傑笙真空科技

EDWARDS_IH1000_IH1800

Alarm message Advisory message Meaning/recommended action
ALARM STOP ACTIVATED 101 The emergency stop switch has been pressed or a safety sensor connected to the emergency stop circuit has operated (or your remote emergency off circuit has operated) to shut down the iH system. Note that the message will remain on the display until you restart the pumping system.
ALARM 101 Refer to the recommended actions for error number 101: see Table 6-1.
ALARM 210 Refer to the recommended actions for error number 209: see Table 6-1.
ALARM 212 Refer to the recommended actions for error number 211: see Table 6-1.
ALARM DP CURRENT LOW 310 OPEN CIRCUIT CHECK CONNECTION Refer to the recommended actions for error number 309: see Table 6-1.
ALARM DP CURRENT HIGH 312 LEAK/DEBRIS SERVICE PUMP Refer to the recommended actions for error number 311: see Table 6-1.
ALARM DP POWER LOW 410 OPEN CIRCUIT CHECK CONNECTION Refer to the recommended actions for error number 409: see Table 6-1.
ALARM DP POWER HIGH 412 LEAK/DEBRIS SERVICE PUMP Refer to the recommended actions for error number 411: see Table 6-1.
ALARM 512 The pump-motor has tripped out because the motor windings are too hot: either the cooling-system has failed or the motor overloaded. Either of these faults should have been identified before shut-down, so either there are two separate faults (for example, cooling-water supply failure and thermocouple circuit failure) or the thermistor circuit has failed: contact your supplier or Edwards.
ALARM 612 Refer to the recommended actions for error number 611: see Table 6-1.
ALARM MB CURRENT LOW 710 OPEN CIRCUIT CHECK CONNECTION Refer to the recommended actions for error number 709: see Table 6-1.
ALARM MB CURRENT HIGH 712 LEAK/DEBRIS SERVICE PUMP Refer to the recommended actions for error number 711: see Table 6-1.
ALARM MB POWER LOW 810 OPEN CIRCUIT CHECK CONNECTION Refer to the recommended actions for error number 809: see Table 6-1.
ALARM MB POWER HIGH 812 LEAK/DEBRIS SERVICE PUMP Refer to the recommended actions for error number 811: see Table 6-1.
ALARM 912 Refer to the recommended actions for error number 512 in this table.
ALARM 1012 Refer to the recommended actions for error number 1011: see Table 6-1.
ALARM 1101 (a) the electrical supply is not connected to the HCDP pump-motor, or (b) the HCDP pump has started, but has then immediately stopped again, because the phase sequence of the electrical supply to the pump is incorrect: reverse two of the phases in the electrical supply connector: refer to Section 3.16.3.
ALARM EXHAUST PRESSURE 3912 EXHAUST BLOCKED SERVICE PUMP Refer to the recommended actions for error number 3911: see Table 6-1.
ALARM MB MOTOR TEMP 5412 MOTOR WATER LOW CHECK FILTER Refer to the recommended actions for error number 5411: see Table 6-1.
ALARM DP MOTOR TEMP 5512 MOTOR WATER LOW CHECK FILTER Refer to the recommended actions for error number 5511: see Table 6-1.
ALARM EXHAUST TEMP LOW 5610 EXHAUST TEMP LOW CHECK EXHAUST Refer to the recommended actions for error number 5609: see Table 6-1.
ALARM DP TEMP LOW 5710 TCV SET LOW ADJUST TCV Refer to the recommended actions for error number 5709: see Table 6-1.
ALARM DP TEMP HIGH 5712 TCV SET HIGH ADJUST TCV Refer to the recommended actions for error number 5711: see Table 6-1.
ALARM 17410 SEE MANUAL The inverter on an iH1000 system has been operating at less than 10 Hz for more than three minutes. There is a mechanical fault (possible a pump rotor has locked): Contact your supplier or BOC Edwards for advice.
ALARM 17601 SEE MANUAL The inverter on an iH1000 system has experienced a significant power supply problem and the HCMB pump has been stopped, or the HCMB pump in the iH1000 system has stopped because of a mechanical or electrical fault. You must manually restart the HCMB pump (refer to section 5.13). If the alarm condition persists after several attempts to restart the HCMB pump, contact your supplier or BOC Edwards for advice.

Warning message Advisory message Meaning/recommended action
WARNING 101 (a) there is a fault in the Control SMA, or (b) the emergency stop button has been pressed to shut down the iH system, or (c) there has been a transient electrical supply failure (longer than the hold-up time of the iH power supply).
WARNING 113 There is a fault in the ADC (analogue-to-digital convertor) in the Control SMA; the Control SMA must be replaced.
WARNING 209 SEE MANUAL The electrical supply voltage is too low. Check the electrical supply and the connections to the iH system and rectify as necessary.
WARNING 211 SEE MANUAL The electrical supply voltage is too high. Check the electrical supply and the connections to the iH system and rectify as necessary.
WARNING DP CURRENT LOW 309 OPEN CIRCUIT CHECK CONNECTION The electrical current drawn by the HCDP pump is less than normal. Check that the electrical connections are correct and rectify as necessary. If the electrical connections are correct, a fuse in the Electrics Box may have failed.
WARNING DP CURRENT HIGH 311 LEAK/DEBRIS SERVICE PUMP The electrical current drawn by the HCDP pump is higher than normal. There may be a leak in the system or process debris in the pump, or the pump motor may have failed. Inspect the pipelines and service the pump.
WARNING DP POWER LOW 409 OPEN CIRCUIT CHECK CONNECTION The electrical power consumption of the HCDP pump is less than normal. Check that the electrical connections are correct and rectify as necessary. If the electrical connections are correct, a fuse in the Electrics Box may have failed.
WARNING DP POWER HIGH 411 LEAK/DEBRIS SERVICE PUMP The electrical power consumption of the HCDP pump is higher than normal. There may be a leak in the system or process debris in the pump, or the pump motor may have failed. Inspect the pipelines and service the pump.
