傑笙真空科技

ULVAC-LR-series

Display Symptom Check item Corrective action
N₂ PURGE GAS LOW ALARM Purge gas flow rate low Flow rate regulating valve is closed. Open the flow rate-regulating valve.
Insufficient difference pressure at inlet/outlet ports Increase supply pressure from host equipment.
Insufficient supply of gas Increase supply of gas.
Clogged piping If the trouble is in the pump, contact with service station. Repair by ULVAC.
Leak in joint Contact with service station, repair by ULVAC.
Failure of instrument Contact with service station, repair by ULVAC.
WATER FLOW LOW ALARM Cooling water flow rate low Flow rate regulating valve is closed. Open the flow rate-regulating valve.
Insufficient difference pressure at inlet/outlet ports Increase supply pressure from host equipment.
Insufficient supply of gas Increase supply of gas from host equipment.
Clogged piping If the trouble is in the pump, contact with service station. Repair by ULVAC.
Leak in joint Contact with service station, repair by ULVAC.
Failure of instrument Contact with service station, repair by ULVAC.
PUMP TEMP HIGH ALARM Abnormal increase of pump temperature Environment temperature is high. Lower the environment temperature.
Insufficient cooling water Open the flow rate-regulating valve.
Failure of instrument Contact with service station. Repair by ULVAC.
Increase of backing pressure Clean and wash the exhaust pipe.
The inlet pressure is high. (only booster pump units of HR series.) Usual pressure is operating the range that is from the ultimate pressure to 200Pa.
E ALARM: Display when temperature sensor has burnt out
EXHAUST TEMP HIGH ALARM Abnormal increase of exhaust pipe temperature Environment temperature is high. Lower the environment temperature.
Exhaust pressure is high. (>0.13MPa) Clean and wash the exhaust pipe. (Reverse-valve)
DRP CURRENT HIGH ALARM Overload of motor Increase of backing pressure Clean and wash piping at downstream of pump
Failure of instrument Contact with service station. Repair by ULVAC.
Rotation disabled by foreign substance Contact with service station. Repair by ULVAC.
Rotation disabled by low flow rate
Rotation disabled by damaged bearing
E ALARM E ALARM: Display when protective circuit other than current sensor is actuated (thermal relay or inverter trip or failure).
MBP CURRENT HIGH ALARM Overload of motor Increase of backing pressure Clean and wash piping at downstream of pump
Failure of instrument Contact with service station. Repair by ULVAC.
Rotation disabled by foreign substance Contact with service station. Repair by ULVAC.
Rotation disabled by low flow rate
Rotation disabled by damaged bearing
E ALARM E ALARM: Display when protective circuit other than current sensor is actuated (thermal relay or inverter trip or failure).
RS232C ERROR Communication error between controller and main PC ROM/RAM data destroyed by static electricity, etc. Contact with service station. Repair by ULVAC.
Failure of instrument Contact with service station. Repair by ULVAC.
SYSTEM ERROR PC program out of control Watch dog circuit actuated Turn off power and turn it on again.
Control power output low Low output of control power in pump Contact with service station. Repair by ULVAC.
Short-circuit of 24VDC line
Short terminal of program down-load JP1 misconnection
Symptom Check Corrective Action
Power cannot be applied. Power is not supplied. Supply power.
Incorrect wiring of connector. Correctly make wiring connection. (Refer to 2.6.1 Power wiring)
No indication on display. Leak in pump. Disassemble and repair pump.
Breaker is not turned on. Turn on breaker.
Failure of instrumentation. Replace instrumentation.
Controller can not activate the Pump. LOCAL mode is not selected. Press REMOTE/LOCAL switch on controller.
Emergency stop switch is turned on. Turn off emergency stop switch.
“EMERGENCY STOP" is displayed. Emergency stop pin of remote operation connector is not shorted. (Refer to 2.6.2 Wiring for remote control)
“INTERLOCK" is displayed. External interlock pin of remote operation connector is not shorted.
Failure of instrumentation. Replace instrumentation.
Pump does not start by remote operation. REMOTE mode is not selected. Press REMOTE/LOCAL selector switch on controller.
Failure of instrumentation. Replace instrumentation.
Unusual sound is heard from pump. Panel is vibrating. Contact with service station. Check by ULVAC personnel.
Exhaust sound. Sound may be high due to resonance in the piping when gas is being fed. Use a pipe with a thicker wall to suppress the sound.
Failure of the pump. Contact with service station. Check by ULVAC personnel.
Pressure does not lower. Backing pressure is high. Check the exhaust piping.
