傑笙真空科技

ULVAC _VS2401

Trouble Causes Processing method
The Pump does not run. (1) Motor connection is wrong. (1) Check the connection.
(2) Safety circuit such as the Electromagnetic breaker is not correctly set. (2) Make the Safety circuit conform to the Motor specification.
(3) Oil viscosity got higher. (3) Replace the oil.
(4) Foreign substance entered in the Pump caused burning the Rotor or the like. (4) Conduct the overhaul (replacement of the Cylinder, Rotor, Cover and so on).
(5) Reactive agent accumulated inside the Pump while the Pump was stopped after having exhausted the reactive gas. (5) Conduct the overhaul (cleaning inside the Pump, removal of reactive agent and so on).
Abnormal noise sounds. (1) Motor rotation direction is reverse. (1) Do the connection again to correct the rotation direction.
(2) Slow leak valve is clogged. (2) Remove the Side panel and wash and adjust the Slow leak valve.
(3) Rattling sounds on starting or stopping the machine. (3) There is no particular problem as it’s a phenomenon caused by vanes that temporarily make irregular motions.
(4) The oil is not circulating.
a) Oil pit of the Cover or the like is clogged.
b) Oil distributor valve has a trouble.		 (4) Overhaul.
a) Clean the oil pit.
b) Check and repair the Oil distributor valve.
(5) The Coolant is not circulating.
(The Coolant does not flow by specified volume.)		 (5) a) Keep flowing the Coolant by the specified volume.
b) Should the noise remain as it is even flowed the specified volume water, conduct the overhaul, check and repair the inside.
(6) Vanes are not moving. (6) Overhaul. Wash out substances stuck to the vane.
(7) Panel screw is loose. (7) Tighten the screw.
(8) Oil is not filled. Oil is under the lower limit of the Oil level gauge. (8) Overhaul (Replacement of the Cylinder, Rotor and Cover)
Pressure does not come down. (1) Pump exhaust capacity is smaller compared to the Vacuum chamber capacity. (1) Select another Pump type.
(2) Pressure measurement method is wrong. (2) Measure correctly the pressure.
(3) Vacuum gauge is not appropriate. (3) Use the Vacuum gauge that matches the measurement pressure range and correctly calibrated one to measure the pressure.
(4) Pipe connected to the Suction inlet is thin or connection distance is long. (4) Connect a pipe wider than inlet diameter and shorten the connection distance between the Vacuum chamber.
(5) Metal mesh at the Suction inlet is clogged. (5) Remove the pipe above the inlet and wash the mesh.
(6) Oil is not supplied to the specified volume. (6) Supply the oil to the specified volume.
(7) The oil is deteriorated. (7) Replace the oil.
(8) There is a leak in the pipe connecting with the Pump. (8) Use a Leak detector or the like to find out the leak position and stop it.
(9) Not using the ULVAC genuine oil. (9) Conduct the overhaul of the Pump and replace the oil with the ULVAC oil.
(10) The oil is not circulating.
a) Oil pit of the Cover or the like is clogged.
b) Oil distributor valve has a trouble.		 (10) Overhaul.
a) Clean the oil pit.
b) Check and repair the Oil distributor valve.
(11) Water entered inside the pump. (11) Replace the oil. Check the water leakage.
(Check and replace the Cooling pipe and/or Joints if necessary.)
(12) Exhaust valve vane is broken. (12) Replace the Exhaust valve vane.
Pump surface temperature is abnormally high.
Room temperature +60°C or more		 (1) Coolant does not flow.
(Specified volume is not flowing.)		 (1) Keep flowing the Coolant by the specified volume.
(2) Keeping continuous operation under high suction pressure. (2) Pump surface temperature would rise up around 100°C on continuous operation under high suction pressure. No problem.
(3) The oil is not supplied by the specified volume.
(Less oil volume would lower the cooling effect of the Pump.)		 (3) Control the oil level. Supply the oil by the specified volume.
(4) Suction gas is hot. (4) Install a cooling device such as the Gas cooler on the suction side.
(5) The oil is not circulating.
a) Oil pit of the Cover or the like is clogged.
b) Oil disturb		 (5) Overhaul.
a) Clean the oil pit.
b) Check and repair the Oil distributor valve.
(6) Area around the Pump is enclosed. (6) Make the ventilation available.