WARNING DP POWER HIGH 412 LEAK/DEBRIS SERVICE PUMP Refer to the recommended actions for error number 411 in this table.
WARNING 509 SEE MANUAL The HCDP motor thermistor is short circuited. Check the thermistor connections inside the HCDP pump motor terminal-box and check the connections between the HCDP pump and the Electrics Box.
WARNING 611 SEE MANUAL There is a phase imbalance in the electrical supply to the HCDP pump. Check the electrical supply and the connections to the iH system. If the electrical supply and connections are correct, the pump motor may be faulty.
WARNING MB CURRENT LOW 709 OPEN CIRCUIT CHECK CONNECTION The electrical current drawn by the HCMB pump is lower than normal. Check that the electrical connections are correct and rectify as necessary. If the electrical connections are correct, a fuse in the Electrics Box may have failed.
WARNING MB CURRENT HIGH 711 LEAK/DEBRIS SERVICE PUMP The electrical current consumption of the HCMB pump is higher than normal. There may be a leak in the system or process debris in the pump, or the pump motor may have failed. Inspect the pipelines and service the pump.
WARNING MB POWER LOW 809 OPEN CIRCUIT CHECK CONNECTION The electrical power consumption of the HCMB pump is lower than normal. Check that the electrical connections are correct and rectify as necessary. If the electrical connections are correct, a fuse in the Electrics Box may have failed.
WARNING MB POWER HIGH 811 LEAK/DEBRIS SERVICE PUMP The electrical power consumption of the HCMB pump is higher than normal. There may be a leak in the system or process debris in the pump, or the pump motor may have failed. Inspect the pipelines and service the pump.
WARNING MB POWER HIGH 812 LEAK/DEBRIS SERVICE PUMP Refer to the recommended actions for error number 811 in this table.
WARNING 909 SEE MANUAL The HCMB motor thermistor is short circuited. Check the thermistor connections inside the HCMB pump motor terminal-box and check the connections between the HCMB pump and the Electrics Box.
WARNING 1011 SEE MANUAL There is a phase imbalance in the electrical supply to the HCMB pump. Check the electrical supply and the connections to the iH system. If the electrical supply and connections are correct, the pump motor may be faulty.
WARNING 1201 When started, no electrical current was drawn by the HCDP pump. Check whether the pump motor is open circuit. If not, the current sensor may have failed.
WARNING SERVICE DUE (R) 1401 xxxxx HRS RUN SINCE SERVICE The iH system has operated for xxxxx hours since it was last serviced. Service the iH system.
WARNING 1601 SERVICE DUE (P) xxxxx HRS RUN SINCE SERVICE The iH system has operated for xxxxx hours since it was last serviced. Service the iH system.
WARNING 1801 SERVICE DUE (P) xxxxx CYCLES SINCE SERVICE The iH system has been operated for xxxxx process cycles since it was last serviced. Service the iH system.
WARNING 2001 SERVICE DUE (C) xxxxx CYCLES SINCE SERVICE The iH system has been operated for xxxxx switch-on/off cycles since it was last serviced. Service the system.
WARNING 3113 There is a fault in the ADC (analogue-to-digital convertor) in the Control SMA; the Control SMA must be replaced.
WARNING 3501 (a) the gas module mass flow transducer has drifted outside the valid range allowed for zeroing, or (b) you cannot zero the transducer because the nitrogen purge is switched on or the HCDP pump is on.
WARNING TOTAL N2 FLOW LO 3509 FLOW LOW CHECK GAS MODULE The total nitrogen flow is too low. There may be a fault in the Gas Module.
WARNING TOTAL N2 FLOW HI 3511 FLOW HIGH CHECK GAS MODULE The total nitrogen flow is too high. There may be a fault in the Gas Module.
WARNING EXHAUST PRESSURE 3911 EXHAUST BLOCKED SERVICE PUMP The pressure in the exhaust pipeline is too high. There may be process debris or condensation in the exhaust pipeline, or a valve in the pipeline may be shut. You may have too many pumping systems connected to the exhaust pipeline.
WARNING 3913 The exhaust pressure transducer is not fitted, or is disconnected or has failed. Check and rectify as necessary.
WARNING SS PURGE LOW 4009 ADJUST REGULATOR INCREASE PRESS. The shaft-seals purge pressure is too low. Check that the nitrogen supply is as specified in Section 2 and that you have correctly adjusted the pressure: refer to Section 5.7.
WARNING SS PURGE LOW 4010 PRESSURE LOW ADJUST REGULATOR Refer to the recommended actions for error number 4009 in this table.
WARNING SS PURGE HIGH 4011 PRESSURE HIGH CHECK GAS MODULE The shaft-seals purge pressure is too high. Check that you have correctly adjusted the pressure: refer to Section 5.7. If you cannot correctly adjust the pressure, the regulator may be faulty.
WARNING SS PURGE HIGH 4012 PRESSURE HIGH CHECK GAS MODULE Refer to the recommended actions for error number 4011 in this table.
WARNING 4013 The shaft-seals pressure transducer is not fitted, or is disconnected or has failed. Check and rectify as necessary.
WARNING 5113 There is a fault in the ADC (analogue-to-digital convertor) in the Control SMA; the Control SMA must be replaced.
WARNING MB TEMP 5411 The temperature of the HCMB pump is too high. Check the pumping system inlet pressure; has the pumping system been operating with inlet pressure > 5 mbar (5 x 102 Pa) for 1 hour or more. If the maximum inlet pressure has not been exceeded, or if the pumping system has not been operated at the maximum inlet pressure for longer than the specified time, the cooling-circuit of the pump maybe blocked.
WARNING 5413 Check that the HCMB pump temperature sensor is fitted and is correctly connected. If the sensor is correctly fitted and connected, it may have failed. Check the operation of the sensor and replace it if it has failed.