Leakage at inlet port. Check the piping. Repair the trouble.
Intake port wire netting is clogged. Check the piping at the upstream of the PUMP.
Pump operating temperature is not static. Measure again one hour later. The ultimate pressure in the “Specifications" is the value directly above the pump.
The temperature does not increase. (only HR series) Booster pump operating temperature is not static. Operating for one hour. Turn on the bimetal switch because the bimetal switch has been turned off when the temperature does not increase after of the temperature error.
Exhaust pipe operating temperature is not static. Operating for one hour. Exchange the mantle heater because the temperature fuse has been cut when the temperature does not increase after of the temperature error.
顯示 症狀 檢查項目 修正措施
N₂ 淨化氣體低警報 淨化氣體流量低 流量調節閥已關閉。 打開流量調節閥。
進/出氣口壓差不足 從主設備增加供應壓力。
氣體供應不足 增加氣體供應。
管線堵塞 如果問題出在幫浦，請聯繫服務站。由 ULVAC 進行維修。
接頭洩漏 聯繫服務站，由 ULVAC 進行維修。
儀器故障 聯繫服務站，由 ULVAC 進行維修。
水流量低警報 冷卻水流量低 流量調節閥已關閉。 打開流量調節閥。
進/出氣口壓差不足 從主設備增加供應壓力。
氣體供應不足 從主設備增加氣體供應。
管線堵塞 如果問題出在幫浦，請聯繫服務站。由 ULVAC 進行維修。
接頭洩漏 聯繫服務站，由 ULVAC 進行維修。
儀器故障 聯繫服務站，由 ULVAC 進行維修。
幫浦溫度高警報 幫浦溫度異常升高 環境溫度過高。 降低環境溫度。
冷卻水不足 打開流量調節閥。
儀器故障 聯繫服務站。由 ULVAC 進行維修。
背壓增加 清潔並清洗排氣管。
進氣壓力過高。（僅限 HR 系列增壓幫浦單元。） 正常壓力範圍是從極限壓力到 200Pa。
E 警報：溫度感應器燒毀時顯示
排氣溫度高警報 排氣管溫度異常升高 環境溫度過高。 降低環境溫度。
排氣壓力過高。（>0.13MPa） 清潔並清洗排氣管。（逆向閥）
DRP 電流高警報 馬達過載 背壓增加 清潔並清洗幫浦下游的管線
儀器故障 聯繫服務站。由 ULVAC 進行維修。
因異物導致無法旋轉 聯繫服務站。由 ULVAC 進行維修。
因低流量導致無法旋轉
因軸承損壞導致無法旋轉
E 警報 E 警報：當電流感應器以外的保護電路啟動時顯示（熱繼電器或變頻器跳脫或故障）。
MBP 電流高警報 馬達過載 背壓增加 清潔並清洗幫浦下游的管線
儀器故障 聯繫服務站。由 ULVAC 進行維修。
因異物導致無法旋轉 聯繫服務站。由 ULVAC 進行維修。
因低流量導致無法旋轉
因軸承損壞導致無法旋轉
E 警報 E 警報：當電流感應器以外的保護電路啟動時顯示（熱繼電器或變頻器跳脫或故障）。
RS232C 錯誤 控制器與主電腦之間的通訊錯誤 因靜電等原因導致 ROM/RAM 資料損壞 聯繫服務站。由 ULVAC 進行維修。
儀器故障 聯繫服務站。由 ULVAC 進行維修。
系統錯誤 PC 程式失控 看門狗電路已啟動 關閉電源後再重新開啟。
控制電源輸出低 幫浦控制電源輸出低 聯繫服務站。由 ULVAC 進行維修。
24VDC 線路短路
程式下載短接端子 JP1 連接錯誤
症狀 檢查 修正措施
幫浦無法供電 電源未供應 供應電源
連接器接線錯誤 正確接線 (參考 2.6.1 電源接線)
螢幕無顯示 幫浦內部洩漏 拆卸並修復幫浦
無法開啟斷路器 開啟斷路器
儀器故障 更換儀器
控制器無法啟動幫浦 未選擇 LOCAL 模式 按下控制器上的 REMOTE/LOCAL 開關
緊急停止開關已開啟 按下緊急停止開關
顯示 “EMERGENCY STOP" 遠端操作連接器的緊急停止接腳未短路 (參考 2.6.2 遠端控制接線)
顯示 “INTERLOCK" 遠端操作連接器的外部互鎖接腳未短路
儀器故障 更換儀器
透過遠端操作幫浦無法啟動 未選擇 REMOTE 模式 按下 REMOTE/LOCAL 選擇開關
儀器故障 更換儀器
幫浦發出異常聲音 面板振動 聯絡服務站，請 ULVAC 人員檢查
排氣聲 由於氣體供應，排氣管可能因共振而產生高音。使用管壁較厚的管子來抑制聲音。
幫浦故障 聯絡服務站，請 ULVAC 人員檢查