Lot of oil mist blowing out of the Exhaust outlet. (1) Pump is filled over the specified volume. (1) Drain the oil until it gets the specified volume.
(2) Keeping continuous operation under high suction pressure. (2) Put the oil mist trap on the Exhaust side.
(3) Exhaust valve vane is broken. (3) Replace the Exhaust valve vane.
(4) Oil mist trap is clogged. (4) Replace the Filter element.
Oil leak outside the Pump (1) Deterioration of the O-ring and/or Oil seal of the Case and Cover. (1) Check the O-ring and Oil seal. Replace them if necessary.
(2) Oil inlet is loose. (2) Tighten again the Oil inlet.
Water leak outside the Pump. (1) Deterioration of the O-ring and/or gasket of the Cover. (1) Check the O-ring and Gasket. Replace them if necessary.
(2) Coolant joints and so on got loose, or not tighten. (2) Check and repair Joints and so on.
(3) Sealing of Plugs and the like is not sufficient. (3) Check and repair Plugs and so on.
Abnormal Motor current value (1) Foreign substance entered inside the Pump impaired the Motor rotation. (1) Overhaul, removal of foreign substance inside the Pump.
(2) Abnormal sliding of the Rotor and/or vane. (2) Overhaul, check and repair inside.
(3) Keeping continuous operation under high suction pressure. (3) Adjust the pressure.
故障 原因 處理方法
泵不運行。 (1) 電機連接錯誤。 (1) 檢查連接。
(2) 電磁斷路器等安全電路未正確設定。 (2) 使安全電路符合電機規格。
(3) 油黏度升高。 (3) 更換油。
(4) 異物進入泵內導致轉子燒毀等。 (4) 進行大修（更換缸體、轉子、蓋子等）。
(5) 在泵停止後，反應氣體積累在泵內。 (5) 進行大修（清潔泵內、去除反應劑等）。
發出異常噪音。 (1) 電機旋轉方向相反。 (1) 重新連接以糾正旋轉方向。
(2) 慢漏閥堵塞。 (2) 拆除側面板，清洗並調整慢漏閥。
(3) 啟動或停止機器時發出嘎嘎聲。 (3) 由於葉片暫時不規則運動引起的現象，沒有特別問題。
(4) 油未循環。
a) 蓋子等的油坑堵塞。
b) 油分配閥有故障。		 (4) 大修。
a) 清潔油坑。
b) 檢查並修理油分配閥。
(5) 冷卻劑未循環。
（冷卻劑未按指定量流動。）		 (5) a) 保持冷卻劑按指定量流動。
b) 即使按指定量流動噪音仍存在，進行大修，檢查並修理內部。
(6) 葉片未移動。 (6) 大修。清洗粘在葉片上的物質。
(7) 面板螺絲鬆動。 (7) 擰緊螺絲。
(8) 未注入油。油低於油位計下限。 (8) 大修（更換缸體、轉子和蓋子）
壓力不下降。 (1) 與真空室容量相比，泵排氣容量較小。 (1) 選擇其他泵類型。
(2) 壓力測量方法錯誤。 (2) 正確測量壓力。
(3) 真空計不合適。 (3) 使用匹配測量壓力範圍並正確校準的真空計測量壓力。
(4) 連接至吸入口的管道細或連接距離長。 (4) 連接比入口直徑更寬的管道，並縮短與真空室之間的連接距離。
(5) 吸入口處的金屬網堵塞。 (5) 拆除入口上方的管道並清洗網。
(6) 未按指定量供應油。 (6) 按指定量供應油。
(7) 油劣化。 (7) 更換油。
(8) 與泵連接的管道有洩漏。 (8) 使用洩漏檢測器等找出洩漏位置並停止洩漏。
(9) 未使用ULVAC原裝油。 (9) 對泵進行大修，並用ULVAC油更換。
(10) 油未循環。
a) 蓋子等的油坑堵塞。
b) 油分配閥有故障。		 (10) 大修。
a) 清潔油坑。
b) 檢查並修理油分配閥。
(11) 水進入泵內。 (11) 更換油。檢查水洩漏。
（如必要，檢查並更換冷卻管和/或接頭。）
(12) 排氣閥葉片破損。 (12) 更換排氣閥葉片。
泵表面溫度異常高。