WARNING DP MOTOR TEMP 5511 MOTOR WATER LOW CHECK WATER The temperature of the HCDP pump-motor is too high. Check the cooling-water connections in the iH system and check that the cooling-water supply is on and is as specified in Section 2. If the connections and supply are correct, the cooling-circuit of the pump maybe blocked.
WARNING 5513 The HCMB pump-motor surface temperature sensor is not fitted, or is disconnected or has failed.
WARNING 5609 EXHAUST TEMP LOW EXHAUST TEMP LOW CHECK EXHAUST The temperature of the exhaust is too low for the process.
WARNING 5613 You have configured the iH to have an exhaust temperature sensor fitted, but the sensor is not fitted, or is disconnected or has failed. Check and rectify as necessary.
WARNING DP TEMP LOW 5709 DP TEMP LOW SEE MANUAL The operating temperature of the HCDP pump is too low.
WARNING DP TEMP HIGH 5711 DP TEMP HIGH SEE MANUAL The operating temperature of the HCDP pump is too high: there may be process debris in the pump or the pump may be damaged.
WARNING 5713 The HCDP pump-body temperature sensor is not fitted, or is disconnected or has failed. Check and rectify as necessary.
WARNING 6001 WATER FLOW LOW CHECK COOLING WATER SUPPLY The flow of cooling-water through the iH system is too low. Refer to the recommended actions for error number 5411.
WARNING O RING 7801 O RING LEAK – CHECK The secondary seal is breached. You are now depending on the primary seal mechanism.
WARNING 11101 There is a fault in the NIM (Network Interface Module); refer to the instruction manual supplied with the NIM.
WARNING 12101 There is a fault in the Tool Interface Card in the iH Interface Module. Refer to the instruction manual supplied with the iH Interface Module.
WARNING 15101 There is a fault in the Auxiliary Interface Card in the iH Interface Module. Refer to the instruction manual supplied with the iH Interface Module.
WARNING 15201 The gate valve connected to the iH Interface Module has failed to close.
WARNING 15301 The gate valve connected to the iH Interface Module has failed to open.
WARNING 17601 SEE MANUAL The inverter on an iH1000 system has experienced a transient power supply problem, or there is a recoverable fault.
WARNING 17701 SEE MANUAL The HCMB pump stator temperature is > 165 °C, and the HCMB pump speed has been reduced to 1200 r.min⁻¹. The warning condition will be removed and the HCMB pump speed will increase to 6000 r.min⁻¹ again when the pump stator temperature has fallen to 150 °C.
警報訊息 建議訊息 意義/建議處置
警報停止啟動 101 已按下緊急停止開關或連接至緊急停止電路的安全感測器已觸發（或遠端緊急關閉電路已觸發）以關閉 iH 系統。請注意，訊息將保留在顯示器上，直到您重新啟動泵浦系統。
警報 101 請參閱錯誤代碼 101 的建議處置：請參閱表 6-1。
警報 210 請參閱錯誤代碼 209 的建議處置：請參閱表 6-1。
警報 212 請參閱錯誤代碼 211 的建議處置：請參閱表 6-1。
警報 DP 電流低 310 開路檢查連接 請參閱錯誤代碼 309 的建議處置：請參閱表 6-1。
警報 DP 電流高 312 洩漏/碎屑維護泵浦 請參閱錯誤代碼 311 的建議處置：請參閱表 6-1。
警報 DP 功率低 410 開路檢查連接 請參閱錯誤代碼 409 的建議處置：請參閱表 6-1。
警報 DP 功率高 412 洩漏/碎屑維護泵浦 請參閱錯誤代碼 411 的建議處置：請參閱表 6-1。