壓力未降低 背壓過高 檢查排氣管
進氣口洩漏 檢查管線，修復故障
進氣口濾網堵塞 檢查幫浦上游的管線
幫浦操作溫度不穩定 一小時後再測量。規格書中的「終極壓力」值就是幫浦上方的數值。
溫度未升高（僅限 HR 系列） 增壓幫浦操作溫度不穩定 運轉一小時。當雙金屬開關開啟而溫度未在溫度誤差後升高時，雙金屬開關已關閉。
排氣管操作溫度不穩定 運轉一小時。更換套筒加熱器，因為當溫度在溫度誤差後未升高時，溫度保險絲已斷開。
Hiển thị Triệu chứng Mục kiểm tra Hành động khắc phục
BÁO ĐỘNG ÁP SUẤT KHÍ N₂ THẤP Lưu lượng khí tẩy thấp Van điều chỉnh lưu lượng bị đóng. Mở van điều chỉnh lưu lượng.
Chênh lệch áp suất tại cổng vào/ra không đủ Tăng áp suất cung cấp từ thiết bị chủ.
Cung cấp khí không đủ Tăng cung cấp khí.
Đường ống bị tắc Nếu sự cố nằm ở bơm, liên hệ với trạm dịch vụ. Sửa chữa bởi ULVAC.
Rò rỉ tại mối nối Liên hệ với trạm dịch vụ, sửa chữa bởi ULVAC.
Hỏng thiết bị Liên hệ với trạm dịch vụ, sửa chữa bởi ULVAC.
BÁO ĐỘNG LƯU LƯỢNG NƯỚC THẤP Lưu lượng nước làm mát thấp Van điều chỉnh lưu lượng bị đóng. Mở van điều chỉnh lưu lượng.
Chênh lệch áp suất tại cổng vào/ra không đủ Tăng áp suất cung cấp từ thiết bị chủ.
Cung cấp khí không đủ Tăng cung cấp khí từ thiết bị chủ.
Đường ống bị tắc Nếu sự cố nằm ở bơm, liên hệ với trạm dịch vụ. Sửa chữa bởi ULVAC.
Rò rỉ tại mối nối Liên hệ với trạm dịch vụ, sửa chữa bởi ULVAC.
Hỏng thiết bị Liên hệ với trạm dịch vụ, sửa chữa bởi ULVAC.
BÁO ĐỘNG NHIỆT ĐỘ BƠM CAO Nhiệt độ bơm tăng bất thường Nhiệt độ môi trường cao. Giảm nhiệt độ môi trường.
Nước làm mát không đủ Mở van điều chỉnh lưu lượng.
Hỏng thiết bị Liên hệ với trạm dịch vụ. Sửa chữa bởi ULVAC.
Áp suất ngược tăng Làm sạch và rửa ống xả.
Áp suất đầu vào cao. (chỉ áp dụng cho các đơn vị bơm tăng áp dòng HR.) Áp suất bình thường hoạt động trong khoảng từ áp suất tối đa đến 200Pa.
BÁO ĐỘNG E: Hiển thị khi cảm biến nhiệt độ bị cháy
BÁO ĐỘNG NHIỆT ĐỘ ỐNG XẢ CAO Nhiệt độ ống xả tăng bất thường Nhiệt độ môi trường cao. Giảm nhiệt độ môi trường.
Áp suất xả cao. (>0.13MPa) Làm sạch và rửa ống xả. (Van ngược)
BÁO ĐỘNG DÒNG ĐIỆN DRP CAO Động cơ quá tải Áp suất ngược tăng Làm sạch và rửa đường ống ở phía hạ lưu của bơm
Hỏng thiết bị Liên hệ với trạm dịch vụ. Sửa chữa bởi ULVAC.
Không quay được do dị vật Liên hệ với trạm dịch vụ. Sửa chữa bởi ULVAC.
Không quay được do lưu lượng thấp
Không quay được do ổ lăn hỏng
BÁO ĐỘNG E BÁO ĐỘNG E: Hiển thị khi mạch bảo vệ ngoài cảm biến dòng điện được kích hoạt (rơ-le nhiệt hoặc biến tần ngắt hoặc hỏng).