室溫 +60°C 或更高		 (1) 冷卻劑未流動。
（未按指定量流動。）		 (1) 保持冷卻劑按指定量流動。
(2) 在高吸入壓力下持續運行。 (2) 在高吸入壓力下持續運行時，泵表面溫度會升至約100°C。沒有問題。
(3) 未按指定量供應油。
（油量少會降低泵的冷卻效果。）		 (3) 控制油位。按指定量供應油。
(4) 吸入氣體熱。 (4) 在吸入側安裝冷卻裝置，如氣體冷卻器。
(5) 油未循環。
a) 蓋子等的油坑堵塞。
b) 油分配閥		 (5) 大修。
a) 清潔油坑。
b) 檢查並修理油分配閥。
(6) 泵周圍封閉。 (6) 確保通風。
從排氣口噴出大量油霧。 (1) 泵注入超過指定量。 (1) 排出油直到達到指定量。
(2) 在高吸入壓力下持續運行。 (2) 在排氣側安裝油霧捕集器。
(3) 排氣閥葉片破損。 (3) 更換排氣閥葉片。
(4) 油霧捕集器堵塞。 (4) 更換過濾元件。
泵外漏油 (1) 外殼和蓋子的O型圈和/或油封劣化。 (1) 檢查O型圈和油封。如必要，更換它們。
(2) 油入口鬆動。 (2) 重新擰緊油入口。
泵外漏水。 (1) 蓋子的O型圈和/或墊片劣化。 (1) 檢查O型圈和墊片。如必要，更換它們。
(2) 冷卻劑接頭等鬆動，或未擰緊。 (2) 檢查並修理接頭等。
(3) 插頭等的密封不足。 (3) 檢查並修理插頭等。
異常電機電流值 (1) 異物進入泵內影響電機旋轉。 (1) 大修，去除泵內異物。
(2) 轉子和/或葉片的異常滑動。 (2) 大修，檢查並修理內部。
(3) 在高吸入壓力下持續運行。 (3) 調整壓力。
Lỗi Nguyên nhân Phương pháp xử lý
Bơm không hoạt động. (1) Kết nối động cơ sai. (1) Kiểm tra kết nối.
(2) Bộ ngắt điện từ hoặc các mạch an toàn khác chưa được thiết lập đúng. (2) Làm cho mạch an toàn phù hợp với thông số động cơ.
(3) Độ nhớt dầu tăng cao. (3) Thay dầu.
(4) Vật lạ xâm nhập vào bơm dẫn đến cháy rotor, v.v. (4) Thực hiện đại tu (thay xi lanh, rotor, nắp, v.v.).
(5) Sau khi bơm dừng, khí phản ứng tích tụ trong bơm. (5) Thực hiện đại tu (làm sạch bên trong bơm, loại bỏ chất phản ứng, v.v.).
Phát ra tiếng ồn bất thường. (1) Hướng quay động cơ ngược. (1) Kết nối lại để sửa hướng quay.
(2) Van rò chậm bị tắc. (2) Tháo bảng bên, làm sạch và điều chỉnh van rò chậm.
(3) Phát ra tiếng kêu khi khởi động hoặc dừng máy. (3) Hiện tượng do chuyển động tạm thời không đều của cánh quạt, không có vấn đề đặc biệt.
(4) Dầu không lưu thông.
a) Lỗ dầu của nắp, v.v. bị tắc.
b) Van phân phối dầu bị lỗi.		 (4) Đại tu.
a) Làm sạch lỗ dầu.
b) Kiểm tra và sửa van phân phối dầu.
(5) Chất làm mát không lưu thông.
(Chất làm mát không chảy theo lượng quy định.)		 (5) a) Giữ chất làm mát chảy theo lượng quy định.
b) Ngay cả khi chảy theo lượng quy định mà tiếng ồn vẫn tồn tại, thực hiện đại tu, kiểm tra và sửa bên trong.
(6) Cánh quạt không di chuyển. (6) Đại tu. Làm sạch chất dính trên cánh quạt.
(7) Vít bảng bị lỏng. (7) Siết chặt vít.
(8) Chưa bơm dầu. Dầu thấp hơn giới hạn dưới của đồng hồ dầu. (8) Đại tu (thay xi lanh, rotor và nắp)
Áp suất không giảm. (1) So với dung tích buồng chân không, dung lượng xả của bơm nhỏ. (1) Chọn loại bơm khác.
(2) Phương pháp đo áp suất sai. (2) Đo áp suất đúng cách.