警報 512 泵浦馬達因線圈過熱而跳閘：可能是冷卻系統故障或馬達過載。這些故障在關機前應已被發現，因此可能存在兩個獨立的故障（例如，冷卻水供應故障和熱電偶電路故障）或熱敏電阻電路已損壞：請聯繫您的供應商或 Edwards。
警報 612 請參閱錯誤代碼 611 的建議處置：請參閱表 6-1。
警報 MB 電流低 710 開路檢查連接 請參閱錯誤代碼 709 的建議處置：請參閱表 6-1。
警報 MB 電流高 712 洩漏/碎屑維護泵浦 請參閱錯誤代碼 711 的建議處置：請參閱表 6-1。
警報 MB 功率低 810 開路檢查連接 請參閱錯誤代碼 809 的建議處置：請參閱表 6-1。
警報 MB 功率高 812 洩漏/碎屑維護泵浦 請參閱錯誤代碼 811 的建議處置：請參閱表 6-1。
警報 912 請參閱本表中錯誤代碼 512 的建議處置。
警報 1012 請參閱錯誤代碼 1011 的建議處置：請參閱表 6-1。
警報 1101 (a) 電源未連接到 HCDP 泵浦馬達，或 (b) HCDP 泵浦已啟動，但隨後立即停止，因為供應給泵浦的電源相序不正確：在電源連接器中反轉其中兩相：請參閱第 3.16.3 節。
警報排氣壓力 3912 排氣堵塞維護泵浦 請參閱錯誤代碼 3911 的建議處置：請參閱表 6-1。
警報 MB 馬達溫度 5412 馬達水低檢查過濾器 請參閱錯誤代碼 5411 的建議處置：請參閱表 6-1。
警報 DP 馬達溫度 5512 馬達水低檢查過濾器 請參閱錯誤代碼 5511 的建議處置：請參閱表 6-1。
警報排氣溫度低 5610 排氣溫度低檢查排氣 請參閱錯誤代碼 5609 的建議處置：請參閱表 6-1。
警報 DP 溫度低 5710 TCV 設定低調整 TCV 請參閱錯誤代碼 5709 的建議處置：請參閱表 6-1。
警報 DP 溫度高 5712 TCV 設定高調整 TCV 請參閱錯誤代碼 5711 的建議處置：請參閱表 6-1。
警報 17410 請參閱手冊 iH1000 系統上的變頻器以低於 10 Hz 的頻率運轉超過三分鐘。存在機械故障（可能是泵浦轉子鎖死）：請聯繫您的供應商或 BOC Edwards 尋求建議。
警報 17601 請參閱手冊 iH1000 系統上的變頻器發生嚴重的電源問題導致 HCMB 泵浦停止，或者 iH1000 系統中的 HCMB 泵浦因機械或電氣故障而停止。您必須手動重新啟動 HCMB 泵浦（請參閱第 5.13 節）。如果在嘗試重新啟動 HCMB 泵浦數次後警報狀況仍然存在，請聯繫您的供應商或 BOC Edwards 尋求建議。

警告訊息 建議訊息 意義/建議處置
警告 101 (a) 控制 SMA 有故障，或 (b) 已按下緊急停止按鈕以關閉 iH 系統，或 (c) 發生瞬時電源故障（超過 iH 電源的保持時間）。
警告 113 控制 SMA 中的 ADC（類比轉數位轉換器）有故障；必須更換控制 SMA。
警告 209 請參閱手冊 電源電壓過低。檢查電源以及與 iH 系統的連接並進行必要的糾正。
警告 211 請參閱手冊 電源電壓過高。檢查電源以及與 iH 系統的連接並進行必要的糾正。
警告 DP 電流低 309 開路檢查連接 HCDP 泵浦的電流低於正常值。檢查電氣連接是否正確並進行必要的糾正。如果電氣連接正確，則電氣箱中的保險絲可能已燒毀。
警告 DP 電流高 311 洩漏/碎屑維護泵浦 HCDP 泵浦的電流高於正常值。系統可能存在洩漏或泵浦中存在過程碎屑，或泵浦馬達可能已損壞。檢查管線並維修泵浦。
警告 DP 功率低 409 開路檢查連接 HCDP 泵浦的電功率消耗低於正常值。檢查電氣連接是否正確並進行必要的糾正。如果電氣連接正確，則電氣箱中的保險絲可能已燒毀。
警告 DP 功率高 411 洩漏/碎屑維護泵浦 HCDP 泵浦的電功率消耗高於正常值。系統可能存在洩漏或泵浦中存在過程碎屑，或泵浦馬達可能已損壞。檢查管線並維修泵浦。
警告 DP 功率高 412 洩漏/碎屑維護泵浦 請參閱本表中錯誤代碼 411 的建議處置。
警告 509 請參閱手冊 HCDP 馬達熱敏電阻短路。檢查 HCDP 泵浦馬達接線盒內的熱敏電阻連接，並檢查 HCDP 泵浦與電氣箱之間的連接。
警告 611 請參閱手冊 HCDP 泵浦的電源存在相位不平衡。檢查電源以及與 iH 系統的連接。如果電源和連接都正確，則泵浦馬達可能故障。
警告 MB 電流低 709 開路檢查連接 HCMB 泵浦的電流低於正常值。檢查電氣連接是否正確並進行必要的糾正。如果電氣連接正確，則電氣箱中的保險絲可能已燒毀。
警告 MB 電流高 711 洩漏/碎屑維護泵浦 HCMB 泵浦的電流消耗高於正常值。系統可能存在洩漏或泵浦中存在過程碎屑，或泵浦馬達可能已損壞。檢查管線並維修泵浦。
警告 MB 功率低 809 開路檢查連接 HCMB 泵浦的電功率消耗低於正常值。檢查電氣連接是否正確並進行必要的糾正。如果電氣連接正確，則電氣箱中的保險絲可能已燒毀。
警告 MB 功率高 811 洩漏/碎屑維護泵浦 HCMB 泵浦的電功率消耗高於正常值。系統可能存在洩漏或泵浦中存在過程碎屑，或泵浦馬達可能已損壞。檢查管線並維修泵浦。
警告 MB 功率高 812 洩漏/碎屑維護泵浦 請參閱本表中錯誤代碼 811 的建議處置。
警告 909 請參閱手冊 HCMB 馬達熱敏電阻短路。檢查 HCMB 泵浦馬達接線盒內的熱敏電阻連接，並檢查 HCMB 泵浦與電氣箱之間的連接。
警告 1011 請參閱手冊 HCMB 泵浦的電源存在相位不平衡。檢查電源以及與 iH 系統的連接。如果電源和連接都正確，則泵浦馬達可能故障。
警告 1201 啟動時，HCDP 泵浦沒有消耗電流。檢查泵浦馬達是否開路。如果不是，則電流感測器可能已損壞。
警告維修到期 (R) 1401 自上次維護後運轉了 xxxxx 小時 iH 系統自上次維護後已運轉了 xxxxx 小時。請維護 iH 系統。
警告 1601 維修到期 (P) 自上次維護後運轉了 xxxxx 小時 iH 系統自上次維護後已運轉了 xxxxx 小時。請維護 iH 系統。
警告 1801 維修到期 (P) 自上次維護後循環了 xxxxx 次 iH 系統自上次維護後已運作了 xxxxx 個工藝循環。請維護 iH 系統。
警告 2001 維修到期 (C) 自上次維護後循環了 xxxxx 次 iH 系統自上次維護後已運作了 xxxxx 次開/關循環。請維護系統。
警告 3113 控制 SMA 中的 ADC（類比轉數位轉換器）有故障；必須更換控制 SMA。
警告 3501 (a) 氣體模組質量流量傳感器已漂移到歸零允許的有效範圍之外，或 (b) 您無法將傳感器歸零，因為氮氣吹掃已開啟或 HCDP 泵浦已開啟。
警告總氮氣流量低 3509 流量低檢查氣體模組 總氮氣流量過低。氣體模組可能存在故障。
警告總氮氣流量高 3511 流量高檢查氣體模組 總氮氣流量過高。氣體模組可能存在故障。
