm tra van cổng Van cổng trước không thể đóng. Kiểm tra dây nối và nguồn khí cho van cổng. Lưu ý: Cảnh báo này chỉ biến mất khi van đã được mở và đóng thành công.
Cảnh báo 153.01 Van không mở Van cổng trước không thể mở. Kiểm tra dây nối và nguồn khí cho van cổng. Lưu ý: Cảnh báo này chỉ biến mất khi van đã được mở và đóng thành công.
Cảnh báo 176.01 Biến tần MB xxxx yyyy xxxx yyyy aaaaaaaaaaaa Biến tần bộ tăng áp đã phát mã cảnh báo. Tham khảo A2.3 để biết thêm thông tin.
Cảnh báo 176.13 Không có liên lạc với biến tần MB Xem hướng dẫn Bộ điều khiển bơm không thể liên lạc với biến tần bộ tăng áp. Kiểm tra dây nối giữa bộ điều khiển bơm và biến tần bộ tăng áp.
Cảnh báo 186.01 Biến tần DP xxxx yyyy xxxx yyyy aaaaaaaaaaaa Biến tần bơm khô đã phát mã cảnh báo. Tham khảo A2.3 để biết thêm thông tin.
Cảnh báo 186.13 Không có liên lạc với biến tần DP Xem hướng dẫn Bộ điều khiển bơm không thể liên lạc với biến tần bơm khô. Kiểm tra dây nối giữa bộ điều khiển bơm và biến tần bơm khô.
Cảnh báo 196.01 Biến tần DP xxxx yyyy Diag aaaa bbbb /zzzzzzzzzzzzz Biến tần thứ hai của bơm khô đã phát mã cảnh báo. Tham khảo A2.3 để biết thêm thông tin.
Cảnh báo 196.01 DP không chạy Xem hướng dẫn Biến tần thứ hai của bơm khô không khởi động khi được yêu cầu. Kiểm tra lịch sử lỗi biến tần.
Cảnh báo 196.13 Không có liên lạc với biến tần DP Xem hướng dẫn Bộ điều khiển bơm không thể liên lạc với biến tần thứ hai của bơm khô. Kiểm tra dây nối giữa bộ điều khiển bơm và biến tần bơm khô.
Cảnh báo 314.11 Tốc độ quá thấp Dừng bơm/Liên hệ dịch vụ Tốc độ quay của bơm thấp hơn ít nhất 30% so với yêu cầu trong hơn 2 phút. Dừng bơm và thực hiện kiểm tra cơ khí về vòng quay và ổ đỡ.