BÁO ĐỘNG DÒNG ĐIỆN MBP CAO Động cơ quá tải Áp suất ngược tăng Làm sạch và rửa đường ống ở phía hạ lưu của bơm
Hỏng thiết bị Liên hệ với trạm dịch vụ. Sửa chữa bởi ULVAC.
Không quay được do dị vật Liên hệ với trạm dịch vụ. Sửa chữa bởi ULVAC.
Không quay được do lưu lượng thấp
Không quay được do ổ lăn hỏng
BÁO ĐỘNG E BÁO ĐỘNG E: Hiển thị khi mạch bảo vệ ngoài cảm biến dòng điện được kích hoạt (rơ-le nhiệt hoặc biến tần ngắt hoặc hỏng).
LỖI RS232C Lỗi giao tiếp giữa bộ điều khiển và máy tính chính Dữ liệu ROM/RAM bị phá hủy do tĩnh điện, v.v. Liên hệ với trạm dịch vụ. Sửa chữa bởi ULVAC.
Hỏng thiết bị Liên hệ với trạm dịch vụ. Sửa chữa bởi ULVAC.
LỖI HỆ THỐNG Chương trình PC mất kiểm soát Mạch bảo vệ Watchdog được kích hoạt Tắt nguồn và bật lại.
Công suất điều khiển thấp Công suất điều khiển trong bơm thấp Liên hệ với trạm dịch vụ. Sửa chữa bởi ULVAC.
Ngắn mạch đường dây 24VDC
Kết nối sai cổng ngắn mạch tải chương trình JP1
Triệu chứng Kiểm tra Hành động khắc phục
Không thể cấp nguồn cho bơm. Nguồn không được cung cấp. Cung cấp nguồn.
Kết nối dây sai. Kết nối dây đúng cách. (Tham khảo 2.6.1 Kết nối nguồn)
Không có hiển thị trên màn hình. Rò rỉ trong bơm. Tháo rời và sửa chữa bơm.
Cầu dao không được bật. Bật cầu dao.
Hỏng thiết bị. Thay thế thiết bị.
Bộ điều khiển không thể kích hoạt bơm. Chế độ LOCAL chưa được chọn. Nhấn công tắc REMOTE/LOCAL trên bộ điều khiển.
Công tắc dừng khẩn cấp được bật. Tắt công tắc dừng khẩn cấp.
Hiển thị “EMERGENCY STOP" Chân dừng khẩn cấp của đầu nối điều khiển từ xa không được nối ngắn. (Tham khảo 2.6.2 Kết nối điều khiển từ xa)
Hiển thị “INTERLOCK" Chân khóa liên động bên ngoài của đầu nối điều khiển từ xa không được nối ngắn.
Hỏng thiết bị. Thay thế thiết bị.
Bơm không khởi động bằng điều khiển từ xa. Chế độ REMOTE chưa được chọn. Nhấn công tắc chọn REMOTE/LOCAL trên bộ điều khiển.
Hỏng thiết bị. Thay thế thiết bị.
Bơm phát ra âm thanh bất thường. Bảng điều khiển rung. Liên hệ với trạm dịch vụ. Kiểm tra bởi nhân viên ULVAC.
Âm thanh xả. Âm thanh có thể cao do cộng hưởng trong đường ống khi khí được cấp. Sử dụng ống có thành dày hơn để giảm âm.
Hỏng bơm. Liên hệ với trạm dịch vụ. Kiểm tra bởi nhân viên ULVAC.
Áp suất không giảm. Áp suất ngược cao. Kiểm tra đường ống xả.
Rò rỉ tại cổng hút. Kiểm tra đường ống. Khắc phục sự cố.
Lưới dây cổng hút bị tắc. Kiểm tra đường ống ở phía thượng lưu của bơm.
Nhiệt độ vận hành bơm không ổn định. Đo lại sau một giờ. Áp suất tối đa trong “Thông số kỹ thuật" là giá trị ngay trên bơm.
Nhiệt độ không tăng. (chỉ dòng HR) Nhiệt độ vận hành bơm tăng áp không ổn định. Vận hành trong một giờ. Bật công tắc lưỡng kim vì công tắc lưỡng kim đã tắt khi nhiệt độ không tăng sau lỗi nhiệt độ.
Nhiệt độ vận hành ống xả không ổn định. Vận hành trong một giờ. Thay lò sưởi vỏ vì cầu chì nhiệt độ đã bị cắt khi nhiệt độ không tăng sau lỗi nhiệt độ.