警告排氣壓力 3911 排氣堵塞維護泵浦 排氣管路中的壓力過高。排氣管路中可能存在工藝碎屑或冷凝水，或者管路中的閥門可能已關閉。排氣管路可能連接了過多的泵浦系統。
警告 3913 排氣壓力傳感器未安裝、已斷開或已損壞。請檢查並進行必要的糾正。
警告軸封吹掃低 4009 調整調節器增加壓力 軸封吹掃壓力過低。請檢查氮氣供應是否符合第 2 節的規定，並正確調整壓力：請參閱第 5.7 節。
警告軸封吹掃低 4010 壓力低調整調節器 請參閱本表中錯誤代碼 4009 的建議處置。
警告軸封吹掃高 4011 壓力高檢查氣體模組 軸封吹掃壓力過高。請檢查您是否正確調整了壓力：請參閱第 5.7 節。如果無法正確調整壓力，則調節器可能故障。
警告軸封吹掃高 4012 壓力高檢查氣體模組 請參閱本表中錯誤代碼 4011 的建議處置。
警告 4013 軸封壓力傳感器未安裝、已斷開或已損壞。請檢查並進行必要的糾正。
警告 5113 控制 SMA 中的 ADC（類比轉數位轉換器）有故障；必須更換控制 SMA。
警告 MB 溫度 5411 HCMB 泵浦的溫度過高。檢查泵浦系統入口壓力；泵浦系統是否在入口壓力 > 5 毫巴 (5 x 102 Pa) 的情況下運轉了 1 小時或更長時間。如果沒有超過最大入口壓力，或者泵浦系統沒有在最大入口壓力下運轉超過指定時間，則泵浦的冷卻迴路可能堵塞。
警告 5413 檢查 HCMB 泵浦溫度感測器是否已安裝並正確連接。如果感測器已正確安裝並連接，則它可能已損壞。檢查感測器的運作情況，如果已損壞，請更換。
警告 DP 馬達溫度 5511 馬達水低檢查水 HCDP 泵浦馬達的溫度過高。檢查 iH 系統中的冷卻水連接，並檢查冷卻水供應是否開啟並符合第 2 節的規定。如果連接和供應正確，則泵浦的冷卻迴路可能堵塞。
警告 5513 HCMB 泵浦馬達表面溫度感測器未安裝、已斷開或已損壞。
警告 5609 排氣溫度低 排氣溫度低檢查排氣 排氣溫度對於製程來說過低。
警告 5613 您已將 iH 配置為安裝排氣溫度感測器，但感測器未安裝、已斷開或已損壞。請檢查並進行必要的糾正。
警告 DP 溫度低 5709 DP 溫度低請參閱手冊 HCDP 泵浦的運轉溫度過低。
警告 DP 溫度高 5711 DP 溫度高請參閱手冊 HCDP 泵浦的運轉溫度過高：泵浦中可能存在製程碎屑或泵浦可能已損壞。
警告 5713 HCDP 泵浦本體溫度感測器未安裝、已斷開或已損壞。請檢查並進行必要的糾正。
警告 6001 水流量低 檢查冷卻水供應 流經 iH 系統的冷卻水流量過低。請參閱錯誤代碼 5411 的建議處置。
警告 O 型環 7801 O 型環洩漏 – 檢查 第二道密封已破損。您現在僅依賴第一道密封機制。
警告 11101 NIM（網路介面模組）發生故障；請參閱 NIM 隨附的使用說明書。
警告 12101 iH 介面模組中的工具介面卡發生故障。請參閱 iH 介面模組隨附的使用說明書。
警告 15101 iH 介面模組中的輔助介面卡發生故障。請參閱 iH 介面模組隨附的使用說明書。
警告 15201 連接到 iH 介面模組的閘閥無法關閉。
警告 15301 連接到 iH 介面模組的閘閥無法打開。
警告 17601 請參閱手冊 iH1000 系統上的變頻器發生瞬時電源問題，或存在可恢復的故障。
警告 17701 請參閱手冊 HCMB 泵浦定子溫度 > 165°C，且 HCMB 泵浦速度已降至 1200 r.min⁻¹。當泵浦定子溫度降至 150°C 時，警告狀況將解除，且 HCMB 泵浦速度將再次升至 6000 r.min⁻¹。
Thông báo lỗi Thông báo tư vấn Ý nghĩa/Hành động đề xuất
ALARM STOP ACTIVATED 101 Công tắc dừng khẩn cấp đã được nhấn hoặc cảm biến an toàn kết nối với mạch dừng khẩn cấp đã hoạt động (hoặc mạch dừng khẩn cấp từ xa đã hoạt động) để tắt hệ thống iH. Lưu ý rằng thông báo này sẽ hiển thị cho đến khi bạn khởi động lại hệ thống bơm.
ALARM 101 Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 101: xem Bảng 6-1.
ALARM 210 Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 209: xem Bảng 6-1.
ALARM 212 Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 211: xem Bảng 6-1.
ALARM DP CURRENT LOW 310 MẠCH HỞ KIỂM TRA KẾT NỐI Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 309: xem Bảng 6-1.
ALARM DP CURRENT HIGH 312 RÒ RỈ/MẢNH VỤN BẢO DƯỠNG BƠM Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 311: xem Bảng 6-1.
ALARM DP POWER LOW 410 MẠCH HỞ KIỂM TRA KẾT NỐI Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 409: xem Bảng 6-1.
ALARM DP POWER HIGH 412 RÒ RỈ/MẢNH VỤN BẢO DƯỠNG BƠM Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 411: xem Bảng 6-1.
ALARM 512 Động cơ bơm đã ngắt do cuộn dây động cơ quá nóng: hệ thống làm mát có thể đã hỏng hoặc động cơ bị quá tải. Một trong các lỗi này đáng lẽ phải được phát hiện trước khi dừng, vì vậy có thể có hai lỗi riêng biệt (ví dụ, lỗi nguồn nước làm mát và lỗi mạch cặp nhiệt điện) hoặc mạch thermistor đã hỏng: liên hệ với nhà cung cấp hoặc Edwards.