(3) Đồng hồ chân không không phù hợp. (3) Sử dụng đồng hồ chân không phù hợp với phạm vi đo áp suất và được hiệu chuẩn đúng.
(4) Ống nối vào cửa hút mỏng hoặc khoảng cách nối dài. (4) Kết nối ống rộng hơn đường kính cửa vào và rút ngắn khoảng cách nối với buồng chân không.
(5) Lưới kim loại ở cửa hút bị tắc. (5) Tháo ống trên cửa vào và làm sạch lưới.
(6) Chưa cung cấp dầu theo lượng quy định. (6) Cung cấp dầu theo lượng quy định.
(7) Dầu bị hỏng. (7) Thay dầu.
(8) Ống nối với bơm bị rò. (8) Sử dụng máy dò rò để tìm vị trí rò và dừng rò.
(9) Chưa sử dụng dầu nguyên bản ULVAC. (9) Đại tu bơm và thay bằng dầu ULVAC.
(10) Dầu không lưu thông.
a) Lỗ dầu của nắp, v.v. bị tắc.
b) Van phân phối dầu bị lỗi.		 (10) Đại tu.
a) Làm sạch lỗ dầu.
b) Kiểm tra và sửa van phân phối dầu.
(11) Nước xâm nhập vào bơm. (11) Thay dầu. Kiểm tra rò nước.
(Nếu cần, kiểm tra và thay ống làm mát và/hoặc khớp nối.)
(12) Cánh van xả bị hỏng. (12) Thay cánh van xả.
Nhiệt độ bề mặt bơm cao bất thường.
Nhiệt độ phòng +60°C hoặc cao hơn		 (1) Chất làm mát không chảy.
(Chưa chảy theo lượng quy định.)		 (1) Giữ chất làm mát chảy theo lượng quy định.
(2) Chạy liên tục ở áp suất hút cao. (2) Khi chạy liên tục ở áp suất hút cao, nhiệt độ bề mặt bơm sẽ tăng lên khoảng 100°C. Không có vấn đề.
(3) Chưa cung cấp dầu theo lượng quy định.
(Lượng dầu ít sẽ giảm hiệu quả làm mát của bơm.)		 (3) Kiểm soát mức dầu. Cung cấp dầu theo lượng quy định.
(4) Khí hút nóng. (4) Lắp thiết bị làm mát ở phía hút, như bộ làm mát khí.
(5) Dầu không lưu thông.
a) Lỗ dầu của nắp, v.v. bị tắc.
b) Van phân phối dầu		 (5) Đại tu.
a) Làm sạch lỗ dầu.
b) Kiểm tra và sửa van phân phối dầu.
(6) Xung quanh bơm bị kín. (6) Đảm bảo thông gió.
Từ cửa xả phun ra lượng lớn sương dầu. (1) Bơm dầu vượt quá lượng quy định. (1) Xả dầu đến khi đạt lượng quy định.
(2) Chạy liên tục ở áp suất hút cao. (2) Lắp bẫy sương dầu ở phía xả.
(3) Cánh van xả bị hỏng. (3) Thay cánh van xả.
(4) Bẫy sương dầu bị tắc. (4) Thay phần tử lọc.
Bơm rò dầu ra ngoài (1) Vòng O và/hoặc phớt dầu của vỏ và nắp bị hỏng. (1) Kiểm tra vòng O và phớt dầu. Nếu cần, thay chúng.
(2) Cửa vào dầu bị lỏng. (2) Siết chặt lại cửa vào dầu.
Bơm rò nước ra ngoài. (1) Vòng O và/hoặc miếng đệm của nắp bị hỏng. (1) Kiểm tra vòng O và miếng đệm. Nếu cần, thay chúng.
(2) Khớp nối chất làm mát, v.v. bị lỏng hoặc chưa siết chặt. (2) Kiểm tra và sửa khớp nối, v.v.
(3) Niêm phong của phích cắm, v.v. không đủ. (3) Kiểm tra và sửa phích cắm, v.v.
Giá trị dòng điện động cơ bất thường (1) Vật lạ xâm nhập vào bơm ảnh hưởng đến quay động cơ. (1) Đại tu, loại bỏ vật lạ trong bơm.
(2) Trượt bất thường của rotor và/hoặc cánh quạt. (2) Đại tu, kiểm tra và sửa bên trong.
(3) Chạy liên tục ở áp suất hút cao. (3) Điều chỉnh áp suất.