ALARM 612 Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 611: xem Bảng 6-1.
ALARM MB CURRENT LOW 710 MẠCH HỞ KIỂM TRA KẾT NỐI Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 709: xem Bảng 6-1.
ALARM MB CURRENT HIGH 712 RÒ RỈ/MẢNH VỤN BẢO DƯỠNG BƠM Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 711: xem Bảng 6-1.
ALARM MB POWER LOW 810 MẠCH HỞ KIỂM TRA KẾT NỐI Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 809: xem Bảng 6-1.
ALARM MB POWER HIGH 812 RÒ RỈ/MẢNH VỤN BẢO DƯỠNG BƠM Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 811: xem Bảng 6-1.
ALARM 912 Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 512 trong bảng này.
ALARM 1012 Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 1011: xem Bảng 6-1.
ALARM 1101 (a) nguồn điện không được kết nối với động cơ bơm HCDP, hoặc (b) bơm HCDP đã khởi động nhưng ngay lập tức dừng lại do trình tự pha của nguồn điện cung cấp cho bơm không đúng: đảo ngược hai pha trong đầu nối nguồn điện: tham khảo Phần 3.16.3.
ALARM EXHAUST PRESSURE 3912 ỐNG XẢ BỊ TẮC BẢO DƯỠNG BƠM Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 3911: xem Bảng 6-1.
ALARM MB MOTOR TEMP 5412 NƯỚC ĐỘNG CƠ THẤP KIỂM TRA BỘ LỌC Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 5411: xem Bảng 6-1.
ALARM DP MOTOR TEMP 5512 NƯỚC ĐỘNG CƠ THẤP KIỂM TRA BỘ LỌC Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 5511: xem Bảng 6-1.
ALARM EXHAUST TEMP LOW 5610 NHIỆT ĐỘ ỐNG XẢ THẤP KIỂM TRA ỐNG XẢ Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 5609: xem Bảng 6-1.
ALARM DP TEMP LOW 5710 TCV ĐẶT THẤP ĐIỀU CHỈNH TCV Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 5709: xem Bảng 6-1.
ALARM DP TEMP HIGH 5712 TCV ĐẶT CAO ĐIỀU CHỈNH TCV Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 5711: xem Bảng 6-1.
ALARM 17410 XEM HƯỚNG DẪN Bộ biến tần trên hệ thống iH1000 đã hoạt động dưới 10 Hz trong hơn ba phút. Có lỗi cơ khí (có thể rôto bơm bị khóa): Liên hệ với nhà cung cấp hoặc BOC Edwards để được tư vấn.
ALARM 17601 XEM HƯỚNG DẪN Bộ biến tần trên hệ thống iH1000 gặp vấn đề nghiêm trọng về nguồn điện và bơm HCMB đã dừng, hoặc bơm HCMB trong hệ thống iH1000 đã dừng do lỗi cơ khí hoặc điện. Bạn phải khởi động lại bơm HCMB thủ công (tham khảo phần 5.13). Nếu tình trạng lỗi vẫn tiếp diễn sau nhiều lần thử khởi động lại, liên hệ với nhà cung cấp hoặc BOC Edwards để được tư vấn.
Cảnh báo Thông báo tư vấn Ý nghĩa/Hành động đề xuất
WARNING 101 (a) có lỗi trong Control SMA, hoặc (b) nút dừng khẩn cấp đã được nhấn để tắt hệ thống iH, hoặc (c) có sự cố nguồn điện tạm thời (lâu hơn thời gian duy trì của nguồn điện iH).
WARNING 113 Có lỗi trong ADC (bộ chuyển đổi analog sang số) trong Control SMA; Control SMA phải được thay thế.
WARNING 209 XEM HƯỚNG DẪN Điện áp nguồn điện quá thấp. Kiểm tra nguồn điện và các kết nối với hệ thống iH và khắc phục nếu cần.
WARNING 211 XEM HƯỚNG DẪN Điện áp nguồn điện quá cao. Kiểm tra nguồn điện và các kết nối với hệ thống iH và khắc phục nếu cần.
WARNING DP CURRENT LOW 309 MẠCH HỞ KIỂM TRA KẾT NỐI Dòng điện tiêu thụ bởi bơm HCDP thấp hơn bình thường. Kiểm tra các kết nối điện có đúng không và khắc phục nếu cần. Nếu kết nối điện đúng, cầu chì trong Hộp Điện có thể đã hỏng.
WARNING DP CURRENT HIGH 311 RÒ RỈ/MẢNH VỤN BẢO DƯỠNG BƠM Dòng điện tiêu thụ bởi bơm HCDP cao hơn bình thường. Có thể có rò rỉ trong hệ thống hoặc mảnh vụn quá trình trong bơm, hoặc động cơ bơm có thể đã hỏng. Kiểm tra đường ống và bảo dưỡng bơm.
WARNING DP POWER LOW 409 MẠCH HỞ KIỂM TRA KẾT NỐI Mức tiêu thụ điện năng của bơm HCDP thấp hơn bình thường. Kiểm tra các kết nối điện có đúng không và khắc phục nếu cần. Nếu kết nối điện đúng, cầu chì trong Hộp Điện có thể đã hỏng.
WARNING DP POWER HIGH 411 RÒ RỈ/MẢNH VỤN BẢO DƯỠNG BƠM Mức tiêu thụ điện năng của bơm HCDP cao hơn bình thường. Có thể có rò rỉ trong hệ thống hoặc mảnh vụn quá trình trong bơm, hoặc động cơ bơm có thể đã hỏng. Kiểm tra đường ống và bảo dưỡng bơm.
WARNING DP POWER HIGH 412 RÒ RỈ/MẢNH VỤN BẢO DƯỠNG BƠM Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 411 trong bảng này.
WARNING 509 XEM HƯỚNG DẪN Thermistor động cơ HCDP bị ngắn mạch. Kiểm tra các kết nối thermistor bên trong hộp đầu nối động cơ HCDP và kiểm tra các kết nối giữa bơm HCDP và Hộp Điện.
WARNING 611 XEM HƯỚNG DẪN Có sự mất cân bằng pha trong nguồn điện cung cấp cho bơm HCDP. Kiểm tra nguồn điện và các kết nối với hệ thống iH. Nếu nguồn điện và kết nối đúng, động cơ bơm có thể bị lỗi.
WARNING MB CURRENT LOW 709 MẠCH HỞ KIỂM TRA KẾT NỐI Dòng điện tiêu thụ bởi bơm HCMB thấp hơn bình thường. Kiểm tra các kết nối điện có đúng không và khắc phục nếu cần. Nếu kết nối điện đúng, cầu chì trong Hộp Điện có thể đã hỏng.
WARNING MB CURRENT HIGH 711 RÒ RỈ/MẢNH VỤN BẢO DƯỠNG BƠM Mức tiêu thụ dòng điện của bơm HCMB cao hơn bình thường. Có thể có rò rỉ trong hệ thống hoặc mảnh vụn quá trình trong bơm, hoặc động cơ bơm có thể đã hỏng. Kiểm tra đường ống và bảo dưỡng bơm.
WARNING MB POWER LOW 809 MẠCH HỞ KIỂM TRA KẾT NỐI Mức tiêu thụ điện năng của bơm HCMB thấp hơn bình thường. Kiểm tra các kết nối điện có đúng không và khắc phục nếu cần. Nếu kết nối điện đúng, cầu chì trong Hộp Điện có thể đã hỏng.
WARNING MB POWER HIGH 811 RÒ RỈ/MẢNH VỤN BẢO DƯỠNG BƠM Mức tiêu thụ điện năng của bơm HCMB cao hơn bình thường. Có thể có rò rỉ trong hệ thống hoặc mảnh vụn quá trình trong bơm, hoặc động cơ bơm có thể đã hỏng. Kiểm tra đường ống và bảo dưỡng bơm.
WARNING MB POWER HIGH 812 RÒ RỈ/MẢNH VỤN BẢO DƯỠNG BƠM Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 811 trong bảng này.
WARNING 909 XEM HƯỚNG DẪN Thermistor động cơ HCMB bị ngắn mạch. Kiểm tra các kết nối thermistor bên trong hộp đầu nối động cơ HCMB và kiểm tra các kết nối giữa bơm HCMB và Hộp Điện.
WARNING 1011 XEM HƯỚNG DẪN Có sự mất cân bằng pha trong nguồn điện cung cấp cho bơm HCMB. Kiểm tra nguồn điện và các kết nối với hệ thống iH. Nếu nguồn điện và kết nối đúng, động cơ bơm có thể bị lỗi.
WARNING 1201 Khi khởi động, bơm HCDP không tiêu thụ dòng điện. Kiểm tra xem động cơ bơm có bị hở mạch không. Nếu không, cảm biến dòng điện có thể đã hỏng.
WARNING SERVICE DUE (R) 1401 xxxxx GIỜ HOẠT ĐỘNG KỂ TỪ LẦN BẢO DƯỠNG Hệ thống iH đã hoạt động xxxxx giờ kể từ lần bảo dưỡng cuối cùng. Bảo dưỡng hệ thống iH.
WARNING 1601 SERVICE DUE (P) xxxxx GIỜ HOẠT ĐỘNG KỂ TỪ LẦN BẢO DƯỠNG Hệ thống iH đã hoạt động xxxxx giờ kể từ lần bảo dưỡng cuối cùng. Bảo dưỡng hệ thống iH.
WARNING 1801 SERVICE DUE (P) xxxxx CHU KỲ KỂ TỪ LẦN BẢO DƯỠNG Hệ thống iH đã hoạt động xxxxx chu kỳ xử lý kể từ lần bảo dưỡng cuối cùng. Bảo dưỡng hệ thống iH.
WARNING 2001 SERVICE DUE (C) xxxxx CHU KỲ BẬT/TẮT KỂ TỪ LẦN BẢO DƯỠNG Hệ thống iH đã hoạt động xxxxx chu kỳ bật/tắt kể từ lần bảo dưỡng cuối cùng. Bảo dưỡng hệ thống.
WARNING 3113 Có lỗi trong ADC (bộ chuyển đổi analog sang số) trong Control SMA; Control SMA phải được thay thế.
WARNING 3501 (a) bộ chuyển đổi lưu lượng khối của mô-đun khí đã lệch ra ngoài phạm vi hợp lệ cho phép để đặt về 0, hoặc (b) bạn không thể đặt về 0 vì khí nitơ đang bật hoặc bơm HCDP đang bật.
WARNING TOTAL N2 FLOW LO 3509 LƯU LƯỢNG THẤP KIỂM TRA MÔ-ĐUN KHÍ Tổng lưu lượng nitơ quá thấp. Có thể có lỗi trong Mô-đun Khí.
WARNING TOTAL N2 FLOW HI 3511 LƯU LƯỢNG CAO KIỂM TRA MÔ-ĐUN KHÍ Tổng lưu lượng nitơ quá cao. Có thể có lỗi trong Mô-đun Khí.
WARNING EXHAUST PRESSURE 3911 ỐNG XẢ BỊ TẮC BẢO DƯỠNG BƠM Áp suất trong đường ống xả quá cao. Có thể có mảnh vụn hoặc ngưng tụ trong đường ống xả, hoặc van trong đường ống có thể đang đóng. Có thể có quá nhiều hệ thống bơm được kết nối với đường ống xả.
WARNING 3913 Cảm biến áp suất xả không được lắp, hoặc bị ngắt kết nối hoặc đã hỏng. Kiểm tra và khắc phục nếu cần.
WARNING SS PURGE LOW 4009 ĐIỀU CHỈNH BỘ ĐIỀU ÁP TĂNG ÁP SUẤT Áp suất xả trục thấp quá. Kiểm tra nguồn cung cấp nitơ đúng theo Phần 2 và kiểm tra xem bạn đã điều chỉnh áp suất đúng chưa: tham khảo Phần 5.7.
WARNING SS PURGE LOW 4010 ÁP SUẤT THẤP ĐIỀU CHỈNH BỘ ĐIỀU ÁP Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 4009 trong bảng này.
WARNING SS PURGE HIGH 4011 ÁP SUẤT CAO KIỂM TRA MÔ-ĐUN KHÍ Áp suất xả trục quá cao. Kiểm tra xem bạn đã điều chỉnh áp suất đúng chưa: tham khảo Phần 5.7. Nếu không thể điều chỉnh áp suất đúng, bộ điều áp có thể bị lỗi.
WARNING SS PURGE HIGH 4012 ÁP SUẤT CAO KIỂM TRA MÔ-ĐUN KHÍ Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 4011 trong bảng này.
WARNING 4013 Cảm biến áp suất xả trục không được lắp, hoặc bị ngắt kết nối hoặc đã hỏng. Kiểm tra và khắc phục nếu cần.
WARNING 5113 Có lỗi trong ADC (bộ chuyển đổi analog sang số) trong Control SMA; Control SMA phải được thay thế.
WARNING MB TEMP 5411 Nhiệt độ của bơm HCMB quá cao. Kiểm tra áp suất đầu vào của hệ thống bơm; hệ thống bơm có hoạt động với áp suất đầu vào > 5 mbar (5 x 102 Pa) trong 1 giờ hoặc lâu hơn không. Nếu áp suất đầu vào tối đa không bị vượt quá, hoặc nếu hệ thống bơm không hoạt động ở áp suất đầu vào tối đa trong thời gian dài hơn quy định, mạch làm mát của bơm có thể bị tắc.
WARNING 5413 Kiểm tra xem cảm biến nhiệt độ bơm HCMB được lắp đúng và kết nối chính xác chưa. Nếu cảm biến được lắp và kết nối đúng, nó có thể đã hỏng. Kiểm tra hoạt động của cảm biến và thay thế nếu cần.
WARNING DP MOTOR TEMP 5511 NƯỚC ĐỘNG CƠ THẤP KIỂM TRA NƯỚC Nhiệt độ của động cơ bơm HCDP quá cao. Kiểm tra các kết nối nước làm mát trong hệ thống iH và kiểm tra nguồn cung cấp nước làm mát có bật và đúng theo Phần 2 không. Nếu kết nối và nguồn cung cấp đúng, mạch làm mát của bơm có thể bị tắc.
WARNING 5513 Cảm biến nhiệt độ bề mặt động cơ bơm HCMB không được lắp, hoặc bị ngắt kết nối hoặc đã hỏng.
WARNING 5609 EXHAUST TEMP LOW NHIỆT ĐỘ ỐNG XẢ THẤP KIỂM TRA ỐNG XẢ Nhiệt độ của ống xả quá thấp cho quá trình.
WARNING 5613 Bạn đã cấu hình iH để có cảm biến nhiệt độ ống xả được lắp, nhưng cảm biến không được lắp, hoặc bị ngắt kết nối hoặc đã hỏng. Kiểm tra và khắc phục nếu cần.
WARNING DP TEMP LOW 5709 NHIỆT ĐỘ BƠM THẤP XEM HƯỚNG DẪN Nhiệt độ hoạt động của bơm HCDP quá thấp.
WARNING DP TEMP HIGH 5711 NHIỆT ĐỘ BƠM CAO XEM HƯỚNG DẪN Nhiệt độ hoạt động của bơm HCDP quá cao: có thể có mảnh vụn quá trình trong bơm hoặc bơm có thể bị hỏng.
WARNING 5713 Cảm biến nhiệt độ thân bơm HCDP không được lắp, hoặc bị ngắt kết nối hoặc đã hỏng. Kiểm tra và khắc phục nếu cần.
WARNING 6001 WATER FLOW LOW KIỂM TRA NGUỒN NƯỚC LÀM MÁT Lưu lượng nước làm mát qua hệ thống iH quá thấp. Tham khảo hành động đề xuất cho mã lỗi 5411.
WARNING O RING 7801 RÒ RỈ VÒNG ĐỆM – KIỂM TRA Phớt thứ cấp đã bị hỏng. Hiện tại bạn đang phụ thuộc vào cơ chế phớt chính.
WARNING 11101 Có lỗi trong NIM (Mô-đun Giao diện Mạng); tham khảo hướng dẫn sử dụng đi kèm với NIM.
WARNING 12101 Có lỗi trong Thẻ Giao diện Công cụ trong Mô-đun Giao diện iH. Tham khảo hướng dẫn sử dụng đi kèm với Mô-đun Giao diện iH.
WARNING 15101 Có lỗi trong Thẻ Giao diện Phụ trong Mô-đun Giao diện iH. Tham khảo hướng dẫn sử dụng đi kèm với Mô-đun Giao diện iH.
WARNING 15201 Van cổng kết nối với Mô-đun Giao diện iH không thể đóng.
WARNING 15301 Van cổng kết nối với Mô-đun Giao diện iH không thể mở.
WARNING 17601 XEM HƯỚNG DẪN Bộ biến tần trên hệ thống iH1000 gặp sự cố nguồn điện tạm thời, hoặc có lỗi có thể phục hồi.
WARNING 17701 XEM HƯỚNG DẪN Nhiệt độ stato bơm HCMB > 165 °C, và tốc độ bơm HCMB đã giảm xuống 1200 r.min⁻¹. Tình trạng cảnh báo sẽ được xóa và tốc độ bơm HCMB sẽ tăng trở lại 6000 r.min⁻¹ khi nhiệt độ stato bơm giảm xuống 150 °C.